Karakteristični zahtjevi molibdenske mete za prskanje

Nedavno su mnogi prijatelji pitali o karakteristikama molibdenskih meta za raspršivanje. U elektroničkoj industriji, kako bi se poboljšala učinkovitost raspršivanja i osigurala kvaliteta nanesenih filmova, koji su zahtjevi za karakteristike molibdenskih meta za raspršivanje? Sada će nam to objasniti tehnički stručnjaci iz RSM-a.

　　1. Čistoća

Visoka čistoća osnovni je karakteristični zahtjev za metu za prskanje molibdenom. Što je veća čistoća molibdenske mete, to je bolji učinak raspršenog filma. Općenito, čistoća molibdenske mete za prskanje trebala bi biti najmanje 99,95% (maseni udio, isti dolje). Međutim, sa stalnim poboljšanjem veličine staklene podloge u industriji LCD-a, potrebno je produžiti duljinu ožičenja, a širina linije mora biti tanja. Kako bi se osigurala ujednačenost filma i kvaliteta ožičenja, potrebno je u skladu s tim povećati i čistoću molibdenske mete za prskanje. Stoga, u skladu s veličinom raspršenog staklenog supstrata i okolinom upotrebe, čistoća molibdenske mete za raspršivanje mora biti 99,99% – 99,999% ili čak i viša.

Kao izvor katode u raspršivanju koristi se molibdenska meta za raspršivanje. Nečistoće u krutini te kisik i vodena para u porama glavni su izvori onečišćenja taloženih filmova. Osim toga, u elektroničkoj industriji, budući da ioni alkalnih metala (Na, K) lako postaju mobilni ioni u izolacijskom sloju, performanse izvornog uređaja su smanjene; Elementi poput urana (U) i titana (TI) bit će oslobođeni α X-zrakama, što će rezultirati blagim kvarom uređaja; Ioni željeza i nikla uzrokovat će curenje sučelja i porast elemenata kisika. Stoga, u procesu pripreme mete za raspršivanje molibdena, ove elemente nečistoće treba strogo kontrolirati kako bi se smanjio njihov sadržaj u meti.

　　2. Veličina zrna i raspodjela veličina

Općenito, molibdenska meta za prskanje je polikristalne strukture, a veličina zrna može varirati od mikrona do milimetra. Eksperimentalni rezultati pokazuju da je brzina prskanja finozrnate mete brža od one krupnozrnate mete; Za metu s malom razlikom u veličini zrna, raspodjela debljine nanesenog filma također je jednoličnija.

　　3. Orijentacija kristala

Budući da je ciljne atome lako poželjno raspršiti duž smjera najbližeg rasporeda atoma u heksagonalnom smjeru tijekom raspršivanja, kako bi se postigla najveća brzina raspršivanja, brzina raspršivanja se često povećava promjenom kristalne strukture mete. Smjer kristala mete također ima veliki utjecaj na ujednačenost debljine raspršenog filma. Stoga je vrlo važno dobiti određenu kristalno orijentiranu ciljnu strukturu za proces raspršivanja filma.

　　4. Zgušnjavanje

U procesu nanošenja premaza raspršivanjem, kada se meta za raspršivanje niske gustoće bombardira, plin koji postoji u unutarnjim porama mete iznenada se oslobađa, što dovodi do prskanja čestica cilja ili čestica velike veličine, ili se filmski materijal bombardira sekundarnim elektronima nakon stvaranja filma, što rezultira prskanjem čestica. Pojava ovih čestica smanjit će kvalitetu filma. Kako bi se smanjile pore u ciljnoj krutini i poboljšala izvedba filma, općenito se zahtijeva da cilj za prskanje ima visoku gustoću. Za metu za raspršivanje molibdena, njegova relativna gustoća trebala bi biti veća od 98%.

　　5. Vezivanje mete i šasije

Općenito, meta za raspršivanje molibdena mora biti povezana s kućištem od bakra bez kisika (ili aluminija i drugih materijala) prije raspršivanja, tako da toplinska vodljivost mete i kućišta bude dobra tijekom procesa raspršivanja. Nakon povezivanja mora se izvršiti ultrazvučna inspekcija kako bi se osiguralo da je nespojno područje manje od 2%, kako bi se zadovoljili zahtjevi raspršivanja velike snage bez otpadanja.