ʻIke mālama o ka sputtering target

Nui nā hoaaloha e pili ana i ka mālama ʻana i ka pahuhopu aia nā nīnau he nui a liʻiliʻi paha, ʻoi aku ka nui o nā mea kūʻai aku e kūkākūkā e pili ana i ka mālama ʻana i nā pilikia pili i ka pahuhopu, e ʻae ka luna hoʻoponopono o RSM no mākou e kaʻana e pili ana i ka sputtering ʻike mālama.

　　Pehea e mālama ʻia ai nā pahuhopu sputter?

　　1, ka mālama ʻana i ka pahuhopu

I mea e pale aku ai i ke kaapuni pōkole a me ka arcing i kumu ʻia e ka lua maʻemaʻe i ke kaʻina sputtering, pono e hoʻoneʻe pinepine i nā sputters i hōʻiliʻili ʻia ma waena a me nā ʻaoʻao ʻelua o ke ala sputtering, e kōkua pū ana i nā mea hoʻohana e hoʻomau i ka sputter i ka mana kiʻekiʻe.

　　2、 Pahu hoʻopaʻa

Manaʻo mākou e mālama nā mea hoʻohana i ka pahu hopu (inā he metala a i ʻole ka ceramic) i loko o ka pahu pahu, ʻoi aku ka pono o ka pahu kūpono e mālama ʻia i loko o ka ʻawaʻawa e pale ai i ka hoʻoheheʻe ʻana o ka papa kūpono mai ka hoʻopilikia ʻana i ka maikaʻi kūpono. No ka hoʻopili ʻana i nā pahu pahu metala, manaʻo mākou e hoʻopili ʻia i loko o nā ʻeke plastik maʻemaʻe ma ka liʻiliʻi.

　　3、 Hoʻomaʻemaʻe ʻia

ʻO ka hana mua, ʻo ia ka hoʻomaʻemaʻe ʻana me kahi lole palupalu lint free i pulu i ka acetone;

ʻO ka lua o ka ʻanuʻu e like me ka hana mua, hoʻomaʻemaʻe me ka waiʻona;

'anuʻu 3: hoʻomaʻemaʻe me ka wai deionized. Ma hope o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana me ka wai deionized, waiho ʻia ka pahu i loko o ka umu a maloʻo ma 100 ℃ no 30 mau minuke. Manaʻo ʻia e hoʻohana i ka "lint free cloth" e hoʻomaʻemaʻe i ka oxide a me nā pahu pahu.

ʻO ka hā o ka holoi ʻana i ka pahu hopu me ka argon me ke kaomi kiʻekiʻe a me ka haʻahaʻa haʻahaʻa e hoʻoneʻe ai i nā ʻāpana haumia e hoʻoulu ai i ke arc i ka ʻōnaehana sputtering.

　　4、 Nānā kaapuni pōkole a me ka paʻa

Ma hope o ka hoʻokomo ʻia ʻana o ka pahu hopu, pono ke nānā ʻia ka cathode holoʻokoʻa no ka pōkole pōkole a me ka paʻa. Manaʻo ʻia e hoʻoholo inā he pōkole pōkole i loko o ka cathode me ka hoʻohana ʻana i ka mīkini pale a me ka megger. Ma hope o ka hōʻoia ʻana ʻaʻohe kaapuni pōkole i loko o ka cathode, hiki ke hoʻokō ʻia ka nānā ʻana i ka leakage wai, a hiki ke hoʻokomo ʻia ka wai i loko o ka cathode e hoʻoholo ai inā he wai leakage.

　　5、 Packaging a me ka lawe ʻana

Hoʻopili ʻia nā pahuhopu a pau i loko o nā ʻeke plastik i hoʻopaʻa ʻia me ka moisture-proof agent. ʻO ka pahu o waho he pahu lāʻau me ka papa anti-collision a puni e pale i ka pahu hopu a me ka backplane mai ka pōʻino i ka wā o ka lawe ʻana a me ka mālama ʻana.