ʻO ka uhi ʻana i ka ʻōpala e pili ana i ka hoʻomehana ʻana a me ka hoʻoheheʻe ʻana i ke kumu hoʻoheheʻe ʻia i loko o ka ʻōpala a i ʻole ka sputtering me ka wikiwiki ʻana o ka ion bombardment, a waiho ʻia ma ka ʻili o ka substrate e hana i kahi kiʻiʻoniʻoni hoʻokahi a i ʻole multi-layer. He aha ke kumumanaʻo o ka uhi ʻana i ka vacuum? A laila, e hoʻolauna mai ka mea hoʻoponopono o RSM iā mākou.
1. ʻO ka hoʻoheheʻe ʻia ʻana o ka wai
Pono ka hoʻoheheʻe ʻana i ka mamao ma waena o nā molekele mahu a i ʻole nā ātoma mai ke kumu hoʻoheheʻe a me ka substrate e uhi ʻia e emi iho ma mua o ke ala manuahi awelika o nā molekele kinoea koena i loko o ka lumi uhi, i mea e hōʻoia ai i nā molekele mahu o ka. hiki i ka evaporation ke hiki i ka ʻili o ka substrate me ka ʻole o ka hui ʻana. E hōʻoia i ka maʻemaʻe a paʻa ka kiʻiʻoniʻoni, a ʻaʻole e oxidize ka evaporation.
2. ʻO ka uhi ʻana i ka ʻūhā sputtering
I loko o ka vacuum, i ka wā e hui ai nā ion wikiwiki me ka paʻa, ma kekahi ʻaoʻao, ua pōʻino ke aniani, ma ka ʻaoʻao ʻē aʻe, e hui pū lākou me nā ʻātoma i hana i ka aniani, a ma hope o nā ʻātoma a i ʻole nā mole ma ka ʻili o ka paʻa. sputter waho. Hoʻopili ʻia ka mea sputtered ma ka substrate e hana i kahi kiʻiʻoniʻoni lahilahi, i kapa ʻia ʻo vacuum sputter plating. Nui nā ʻano sputtering, ʻo ia ka diode sputtering ka mea mua loa. Wahi a nā pahuhopu cathode like ʻole, hiki ke hoʻokaʻawale ʻia i ka manawa pololei (DC) a me ke alapine kiʻekiʻe (RF). Ua kapa ʻia ka helu o nā ʻātoma i hoʻopaʻa ʻia ma ka hoʻopili ʻana i ka ʻili i kuhi ʻia me kahi ion. Me ke kiʻekiʻe o ka sputtering rate, wikiwiki ka wikiwiki o ka hoʻokumu ʻana i ke kiʻiʻoniʻoni. ʻO ka nui o ka sputtering pili i ka ikehu a me ke ʻano o nā ion a me ke ʻano o ka mea i hoʻopaʻa ʻia. Ma ka ʻōlelo maʻamau, piʻi ka nui o ka sputtering me ka piʻi ʻana o ka ikehu ion kanaka, a ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka sputtering o nā metala makamae.
Ka manawa hoʻouna: Iulai-14-2022