कोटिंग लक्ष्य सामग्री की विशेषताएं और तकनीकी सिद्धांत क्या हैं?

लेपित लक्ष्य पर पतली फिल्म एक विशेष सामग्री आकार है. मोटाई की विशिष्ट दिशा में पैमाना बहुत छोटा होता है, जो एक सूक्ष्म मापने योग्य मात्रा है। इसके अलावा, फिल्म की मोटाई की उपस्थिति और इंटरफ़ेस के कारण, सामग्री की निरंतरता समाप्त हो जाती है, जिससे फिल्म डेटा और लक्ष्य डेटा में अलग-अलग सामान्य गुण होते हैं। और लक्ष्य मुख्य रूप से मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग का उपयोग होता है, बीजिंग रिचमैट का एडिटर हमें समझने में ले जाएगा स्पटरिंग कोटिंग का सिद्धांत और कौशल।

　　一、स्पटरिंग कोटिंग का सिद्धांत

स्पटरिंग कोटिंग कौशल आयन शेलिंग लक्ष्य उपस्थिति का उपयोग करना है, लक्ष्य परमाणुओं को स्पटरिंग के रूप में जाना जाने वाली घटना से बाहर कर दिया जाता है। सब्सट्रेट की सतह पर जमा परमाणुओं को स्पटरिंग कोटिंग कहा जाता है। आम तौर पर, गैस आयनीकरण गैस डिस्चार्ज द्वारा उत्पन्न होता है, और सकारात्मक आयन विद्युत क्षेत्र की कार्रवाई के तहत कैथोड लक्ष्य पर उच्च गति से बमबारी करते हैं, जिससे परमाणुओं या अणुओं को बाहर निकाल दिया जाता है। कैथोड लक्ष्य, और एक फिल्म में जमा होने के लिए सब्सट्रेट की सतह पर उड़ान भरता है। सीधे शब्दों में कहें तो, स्पटरिंग कोटिंग आयन उत्पन्न करने के लिए कम दबाव वाली अक्रिय गैस ग्लो डिस्चार्ज का उपयोग करती है।

आम तौर पर, स्पटरिंग फिल्म चढ़ाना उपकरण एक वैक्यूम डिस्चार्ज कक्ष में दो इलेक्ट्रोड से सुसज्जित होता है, और कैथोड लक्ष्य कोटिंग डेटा से बना होता है। निर्वात कक्ष 0.1~10Pa के दबाव के साथ आर्गन गैस से भरा होता है। 1~3kV डीसी के नकारात्मक उच्च वोल्टेज या 13.56mhz के आरएफ वोल्टेज की कार्रवाई के तहत कैथोड पर ग्लो डिस्चार्ज होता है। आर्गन आयन लक्ष्य सतह पर बमबारी करते हैं और सब्सट्रेट पर थूके हुए लक्ष्य परमाणुओं को जमा करने का कारण बनते हैं।

　　二、स्पटरिंग कोटिंग कौशल विशेषताएँ

1、तेज़ स्टैकिंग गति

उच्च गति मैग्नेट्रोन स्पटरिंग इलेक्ट्रोड और पारंपरिक दो चरण स्पटरिंग इलेक्ट्रोड के बीच अंतर यह है कि चुंबक को लक्ष्य के नीचे व्यवस्थित किया जाता है, इसलिए बंद असमान चुंबकीय क्षेत्र लक्ष्य की सतह पर होता है। इलेक्ट्रॉनों पर लोरेंत्ज़ बल केंद्र की ओर होता है विषम चुंबकीय क्षेत्र का. फोकसिंग प्रभाव के कारण, इलेक्ट्रॉन कम निकलते हैं। विषम चुंबकीय क्षेत्र लक्ष्य सतह के चारों ओर घूमता है, और विषम चुंबकीय क्षेत्र में पकड़े गए द्वितीयक इलेक्ट्रॉन गैस अणुओं से बार-बार टकराते हैं, जिससे गैस अणुओं की उच्च रूपांतरण दर में सुधार होता है। इसलिए, उच्च गति मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कम बिजली की खपत करता है, लेकिन आदर्श डिस्चार्ज विशेषताओं के साथ एक बेहतरीन कोटिंग दक्षता प्राप्त कर सकते हैं।

