1. Kev npaj Sputtering
Nws yog ib qho tseem ceeb heev kom lub tshuab nqus tsev chamber, tshwj xeeb tshaj yog cov sputtering system huv si. Txhua qhov seem uas tsim los ntawm cov roj lubricating, plua plav thiab txheej txheej dhau los yuav sau cov dej vapor thiab lwm cov pa phem, uas yuav cuam tshuam ncaj qha rau lub tshuab nqus tsev kawm ntawv thiab ua rau muaj kev ua yeeb yaj kiab tsis ua haujlwm. Kev luv luv lossis lub hom phiaj arcing, ntxhib zaj duab xis nto thiab cov ntsiab lus tshuaj tsis huv ntau dhau yog feem ntau tshwm sim los ntawm cov khoom tsis huv hauv chav, rab phom sputtering thiab lub hom phiaj. Txhawm rau ua raws li cov yam ntxwv ntawm cov txheej txheem, nws yog ib qho tsim nyog yuav tsum tau ntxuav thiab ziab cov roj (argon lossis oxygen). Tom qab lub substrate raug ntsia rau hauv sputtering chamber, huab cua yuav tsum tau muab rho tawm kom ncav cuag lub tshuab nqus tsev yuav tsum tau los ntawm tus txheej txheem. Cov ntaub thaiv npog nyob rau hauv qhov tsaus ntuj nti, kab noj hniav phab ntsa thiab qhov chaw nyob ib sab kuj yuav tsum tau ua kom huv si. Thaum ntxuav lub tshuab nqus tsev, peb tawm tswv yim siv cov iav pob txhaj tshuaj blasting los kho cov plua plav, ua ke nrog cov cua compressed kom tshem tawm cov khib nyiab thaum ntxov nyob ib ncig ntawm lub chamber, thiab tom qab ntawd ntsiag to polish sab nrauv nrog alumina impregnated sandpaper. Tom qab polishing daim ntawv gauze, nws yog ntxuav nrog cawv, acetone thiab dej deionized. Ua ke, nws tawm tswv yim siv lub tshuab nqus tsev ua haujlwm rau kev pab tu. Lub hom phiaj tsim los ntawm Gaozhan hlau yog ntim rau hauv lub tshuab nqus tsev ntim hnab yas,
Ua nyob rau hauv noo-pov thawj tus neeg saib xyuas. Thaum siv lub hom phiaj, thov tsis txhob kov lub hom phiaj ncaj qha nrog koj txhais tes. Nco tseg: thaum siv lub hom phiaj, thov hnav cov hnab looj tes kom huv thiab tsis muaj lint. Tsis txhob kov lub hom phiaj ncaj qha nrog koj txhais tes
2, Lub hom phiaj tu
Lub hom phiaj ntawm kev tu lub hom phiaj yog tshem tawm cov plua plav lossis av uas muaj nyob rau ntawm qhov chaw ntawm lub hom phiaj.
Lub hom phiaj hlau tuaj yeem ntxuav hauv plaub kauj ruam,
Thawj kauj ruam yog los ntxuav nrog ib daim ntaub mos mos uas ntub hauv acetone;
Cov kauj ruam thib ob zoo ib yam li thawj kauj ruam, ntxuav nrog cawv;
Kauj Ruam 3: ntxuav nrog dej deionized. Tom qab ntxuav nrog dej deionized, tso lub hom phiaj rau hauv qhov cub thiab qhuav ntawm 100 ℃ rau 30 feeb.
Kev ntxuav ntawm oxide thiab ceramic lub hom phiaj yuav tsum tau ua nrog "lint dawb daim ntaub".
Cov kauj ruam thib plaub yog ntxuav lub hom phiaj nrog argon nrog kev kub siab thiab dej tsis tshua muaj roj tom qab tshem tawm cov plua plav, kom tshem tawm tag nrho cov impurity hais tias yuav ua rau arc hauv lub tshuab sputtering.
3 、 Lub hom phiaj ntaus ntawv
Nyob rau hauv tus txheej txheem ntawm lub hom phiaj installation, Z kev ceev faj tseem ceeb yog los xyuas kom meej ib tug zoo thermal conduction kev twb kev txuas ntawm lub hom phiaj thiab lub txias phab ntsa ntawm lub sputtering phom. Yog hais tias lub warpage ntawm lub txias stave yog hnyav heev los yog lub warpage ntawm lub phaj rov qab yog heev, lub hom phiaj ntaus ntawv yuav tawg los yog khoov, thiab thermal conductivity ntawm lub hom phiaj rov qab mus rau lub hom phiaj yuav cuam tshuam heev, ua rau tsis ua hauj lwm ntawm tshav kub dissipation. nyob rau hauv cov txheej txheem sputtering, thiab lub hom phiaj yuav tawg los yog nco
Txhawm rau kom ntseeg tau cov thermal conductivity, ib txheej ntawm graphite ntawv tuaj yeem padded ntawm lub cathode txias phab ntsa thiab lub hom phiaj. Thov ua tib zoo saib xyuas thiab ua kom pom tseeb qhov tiaj tus ntawm phab ntsa txias ntawm rab phom sputtering siv los xyuas kom meej tias O-ring nyob ib txwm nyob.
Txij li kev ua kom huv ntawm cov dej txias siv thiab cov plua plav uas yuav tshwm sim thaum lub sijhawm ua haujlwm ntawm cov cuab yeej yuav muab tso rau hauv cathode txias dej tank, nws yog ib qho tsim nyog los xyuas thiab ntxuav lub cathode txias dej tank thaum txhim kho lub hom phiaj kom ntseeg tau tias du kev ncig ntawm cov dej txias thiab tias qhov nkag thiab qhov hluav taws xob yuav tsis raug thaiv.
