Sputtered molybdenum lub hom phiaj tau siv dav hauv kev lag luam hluav taws xob, hnub ci hlwb, iav txheej, thiab lwm yam kev lag luam vim lawv qhov txiaj ntsig zoo. Nrog rau txoj kev loj hlob sai ntawm cov cuab yeej niaj hnub hauv kev ua haujlwm me me, kev sib koom ua ke, digitization, thiab kev txawj ntse, kev siv cov hom phiaj molybdenum yuav nce ntxiv, thiab cov kev xav tau zoo rau lawv kuj yuav nce siab ntxiv. Yog li peb yuav tsum nrhiav txoj hauv kev los txhim kho qhov kev siv ntawm molybdenum lub hom phiaj. Tam sim no, tus editor ntawm RSM yuav qhia ntau txoj hauv kev los txhim kho qhov kev siv ntawm sputtering molybdenum lub hom phiaj rau txhua tus.
1. Ntxiv electromagnetic coil nyob rau sab nraub qaum
Txhawm rau txhim kho qhov kev siv tus nqi ntawm lub hom phiaj sputtered molybdenum, ib qho electromagnetic kauj tuaj yeem ntxiv rau sab nraub qaum ntawm lub phiaj xwm Magnetron sputtering molybdenum lub hom phiaj, thiab cov hlau nplaum ntawm qhov chaw ntawm lub hom phiaj molybdenum tuaj yeem nce ntxiv los ntawm kev nce tam sim no. electromagnetic coil, thiaj li yuav txhim khu kev siv tus nqi ntawm molybdenum phiaj.
2. Xaiv cov khoom siv tubular tig lub hom phiaj
Piv nrog rau lub hom phiaj tiaj tus, xaiv tubular rotating lub hom phiaj qauv qhia txog nws qhov txiaj ntsig tseem ceeb. Feem ntau, kev siv tus nqi ntawm lub hom phiaj tiaj tus tsuas yog 30% mus rau 50%, thaum kev siv tus nqi ntawm tubular rotating lub hom phiaj tuaj yeem ncav cuag ntau dua 80%. Ntxiv mus, thaum siv lub rotating hollow raj Magnetron sputtering lub hom phiaj, txij li thaum lub hom phiaj yuav tig ib ncig ntawm lub ruaj bar hlau nplaum sib dhos txhua lub sij hawm, yuav tsis muaj redeposition ntawm nws nto, yog li ntawd lub neej ntawm lub rotating lub hom phiaj yog feem ntau ntau tshaj 5 lub sij hawm ntev. tshaj lub hom phiaj ntawm lub dav hlau.
3. Hloov cov khoom siv sputtering tshiab
Tus yuam sij rau kev txhim kho tus nqi siv ntawm cov khoom siv yog ua kom tiav cov khoom siv sputtering. Thaum lub sij hawm sputtering txheej txheem ntawm molybdenum sputtering lub hom phiaj cov khoom, kwv yees li ib feem ntawm cov sputtering atoms yuav tso rau ntawm lub tshuab nqus tsev chamber phab ntsa los yog bracket tom qab raug ntaus los ntawm hydrogen ions, ua rau tus nqi ntawm tu cov khoom nqus tsev vacuum thiab downtime. Yog li hloov cov khoom siv tshiab sputtering tuaj yeem pab txhim kho kev siv tus nqi ntawm sputtering molybdenum lub hom phiaj.
Post lub sij hawm: May-24-2023