आरएसएम के तकनीकी सलाहकार आपके साथ बेलनाकार और समतल मैग्नेट्रोन स्पटरिंग लक्ष्य के फायदे साझा करेंगे? अन्य मैग्नेट्रोन स्पटरिंग लक्ष्यों की तुलना में, बेलनाकार और समतल मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य आयताकार समतल लक्ष्यों की अच्छी कोटिंग एकरूपता के फायदे बरकरार रखते हैं, और निम्नलिखित दो तरीकों से लक्ष्यों के उपयोग को अधिकतम कर सकते हैं:
(1) जब लक्ष्य की सतह पर कुंडलाकार गड्ढों के दो समूह (चार) एक निश्चित गहराई तक पहुंचते हैं, तो लक्ष्य कोर (चुंबक भाग) को लक्ष्य ट्यूब के सापेक्ष 45 ° घुमाया जा सकता है, ताकि लक्ष्य ट्यूब पर अन्य क्षेत्र जिनका संक्षारण नहीं हुआ है उनका उपयोग किया जा सकता है;
(2) जब बेलनाकार और समतल मैग्नेट्रोन स्पटरिंग लक्ष्य के लक्ष्य कोर को घूर्णन लक्ष्य कोर के रूप में डिज़ाइन किया जाता है (स्पटरिंग के दौरान लक्ष्य कोर घूम रहा होता है), तो लक्ष्य की सतह को गड्ढों के बिना परत दर परत समान रूप से थूक दिया जा सकता है। इस समय, लक्ष्य का उपयोग सबसे प्रभावी ढंग से किया जाएगा, और लक्ष्य की उपयोग दर 50% ~ 60% तक पहुंच सकती है जब लक्ष्य सामग्री कीमती धातु है, तो यह स्पष्ट रूप से बहुत महत्वपूर्ण है।
अंत चुंबकीय क्षेत्र की समस्या को हल करने के लिए समाक्षीय बेलनाकार मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य में पोल शू के साथ चुंबक के सिद्धांत का उपयोग करके, आयताकार विमान लक्ष्य को बेलनाकार और समतल मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य में परिवर्तित किया जा सकता है, लक्ष्य लक्ष्य की उपयोग दर को अधिकतम कर सकता है आयताकार विमान लक्ष्य की अच्छी कोटिंग एकरूपता बनाए रखते हुए ताकि आर्थिक लाभ में सुधार हो सके।
पोस्ट करने का समय: जुलाई-04-2022