2、सब्सट्रेट का तापमान कम है

उच्च गति मैग्नेट्रोन स्पटरिंग, जिसे निम्न तापमान स्पटरिंग के रूप में भी जाना जाता है। इसका कारण यह है कि उपकरण विद्युत चुम्बकीय क्षेत्रों के ऐसे स्थान में डिस्चार्ज का उपयोग करता है जो एक दूसरे से सीधे होते हैं। द्वितीयक इलेक्ट्रॉन जो लक्ष्य के बाहर, एक दूसरे में होते हैं। एक सीधे विद्युत चुम्बकीय क्षेत्र की कार्रवाई के तहत, यह लक्ष्य की सतह के पास बंधा होता है और एक गोलाकार रोलिंग लाइन में रनवे के साथ चलता है, गैस अणुओं को आयनित करने के लिए गैस अणुओं के खिलाफ बार-बार दस्तक देता है। साथ में, इलेक्ट्रॉन स्वयं धीरे-धीरे अपनी ऊर्जा खो देते हैं, बार-बार टकराने से, जब तक कि सब्सट्रेट के पास लक्ष्य की सतह से भागने से पहले उनकी ऊर्जा लगभग पूरी तरह से नष्ट न हो जाए। क्योंकि इलेक्ट्रॉनों की ऊर्जा इतनी कम है, लक्ष्य का तापमान बहुत अधिक नहीं बढ़ता है। यह एक साधारण डायोड शॉट के उच्च-ऊर्जा इलेक्ट्रॉन बमबारी के कारण होने वाले सब्सट्रेट तापमान वृद्धि का प्रतिकार करने के लिए पर्याप्त है, जो क्रायोजेनाइजेशन को पूरा करता है।

3、झिल्ली संरचनाओं की एक विस्तृत श्रृंखला

वैक्यूम वाष्पीकरण और इंजेक्शन जमाव द्वारा प्राप्त पतली फिल्मों की संरचना थोक ठोस पदार्थों को पतला करके प्राप्त की गई फिल्मों से काफी भिन्न होती है। आम तौर पर मौजूदा ठोस पदार्थों के विपरीत, जिन्हें अनिवार्य रूप से तीन आयामों में एक ही संरचना के रूप में वर्गीकृत किया जाता है, गैस चरण में जमा की गई फिल्मों को विषम संरचनाओं के रूप में वर्गीकृत किया जाता है। पतली फिल्में स्तंभकार होती हैं और इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी को स्कैन करके जांच की जा सकती हैं। फिल्म की स्तंभ वृद्धि सब्सट्रेट की मूल उत्तल सतह और सब्सट्रेट के प्रमुख हिस्सों में कुछ छायाओं के कारण होती है। हालाँकि, सब्सट्रेट तापमान, स्टैक्ड परमाणुओं की सतह के फैलाव, अशुद्धता परमाणुओं के दबने और सब्सट्रेट सतह के सापेक्ष आपतित परमाणुओं के घटना कोण के कारण स्तंभ का आकार और आकार काफी भिन्न होता है। अत्यधिक तापमान सीमा में, पतली फिल्म में रेशेदार संरचना, उच्च घनत्व होता है, जो महीन स्तंभ क्रिस्टल से बना होता है, जो स्पटरिंग फिल्म की अनूठी संरचना है।

स्पटरिंग दबाव और फिल्म स्टैकिंग गति भी फिल्म की संरचना को प्रभावित करती है। क्योंकि गैस अणुओं में सब्सट्रेट की सतह पर परमाणुओं के फैलाव को दबाने का प्रभाव होता है, उच्च स्पटरिंग दबाव का प्रभाव मॉडल में सब्सट्रेट तापमान में गिरावट के लिए उपयुक्त होता है। इसलिए, बारीक कणों वाली झरझरा फिल्में उच्च स्पटरिंग दबाव पर प्राप्त की जा सकती हैं। यह छोटे दाने के आकार की फिल्म स्नेहन, पहनने के प्रतिरोध, सतह सख्त करने और अन्य यांत्रिक अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त है।

4、संरचना को समान रूप से व्यवस्थित करें

यौगिक, मिश्रण, मिश्रधातु इत्यादि, जिन्हें वैक्यूम वाष्पीकरण द्वारा लेपित करना उपयुक्त रूप से कठिन होता है क्योंकि घटकों के वाष्प दबाव अलग-अलग होते हैं या गर्म होने पर वे भिन्न होते हैं। स्पटरिंग कोटिंग विधि परमाणुओं की लक्ष्य सतह परत को परत दर परत बनाना है सब्सट्रेट के लिए, इस अर्थ में एक अधिक उत्तम फिल्म निर्माण कौशल है। स्पटरिंग द्वारा औद्योगिक कोटिंग उत्पादन में सभी प्रकार की सामग्रियों का उपयोग किया जा सकता है।