Peb yuav tsum paub zoo txog lub hom phiaj tam sim no, tam sim no lub hom phiaj kev lag luam tseem nce ntxiv, cov hauv qab no yog dab tsi yog qhov kev ua tau zoo ntawm sputtering lub hom phiaj sib koom los ntawm editor los ntawm RSM
Lub purity
Purity ntawm lub hom phiaj cov ntaub ntawv yog ib tug ntawm cov tseem ceeb Performance indexes, vim hais tias lub purity ntawm lub hom phiaj cov ntaub ntawv muaj ib tug zoo ntxim rau cov kev ua tau zoo ntawm nyias zaj duab xis. Txawm li cas los xij, hauv kev siv tswv yim, purity yuav tsum tau ntawm cov ntaub ntawv hom phiaj tsis zoo ib yam. Piv txwv li, nrog kev loj hlob sai ntawm kev lag luam microelectronics, silicon nti loj tau tsim los ntawm 6 ", 8 "mus rau 12", thiab qhov dav ntawm txoj hlua tau raug txo los ntawm 0.5um mus rau 0.25um, 0.18um lossis txawm tias 0.13um. Yav dhau los, purity ntawm 99.995% cov khoom siv tuaj yeem ua tau raws li cov txheej txheem ntawm 0.35umIC. Lub purity ntawm lub hom phiaj cov khoom yog 99.999% los yog txawm 99.9999% rau kev npaj ntawm 0.18um kab.
Cov ntsiab lus impurity
Cov impurities nyob rau hauv lub hom phiaj khoom thiab cov pa thiab dej vapor nyob rau hauv lub pores yog lub ntsiab pa phem qhov chaw ntawm zaj duab xis deposition. Cov khoom siv rau lub hom phiaj sib txawv muaj cov kev cai sib txawv rau cov ntsiab lus impurity sib txawv. Piv txwv li, ntshiab aluminium thiab aluminium alloy lub hom phiaj siv hauv kev lag luam semiconductor muaj cov cai tshwj xeeb rau cov ntsiab lus ntawm alkali hlau thiab cov khoom siv hluav taws xob.
Qhov ceev
Txhawm rau txo qhov porosity hauv lub hom phiaj khoom thiab txhim kho kev ua haujlwm ntawm cov yeeb yaj kiab sputtering, qhov siab ceev ntawm lub hom phiaj feem ntau yuav tsum tau ua. Qhov ceev ntawm lub hom phiaj cuam tshuam tsis tau tsuas yog tus nqi sputtering tab sis kuj yog cov khoom siv hluav taws xob thiab kho qhov muag ntawm cov yeeb yaj kiab. Qhov siab dua lub hom phiaj ceev, qhov ua tau zoo ntawm zaj duab xis. Tsis tas li ntawd, nce qhov ceev thiab lub zog ntawm lub hom phiaj ua rau lub hom phiaj zoo dua tiv thaiv cov thermal stress hauv cov txheej txheem sputtering. Qhov ceev kuj yog ib qho ntawm cov kev ua haujlwm tseem ceeb ntawm lub hom phiaj.
Grain size thiab grain loj faib
Lub hom phiaj feem ntau yog polycrystalline nrog grain loj xws li micrometer mus rau millimeter. Rau tib lub hom phiaj, qhov sputtering tus nqi ntawm lub hom phiaj nrog cov nplej me me yog nrawm dua li ntawm lub hom phiaj nrog cov nplej loj. Lub thickness tis ntawm cov yeeb yaj kiab tso los ntawm sputtering lub hom phiaj nrog cov nplej me me sib txawv (cov qauv faib) yog qhov sib txawv.
Post lub sij hawm: Aug-04-2022