स्पटरिंग लक्ष्य क्या है? लक्ष्य इतना महत्वपूर्ण क्यों है?

सेमीकंडक्टर उद्योग अक्सर लक्ष्य सामग्री के लिए एक शब्द देखता है, जिसे वेफर सामग्री और पैकेजिंग सामग्री में विभाजित किया जा सकता है। वेफर निर्माण सामग्री की तुलना में पैकेजिंग सामग्री में अपेक्षाकृत कम तकनीकी बाधाएँ होती हैं। वेफर्स की उत्पादन प्रक्रिया में मुख्य रूप से 7 प्रकार की अर्धचालक सामग्री और रसायन शामिल होते हैं, जिसमें एक प्रकार की स्पटरिंग लक्ष्य सामग्री भी शामिल है। तो लक्ष्य सामग्री क्या है? लक्ष्य सामग्री इतनी महत्वपूर्ण क्यों है? आज हम बात करेंगे कि लक्ष्य सामग्री क्या है!

लक्ष्य सामग्री क्या है?

सीधे शब्दों में कहें तो, लक्ष्य सामग्री उच्च गति वाले आवेशित कणों द्वारा बमबारी की जाने वाली लक्ष्य सामग्री है। विभिन्न लक्ष्य सामग्रियों (जैसे एल्यूमीनियम, तांबा, स्टेनलेस स्टील, टाइटेनियम, निकल लक्ष्य, आदि) को प्रतिस्थापित करके, विभिन्न फिल्म सिस्टम (जैसे सुपरहार्ड, पहनने के लिए प्रतिरोधी, जंग-रोधी मिश्र धातु फिल्में, आदि) प्राप्त किए जा सकते हैं।

वर्तमान में, (शुद्धता) स्पटरिंग लक्ष्य सामग्रियों को विभाजित किया जा सकता है:

1) धातु लक्ष्य (शुद्ध धातु एल्यूमीनियम, टाइटेनियम, तांबा, टैंटलम, आदि)

2) मिश्र धातु लक्ष्य (निकल क्रोमियम मिश्र धातु, निकल कोबाल्ट मिश्र धातु, आदि)

3) सिरेमिक यौगिक लक्ष्य (ऑक्साइड, सिलिसाइड, कार्बाइड, सल्फाइड, आदि)।

विभिन्न स्विचों के अनुसार, इसे लंबे लक्ष्य, वर्ग लक्ष्य और गोलाकार लक्ष्य में विभाजित किया जा सकता है।

विभिन्न अनुप्रयोग क्षेत्रों के अनुसार, इसे विभाजित किया जा सकता है: अर्धचालक चिप लक्ष्य, फ्लैट पैनल डिस्प्ले लक्ष्य, सौर सेल लक्ष्य, सूचना भंडारण लक्ष्य, संशोधित लक्ष्य, इलेक्ट्रॉनिक उपकरण लक्ष्य और अन्य लक्ष्य।

इसे देखकर, आपको उच्च शुद्धता वाले स्पटरिंग लक्ष्यों के साथ-साथ धातु लक्ष्यों में उपयोग किए जाने वाले एल्यूमीनियम, टाइटेनियम, तांबे और टैंटलम की समझ प्राप्त होनी चाहिए। सेमीकंडक्टर वेफर निर्माण में, एल्यूमीनियम प्रक्रिया आमतौर पर 200 मिमी (8 इंच) और नीचे के वेफर्स के निर्माण के लिए मुख्य विधि है, और उपयोग की जाने वाली लक्ष्य सामग्री मुख्य रूप से एल्यूमीनियम और टाइटेनियम तत्व हैं। 300 मिमी (12 इंच) वेफर विनिर्माण, ज्यादातर उन्नत कॉपर इंटरकनेक्शन तकनीक का उपयोग करते हुए, मुख्य रूप से तांबे और टैंटलम लक्ष्य का उपयोग करते हुए।

प्रत्येक व्यक्ति को यह समझना चाहिए कि लक्ष्य सामग्री क्या है। कुल मिलाकर, चिप अनुप्रयोगों की बढ़ती रेंज और चिप बाजार में बढ़ती मांग के साथ, उद्योग में चार मुख्यधारा की पतली फिल्म धातु सामग्री, अर्थात् एल्यूमीनियम, टाइटेनियम, टैंटलम और तांबे की मांग में निश्चित रूप से वृद्धि होगी। और वर्तमान में, कोई अन्य समाधान नहीं है जो इन चार पतली फिल्म धातु सामग्रियों को प्रतिस्थापित कर सके।