Sputtered lub hom phiaj cov ntaub ntawv muaj kev xav tau siab thaum siv, tsis yog tsuas yog rau purity thiab particle loj, tab sis kuj rau uniform particle loj. Cov kev xav tau siab no ua rau peb them nyiaj ntau dua thaum siv cov khoom siv sputtering.
1. Sputtering npaj
Nws yog ib qho tseem ceeb heev uas yuav tsum ua kom huv si ntawm lub tshuab nqus tsev vacuum, tshwj xeeb tshaj yog cov sputtering system. Lubricants, plua plav, thiab lwm yam khoom seem los ntawm cov txheej txheem yav dhau los tuaj yeem tsim cov pa phem xws li dej, cuam tshuam ncaj qha rau lub tshuab nqus tsev thiab ua rau muaj qhov ua tau zoo ntawm cov yeeb yaj kiab tsis ua haujlwm. Short circuits, phiaj arcing, ntxhib zaj duab xis-tsim nto, thiab ntau chemical impurities feem ntau yog tshwm sim los ntawm tsis huv sputtering chambers, phom, thiab lub hom phiaj.
Yuav kom tswj tau cov yam ntxwv ntawm cov txheej txheem, cov pa roj (argon lossis oxygen) yuav tsum huv thiab qhuav. Tom qab txhim kho lub substrate nyob rau hauv lub sputtering chamber, huab cua yuav tsum tau muab rho tawm kom tiav lub nqus tsev vacuum theem rau txheej txheem.
2. Lub hom phiaj tu
Lub hom phiaj ntawm kev tu lub hom phiaj yog tshem tawm cov plua plav lossis av uas muaj nyob rau ntawm lub hom phiaj.
3. Lub hom phiaj installation
Qhov tseem ceeb tshaj plaws uas yuav tsum tau them sai sai rau thaum lub sij hawm kev teeb tsa ntawm lub hom phiaj cov khoom yog kom muaj kev sib txuas zoo thermal ntawm cov khoom siv thiab cov phab ntsa txias ntawm rab phom sputtering. Yog tias cov phab ntsa txias los yog cov phaj rov qab yog qhov hnyav heev, nws yuav ua rau tawg lossis khoov thaum lub sij hawm installation ntawm cov khoom siv. Lub tshav kub hloov ntawm lub hom phiaj rov qab mus rau lub hom phiaj cov khoom yuav cuam tshuam zoo heev, ua rau tsis muaj peev xwm ua kom tsis muaj cua sov thaum lub sij hawm sputtering, thaum kawg ua rau tawg lossis sib txawv ntawm cov khoom siv.
4. Kev tshuaj xyuas luv luv thiab kev sib khi
Tom qab lub installation ntawm lub hom phiaj cov khoom, nws yog ib qhov tsim nyog los xyuas qhov luv luv Circuit Court thiab sealing ntawm tag nrho cov cathode. Nws raug nquahu kom siv lub ohmmeter thiab megohmmeter los txiav txim seb lub cathode luv luv. Tom qab paub tseeb tias cov cathode tsis luv luv, kev kuaj pom tuaj yeem ua tiav los ntawm kev txhaj dej rau hauv cathode los txiav txim siab seb puas muaj qhov xau.
5. Lub hom phiaj cov khoom ua ntej sputtering
Nws raug nquahu kom siv cov roj ntshiab argon rau ua ntej sputtering ntawm lub hom phiaj cov khoom, uas tuaj yeem ntxuav qhov chaw ntawm cov khoom siv. Nws raug nquahu kom maj mam nce lub zog sputtering thaum lub sijhawm ua ntej sputtering txheej txheem rau cov khoom siv. Lub zog ntawm cov khoom siv lub hom phiaj ceramic
Post lub sij hawm: Oct-19-2023