मिश्रधातु लक्ष्य के लिए सावधानियां

1、 स्पटरिंग तैयारी

वैक्यूम चैम्बर, विशेषकर स्पटरिंग सिस्टम को साफ रखना बहुत महत्वपूर्ण है। चिकनाई वाले तेल, धूल और पिछली कोटिंग से बना कोई भी अवशेष जल वाष्प और अन्य प्रदूषक एकत्र करेगा, जो सीधे वैक्यूम डिग्री को प्रभावित करेगा और फिल्म बनाने में विफलता की संभावना को बढ़ाएगा। शॉर्ट सर्किट या लक्ष्य आर्किंग, खुरदरी फिल्म सतह और अत्यधिक रासायनिक अशुद्धता सामग्री अक्सर अशुद्ध स्पटरिंग कक्ष, स्पटरिंग गन और लक्ष्य के कारण होती है। कोटिंग की संरचना विशेषताओं का पालन करने के लिए, स्पटरिंग गैस (आर्गन या ऑक्सीजन) को साफ करना और सुखाना आवश्यक है। स्पटरिंग कक्ष में सब्सट्रेट स्थापित होने के बाद, प्रक्रिया के लिए आवश्यक वैक्यूम तक पहुंचने के लिए हवा को निकालने की आवश्यकता होती है। अंधेरे क्षेत्र में परिरक्षण आवरण, गुहा दीवार और आसन्न सतह को भी साफ रखना होगा। वैक्यूम चैंबर की सफाई करते समय, हम धूल भरे हिस्सों का इलाज करने के लिए ग्लास बॉल शॉट ब्लास्टिंग का उपयोग करने की वकालत करते हैं, साथ ही चैंबर के चारों ओर शुरुआती छींटों के अवशेषों को हटाने के लिए संपीड़ित हवा का उपयोग करते हैं, और फिर एल्यूमिना संसेचित सैंडपेपर के साथ बाहरी सतह को चुपचाप पॉलिश करते हैं। गॉज पेपर को पॉलिश करने के बाद इसे अल्कोहल, एसीटोन और विआयनीकृत पानी से साफ किया जाता है। साथ में, यह सहायक सफाई के लिए औद्योगिक वैक्यूम क्लीनर के उपयोग की वकालत करता है। गौज़ान मेटल द्वारा उत्पादित लक्ष्य वैक्यूम सीलबंद प्लास्टिक बैग में पैक किए जाते हैं,

नमी रोधी एजेंट में निर्मित. लक्ष्य का उपयोग करते समय, कृपया लक्ष्य को सीधे अपने हाथ से न छुएं। ध्यान दें: लक्ष्य का उपयोग करते समय, कृपया साफ और लिंट मुक्त रखरखाव दस्ताने पहनें। कभी भी लक्ष्य को सीधे अपने हाथों से न छुएं

2、 लक्ष्य सफाई

लक्ष्य सफाई का उद्देश्य लक्ष्य की सतह पर मौजूद धूल या गंदगी को हटाना है।

धातु लक्ष्य को चार चरणों में साफ किया जा सकता है,

पहला कदम एसीटोन में भिगोए हुए एक रोएं रहित मुलायम कपड़े से साफ करना है;

दूसरा चरण पहले चरण के समान है, शराब से सफाई;

चरण 3: विआयनीकृत पानी से साफ करें। विआयनीकृत पानी से धोने के बाद, लक्ष्य को ओवन में रखें और 30 मिनट के लिए 100 ℃ पर सुखाएं।

ऑक्साइड और सिरेमिक लक्ष्यों की सफाई "लिंट फ्री क्लॉथ" से की जाएगी।

चौथा चरण धूल भरे क्षेत्र को हटाने के बाद लक्ष्य को उच्च दबाव और कम पानी वाली गैस के साथ आर्गन से धोना है, ताकि स्पटरिंग सिस्टम में चाप बनाने वाले सभी अशुद्ध कणों को हटाया जा सके।