Qee cov cathodes tau npaj kom muaj qhov chaw me me nrog cov anode, yog li thaum txhim kho lub hom phiaj, nws yuav tsum tau ua kom ntseeg tau tias tsis muaj qhov kov lossis tus neeg xyuas pib ntawm cathode thiab anode, txwv tsis pub yuav muaj luv luv Circuit Court.
Xa mus rau tus neeg teb xov tooj cov khoom siv phau ntawv qhia txog kev siv lub hom phiaj kom raug. Yog tias tsis muaj cov ntaub ntawv zoo li no hauv cov neeg siv phau ntawv, thov sim nruab lub cuab yeej raws li cov lus qhia cuam tshuam los ntawm Gaozhan hlau. Thaum zawm lub hom phiaj fixture, thawj zaug zawm ib tug ntsia liaj qhov rooj los ntawm tes, thiab ces zawm lwm bolt ntawm kab pheeb ces kaum ntawm tes. Rov ua qhov no kom txog thaum tag nrho cov bolts ntawm lub cuab yeej tau nruj, thiab tom qab ntawd nruj nrog qee yam.
4, luv Circuit Court thiab nruj soj ntsuam
Tom qab ua tiav ntawm lub hom phiaj ntaus ntawv, nws yuav tsum tau xyuas qhov luv luv Circuit Court thiab nruj ntawm tag nrho cov cathode,
Nws tau thov kom txiav txim siab seb puas muaj qhov luv luv hauv lub cathode los ntawm kev siv lub ntsuas ntsuas
Kab kev ntxub ntxaug. Tom qab paub tseeb tias tsis muaj luv luv Circuit Court nyob rau hauv lub cathode, kev kuaj pom tuaj yeem ua tiav, thiab dej tuaj yeem nkag mus rau hauv cathode kom paub meej tias puas muaj dej ntws.
5, Lub hom phiaj ua ntej sputtering
Lub hom phiaj ua ntej sputtering tawm tswv yim ntshiab argon sputtering, uas tuaj yeem ntxuav qhov chaw ntawm lub hom phiaj. Thaum lub hom phiaj yog ua ntej sputtered, nws tau tawm tswv yim kom maj mam nce lub zog sputtering, thiab lub zog nce tus nqi ntawm ceramic phiaj yog 1.5WH / cm2. Qhov ua ntej sputtering ceev ntawm lub hom phiaj hlau tuaj yeem siab dua li ntawm cov phiaj xwm ceramic, thiab lub zog tsim nyog nce tus nqi yog 1.5WH / cm2.
Nyob rau hauv tus txheej txheem ntawm presputtering, peb yuav tsum tau xyuas lub arcing ntawm lub hom phiaj. Lub sij hawm ua ntej sputtering feem ntau yog li 10 feeb. Yog tias tsis muaj qhov tshwm sim arcing, txuas ntxiv ua kom lub zog sputtering
Rau lub zog teeb. Raws li kev paub dhau los, qhov tau txais Z siab sputtering zog ntawm lub hom phiaj hlau yog
25watts / cm2, 10watts / cm2 rau ceramic phiaj. Thov xa mus rau qhov chaw teeb tsa thiab kev paub dhau los ntawm lub tshuab nqus tsev siab thaum lub sij hawm sputtering nyob rau hauv tus neeg siv lub cev ua haujlwm phau ntawv. Feem ntau, nws yuav tsum tau xyuas kom meej tias cov dej kub ntawm qhov hluav taws xob ntawm cov dej txias yuav tsum qis dua 35 ℃, tab sis Z nws yog ib qho tseem ceeb kom ntseeg tau tias cov dej ntws ntawm cov dej txias tuaj yeem ua haujlwm zoo.
Kev khiav ceev ceev ntawm cov dej supercooling tshem tawm cov cua sov, uas yog ib qho tseem ceeb lav kom paub meej txuas ntxiv nrog lub zog siab. Rau cov hom phiaj hlau, nws yog feem ntau tawm tswv yim tias cov dej txias ntws
20lpm dej siab yog li 5gmp; Rau cov hom phiaj ceramic, nws feem ntau tawm tswv yim tias cov dej ntws yog 30lpm thiab cov dej siab yog li 9gmp.
6, Lub hom phiaj kev saib xyuas
Txhawm rau tiv thaiv luv luv Circuit Court thiab arcing tshwm sim los ntawm cov kab noj hniav tsis huv hauv cov txheej txheem sputtering, nws yog ib qho tsim nyog yuav tsum tshem tawm cov sputters nyob rau hauv nruab nrab thiab ob sab ntawm lub sputtering khiav hauv theem,
Qhov no kuj pab cov neeg siv kom tsis tu ncua sputter ntawm z siab zog ceev
7 、 Lub hom phiaj cia
Lub hom phiaj muab los ntawm Gaozhan hlau yog ntim rau hauv ob txheej txheej nqus hnab yas. Peb tawm tswv yim tias cov neeg siv khaws lub hom phiaj, txawm tias hlau lossis ceramic, hauv lub tshuab nqus tsev ntim khoom. Tshwj xeeb, lub hom phiaj kev sib txuas yuav tsum tau muab cia rau hauv lub tshuab nqus tsev kom tiv thaiv oxidation ntawm cov txheej txheem sib txuas los ntawm kev cuam tshuam rau kev sib txuas zoo. Hais txog kev ntim cov hom phiaj hlau, peb tawm tswv yim tias Z yuav tsum tau ntim rau hauv cov hnab yas huv
Post lub sij hawm: May-13-2022