Lub hom phiaj muaj ntau txoj haujlwm thiab kev siv dav hauv ntau qhov chaw. Cov khoom siv sputtering tshiab yuav luag siv cov hlau nplaum muaj zog los muab kauv cov hluav taws xob kom ceev cov ionization ntawm argon nyob ib ncig ntawm lub hom phiaj, uas ua rau muaj qhov tshwm sim ntawm kev sib tsoo ntawm lub hom phiaj thiab argon ions,
Nce tus nqi sputtering. Feem ntau, DC sputtering yog siv rau txheej hlau, thaum RF kev sib txuas lus sputtering yog siv rau cov khoom siv hlau nplaum uas tsis yog-conductive ceramic. Lub hauv paus ntsiab lus tseem ceeb yog siv glow tawm mus ntaus argon (AR) ions ntawm qhov chaw ntawm lub hom phiaj hauv lub tshuab nqus tsev, thiab cov cations hauv cov ntshav yuav nrawm nrawm mus rau qhov tsis zoo electrode nto raws li cov khoom tawg. Qhov kev cuam tshuam no yuav ua rau cov khoom ntawm lub hom phiaj ya tawm thiab tso rau ntawm substrate los ua ib zaj duab xis.
Feem ntau, muaj ob peb yam ntawm zaj duab xis txheej siv cov txheej txheem sputtering:
(1) Hlau, alloy lossis insulator tuaj yeem ua rau cov ntaub ntawv nyias nyias.
(2) Raws li kev teeb tsa tsim nyog, zaj duab xis nrog tib lub ntsiab lus tuaj yeem tsim los ntawm ntau lub hom phiaj thiab tsis zoo.
(3) Kev sib xyaw lossis cov khoom sib xyaw ntawm cov khoom siv thiab cov roj molecules tuaj yeem tsim los ntawm kev ntxiv cov pa oxygen lossis lwm cov pa roj hauv cov pa tawm.
(4) Lub hom phiaj tawm tswv yim tam sim no thiab lub sijhawm sputtering tuaj yeem tswj tau, thiab nws yooj yim kom tau txais cov yeeb yaj kiab siab tuab.
(5) Nws muaj txiaj ntsig zoo rau kev tsim khoom ntawm lwm cov yeeb yaj kiab.
(6) Lub sputtered hais tsis tshua muaj kev cuam tshuam los ntawm lub ntiajteb txawj nqus, thiab lub hom phiaj thiab substrate tuaj yeem tsim kev ywj pheej.
Post lub sij hawm: May-24-2022