3、 लक्ष्य डिवाइस

लक्ष्य स्थापना की प्रक्रिया में, Z महत्वपूर्ण सावधानियां लक्ष्य और स्पटरिंग गन की शीतलन दीवार के बीच एक अच्छा थर्मल चालन कनेक्शन सुनिश्चित करना है। यदि कूलिंग स्टेव का वॉरपेज गंभीर है या बैक प्लेट का वॉरपेज गंभीर है, तो लक्ष्य उपकरण टूट जाएगा या झुक जाएगा, और पीछे के लक्ष्य से लक्ष्य तक तापीय चालकता बहुत प्रभावित होगी, जिसके परिणामस्वरूप गर्मी अपव्यय विफल हो जाएगा। स्पटरिंग प्रक्रिया में, और लक्ष्य टूट जाएगा या चूक जाएगा

तापीय चालकता सुनिश्चित करने के लिए, कैथोड कूलिंग दीवार और लक्ष्य के बीच ग्रेफाइट पेपर की एक परत बिछाई जा सकती है। कृपया यह सुनिश्चित करने के लिए उपयोग की जाने वाली स्पटरिंग गन की कूलिंग दीवार की समतलता की सावधानीपूर्वक जांच करने और स्पष्ट करने पर ध्यान दें कि ओ-रिंग हमेशा अपनी जगह पर है।

चूंकि उपयोग किए गए ठंडा पानी की सफाई और उपकरण के संचालन के दौरान होने वाली धूल कैथोड कूलिंग वॉटर टैंक में जमा हो जाएगी, इसलिए सुचारू सुनिश्चित करने के लिए लक्ष्य स्थापित करते समय कैथोड कूलिंग वॉटर टैंक की जांच और साफ करना आवश्यक है। ठंडे पानी का संचलन और इनलेट और आउटलेट अवरुद्ध नहीं होंगे।

कुछ कैथोड में एनोड के साथ एक छोटी सी जगह रखने की योजना बनाई गई है, इसलिए लक्ष्य स्थापित करते समय, यह सुनिश्चित करना आवश्यक है कि कैथोड और एनोड के बीच कोई स्पर्श या कंडक्टर नहीं है, अन्यथा शॉर्ट सर्किट हो जाएगा।

लक्ष्य को सही ढंग से संचालित करने के तरीके के बारे में जानकारी के लिए उपकरण ऑपरेटर के मैनुअल का संदर्भ लें। यदि उपयोगकर्ता मैनुअल में ऐसी कोई जानकारी नहीं है, तो कृपया गौज़ान मेटल द्वारा दिए गए प्रासंगिक सुझावों के अनुसार डिवाइस को स्थापित करने का प्रयास करें। लक्ष्य फिक्स्चर को कसते समय, पहले एक बोल्ट को हाथ से कस लें, और फिर दूसरे बोल्ट को हाथ से विकर्ण पर कस लें। इसे तब तक दोहराएं जब तक कि डिवाइस के सभी बोल्ट कड़े न हो जाएं, और फिर किसी चीज़ से कस लें।

4、 शॉर्ट सर्किट और जकड़न निरीक्षण

लक्ष्य उपकरण के पूरा होने के बाद, पूरे कैथोड के शॉर्ट सर्किट और जकड़न की जांच करना आवश्यक है,

प्रतिरोध मीटर का उपयोग करके यह निर्धारित करना प्रस्तावित है कि कैथोड में शॉर्ट सर्किट है या नहीं

पंक्ति भेदभाव. यह पुष्टि करने के बाद कि कैथोड में कोई शॉर्ट सर्किट नहीं है, रिसाव का पता लगाया जा सकता है, और यह पुष्टि करने के लिए कि पानी रिसाव है या नहीं, कैथोड में पानी डाला जा सकता है।

