एल्यूमीनियम ऑक्साइड लक्ष्य सामग्री, मुख्य रूप से उच्च शुद्धता वाले एल्यूमीनियम ऑक्साइड (Al2O3) से बनी सामग्री, का उपयोग विभिन्न पतली फिल्म तैयारी प्रौद्योगिकियों में किया जाता है, जैसे मैग्नेट्रोन स्पटरिंग, इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण, आदि। एल्यूमीनियम ऑक्साइड, एक कठोर और रासायनिक रूप से स्थिर सामग्री के रूप में, इसकी लक्ष्य सामग्री हो सकती है...
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