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Ua rau Sputtering Target Cracking thiab Countermeasures

Kev tawg ntawm lub hom phiaj sputtering feem ntau tshwm sim nyob rau hauv ceramic sputtering lub hom phiaj xws li oxides, carbides, nitrides, thiab nkig cov ntaub ntawv xws li chromium, antimony, bismuth. Tam sim no cia cov kws tshaj lij ntawm RSM piav qhia vim li cas lub hom phiaj sputtering tawg thiab yuav ua li cas tiv thaiv kom tsis txhob muaj qhov xwm txheej no.

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Ceramic lossis nkig khoom lub hom phiaj yeej ib txwm muaj kev ntxhov siab nyob hauv. Cov kev ntxhov siab sab hauv no yog tsim los ntawm cov txheej txheem tsim khoom. Tsis tas li ntawd, cov kev ntxhov siab no tsis raug tshem tawm tag nrho los ntawm cov txheej txheem annealing, vim tias lawv yog cov yam ntxwv ntawm cov khoom siv no. Nyob rau hauv cov txheej txheem sputtering, lub foob pob ntawm cov roj ions hloov lawv lub zog mus rau lub hom phiaj atoms, muab lawv lub zog txaus los cais lawv los ntawm cov lattice. Qhov no exothermic momentum hloov ua rau lub hom phiaj kub nce, uas yuav ncav cuag 1000000 ℃ ntawm atomic theem.

Cov thermal shocks ua rau muaj kev ntxhov siab sab hauv uas twb muaj lawm hauv lub hom phiaj rau ntau zaus. Nyob rau hauv cov ntaub ntawv no, yog hais tias lub tshav kub tsis dissipated zoo, lub hom phiaj yuav tawg. Txhawm rau tiv thaiv lub hom phiaj los ntawm kev tawg, qhov kub dissipation yuav tsum tau hais txog. Lub tshuab ua dej txias yuav tsum tau tshem tawm cov cua sov uas tsis xav tau los ntawm lub hom phiaj. Lwm qhov teeb meem los xav txog yog qhov nce hauv lub zog. Ntau lub zog siv rau lub sijhawm luv luv kuj yuav ua rau thermal shock rau lub hom phiaj. Tsis tas li ntawd, peb xav kom khi cov hom phiaj no rau lub nraub qaum, uas tuaj yeem tsis tsuas yog muab kev txhawb nqa rau lub hom phiaj, tab sis kuj txhawb kev sib pauv cua sov zoo dua ntawm lub hom phiaj thiab dej. Yog hais tias lub hom phiaj muaj cov kab nrib pleb tab sis txuas nrog lub phaj rov qab, nws tseem tuaj yeem siv tau.

Rich Special Materials Co., Ltd. tuaj yeem muab lub hom phiaj sputtering nrog backplane. Nws tuaj yeem kho raws li cov neeg siv khoom xav tau ntawm cov khoom siv, thickness thiab kev sib txuas hom.


Post lub sij hawm: Sep-21-2022