5、 लक्ष्य पूर्व स्पटरिंग

लक्ष्य पूर्व स्पटरिंग शुद्ध आर्गन स्पटरिंग की वकालत करता है, जो लक्ष्य की सतह को साफ कर सकता है। जब लक्ष्य पूर्व स्पटरिंग होता है, तो स्पटरिंग शक्ति को धीरे-धीरे बढ़ाने की वकालत की जाती है, और सिरेमिक लक्ष्य की शक्ति वृद्धि दर 1.5WH/cm2 है। धातु लक्ष्य की पूर्व स्पटरिंग गति सिरेमिक लक्ष्य ब्लॉक की तुलना में अधिक हो सकती है, और उचित बिजली वृद्धि दर 1.5WH / सेमी2 है।

प्री-स्पटरिंग की प्रक्रिया में, हमें लक्ष्य की आर्किंग की जांच करने की आवश्यकता है। स्पटरिंग से पहले का समय आम तौर पर लगभग 10 मिनट का होता है। यदि कोई आर्किंग घटना नहीं है, तो स्पटरिंग पावर को लगातार बढ़ाएं

निर्धारित शक्ति के लिए. अनुभव के अनुसार, धातु लक्ष्य की स्वीकार्य Z उच्च स्पटरिंग शक्ति है

सिरेमिक लक्ष्य के लिए 25वाट/सेमी2, 10वाट/सेमी2। कृपया उपयोगकर्ता के सिस्टम ऑपरेशन मैनुअल में स्पटरिंग के दौरान वैक्यूम चैम्बर दबाव के सेटिंग आधार और अनुभव को देखें। आम तौर पर, यह सुनिश्चित किया जाना चाहिए कि ठंडा पानी के आउटलेट पर पानी का तापमान 35 ℃ से कम होना चाहिए, लेकिन यह सुनिश्चित करना महत्वपूर्ण है कि ठंडा पानी की परिसंचारी प्रणाली प्रभावी ढंग से काम कर सके

सुपरकूलिंग पानी का तीव्र संचलन गर्मी को दूर ले जाता है, जो उच्च शक्ति के साथ निरंतर स्पंदन सुनिश्चित करने के लिए एक महत्वपूर्ण गारंटी है। धातु लक्ष्यों के लिए, आम तौर पर यह वकालत की जाती है कि ठंडा पानी का प्रवाह हो

20lpm पानी का दबाव लगभग 5gmp है; सिरेमिक लक्ष्यों के लिए, आम तौर पर यह वकालत की जाती है कि जल प्रवाह 30lpm है और पानी का दबाव लगभग 9gmp है

6、 लक्ष्य रखरखाव

स्पटरिंग प्रक्रिया में अशुद्ध कैविटी के कारण होने वाले शॉर्ट सर्किट और आर्किंग को रोकने के लिए, स्पटरिंग ट्रैक के केंद्र और दोनों किनारों पर जमा हुए स्पटर को चरणों में हटाना आवश्यक है।

यह उपयोगकर्ताओं को z उच्च शक्ति घनत्व पर लगातार स्पटर करने में भी मदद करता है

7、 लक्ष्य भंडारण

गौज़ान मेटल द्वारा उपलब्ध कराए गए लक्ष्य डबल-लेयर वैक्यूम प्लास्टिक बैग में पैक किए गए हैं। हम इस बात की वकालत करते हैं कि उपयोगकर्ता लक्ष्य, चाहे धातु हो या सिरेमिक, को वैक्यूम पैकेजिंग में रखें। विशेष रूप से, बॉन्डिंग परत के ऑक्सीकरण को बॉन्डिंग गुणवत्ता को प्रभावित करने से रोकने के लिए बॉन्डिंग लक्ष्यों को वैक्यूम स्थितियों के तहत संग्रहीत करने की आवश्यकता होती है। धातु लक्ष्यों की पैकेजिंग के संबंध में, हम वकालत करते हैं कि Z को साफ प्लास्टिक बैग में पैक किया जाना चाहिए