1. Magnetron sputtering txoj kev:
Magnetron sputtering tuaj yeem muab faib ua DC sputtering, nruab nrab zaus sputtering thiab RF sputtering
A. DC sputtering fais fab mov yog pheej yig thiab qhov ceev ntawm deposited zaj duab xis yog tsis zoo. Feem ntau, cov roj teeb photothermal thiab nyias zaj duab xis yog siv nrog lub zog qis, thiab lub hom phiaj sputtering yog lub hom phiaj hlau conductive.
B. Lub RF sputtering lub zog yog siab, thiab lub hom phiaj sputtering tuaj yeem yog lub hom phiaj uas tsis yog coj los yog lub hom phiaj conductive.
C. Nruab nrab zaus sputtering lub hom phiaj tuaj yeem yog lub hom phiaj ceramic lossis hlau phiaj.
2. Kev faib tawm thiab kev siv lub hom phiaj sputtering
Muaj ntau hom sputtering lub hom phiaj, thiab cov hom phiaj kev faib tawm kuj txawv. Raws li cov duab, lawv muab faib ua lub hom phiaj ntev, lub hom phiaj square thiab puag ncig lub hom phiaj; Raws li muaj pes tsawg leeg, nws tuaj yeem muab faib ua lub hom phiaj hlau, lub hom phiaj alloy thiab ceramic compound phiaj; Raws li daim ntawv thov sib txawv, nws tuaj yeem muab faib ua semiconductor ntsig txog ceramic lub hom phiaj, sau cov phiaj xwm nruab nrab ceramic, tso saib cov phiaj xwm ceramic, thiab lwm yam. Sputtering lub hom phiaj yog siv hauv kev lag luam hluav taws xob thiab cov ntaub ntawv, xws li cov ntaub ntawv kev lag luam. Hauv kev lag luam no, sputtering lub hom phiaj yog siv los npaj cov khoom lag luam nyias nyias (hard disk, magnetic head, optical disc, thiab lwm yam). Tam sim no. Nrog rau kev txhim kho txuas ntxiv ntawm cov ntaub ntawv kev lag luam, qhov kev thov rau kev sau cov phiaj xwm nruab nrab ceramic hauv kev ua lag luam yog nce. Kev tshawb fawb thiab tsim cov ntaub ntawv teev cov hom phiaj nruab nrab tau dhau los ua qhov tseem ceeb ntawm kev saib xyuas dav dav.
Post lub sij hawm: May-11-2022