स्पटरिंग टाइटेनियम मिश्र धातु लक्ष्य और टाइटेनियम धातु टाइटेनियम से बने होते हैं, इसलिए जानकारी लगभग समान है, लेकिन दोनों के बीच का अंतर मुख्य रूप से स्पटरिंग टाइटेनियम मिश्र धातु लक्ष्य में निहित है जो कई तरीकों से टाइटेनियम धातु से बना है, और टाइटेनियम प्रकृति में होता है टाइटेनियम अयस्क। टाइटेनियम मिश्र धातु लक्ष्यों का व्यापक रूप से कई व्यावसायिक श्रेणियों में उपयोग किया जा सकता है, अब बीजिंग रिचमैट के लेखक ने हमें स्थिति के उपयोग के संदर्भ में कई सामान्य टाइटेनियम मिश्र धातु लक्ष्यों का सारांश दिया है। विस्तृत परिचय.
दूसरा, एकीकृत सर्किट के लिए Ti लक्ष्य
गैर-एकीकृत सर्किट और एकीकृत सर्किट के बीच टाइटेनियम मिश्र धातु लक्ष्य को स्पटरिंग करने की आवश्यकताएं अलग-अलग हैं। सामान्य तौर पर, एकीकृत सर्किट में कोटिंग डेटा के लिए उच्च आवश्यकताएं होती हैं, जैसे उच्च शुद्धता, छोटे अनाज का आकार और अधिक सटीक स्केल सटीकता। एकीकृत सर्किट में टाइटेनियम लक्ष्य की शुद्धता 99.995% से अधिक है, जो गैर-एकीकृत में उपयोग की जाने वाली तुलना में अधिक है। सर्किट, यह दर्शाता है कि टाइटेनियम लक्ष्य आवश्यकताओं के विभिन्न उपयोग बहुत भिन्न हैं।
दूसरा, फ्लैट पैनल डिस्प्ले के लिए Ti लक्ष्य
फ्लैट पैनल डिस्प्ले में उपयोग किए जाने वाले टाइटेनियम मिश्र धातु लक्ष्यों में लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले, प्लाज्मा डिस्प्ले, इलेक्ट्रोल्यूमिनसेंस डिस्प्ले और फील्ड उत्सर्जन डिस्प्ले शामिल हैं। फ्लैट डिस्प्ले की पतली फिल्म स्पटरिंग विधि है, अल, क्यू, टीआई और मो फ्लैट पैनल के लिए प्राथमिक धातु स्पटरिंग लक्ष्य हैं डिस्प्ले। फ्लैट पैनल डिस्प्ले के लिए टाइटेनियम मिश्र धातु लक्ष्य की शुद्धता आमतौर पर 99.9% से अधिक है।
三、सजावटी सामग्री के लिए Ti लक्ष्य
उच्च शुद्धता वाले टाइटेनियम मिश्र धातु लक्ष्य सामग्री में उत्कृष्ट वायु संक्षारण प्रतिरोध होता है, हवा में लंबे समय तक उपयोग से रंग नहीं बदलता है, यह सुनिश्चित करने के लिए कि टाइटेनियम का मूल रंग और मानव संपर्क एलर्जी और अन्य उत्कृष्ट विशेषताएं नहीं हैं। इसलिए, उच्च शुद्धता वाले टाइटेनियम का उपयोग सजावटी सामग्री के रूप में भी किया जा सकता है, हाल के वर्षों में, जैसे कंगन, घड़ियां और चश्मे और अन्य आभूषणों के साथ टाइटेनियम की शुद्धता 5N स्तर तक पहुंच गई है।
और, अल्ट्रा-हाई वैक्यूम पंपिंग सिस्टम के लिए Ti लक्ष्य
रासायनिक रूप से सक्रिय धातु के रूप में, टाइटेनियम उच्च तापमान पर कई तत्वों और यौगिकों के साथ प्रतिक्रिया कर सकता है। उच्च शुद्धता वाले टाइटेनियम मिश्र धातु लक्ष्य में सक्रिय गैसों (जैसे O2, N2, CO, CO2, 650°C से ऊपर जल वाष्प) के लिए एक मजबूत सोखने की क्षमता होती है, और पंप की दीवार पर वाष्पित होने वाली Ti फिल्म उच्च सोखना प्रदर्शन के साथ एक सतह बना सकती है। . यह गुण Ti को अल्ट्रा-हाई वैक्यूम गैस निष्कर्षण प्रणाली में गेटर के रूप में व्यापक रूप से उपयोग करता है। यदि पंप, स्पटरिंग आयन पंप आदि को बेहतर बनाने के लिए उपयोग किया जाता है, तो यह स्पटरिंग आयन पंप के अंतिम ऑपरेटिंग दबाव को 10-9PA तक कम कर सकता है।
पोस्ट करने का समय: अप्रैल-25-2022