He nui nā hopena o ka pahuhopu, a nui ka wahi hoʻomohala mākeke. He mea pono loa ia ma na kahua he nui. Aneane pau loa nā lako sputtering hou e hoʻohana i nā magnet ikaika i nā electrons spiral e hoʻokē ai i ka ionization o argon a puni ka pahu hopu, e hoʻonui ai i ka hiki ke hoʻokuʻi ma waena o ka pahu a me nā ion argon. I kēia manawa, e nānā kākou i ke kuleana o ka sputtering target i loko o ka uhi hakahaka.
E hoʻomaikaʻi i ka nui o ka sputtering. ʻO ka mea maʻamau, hoʻohana ʻia ka DC sputtering no ka uhi metala, aʻo ka RF AC sputtering e hoʻohana ʻia no nā mea hoʻonaninani ceramic non-conductive. ʻO ke kumu kumu, ʻo ia ka hoʻohana ʻana i ka glow discharge e paʻi i nā ion argon (AR) ma ka ʻili o ka pahu i loko o ka vacuum, a e wikiwiki nā cations i ka plasma e holo wikiwiki i ka ʻili electrode maikaʻi ʻole e like me ka mea splashed. Na kēia hopena e lele i waho ka mea o ka pahu hopu a waiho ma luna o ka substrate e hana i kahi kiʻiʻoniʻoni.
ʻO ka ʻōlelo maʻamau, aia kekahi mau hiʻohiʻona o ka uhi kiʻiʻoniʻoni ma ke kaʻina sputtering: (1) hiki ke hana ʻia me ka metala, alloy a insulator i ʻikepili kiʻiʻoniʻoni.
(2) Ma lalo o nā kūlana hoʻonohonoho kūpono, hiki ke hana ʻia ke kiʻiʻoniʻoni me ka haku mele like ʻana mai nā pahuhopu he nui a me ka pilikia.
(3) Hiki ke hana ʻia ka hui ʻana a i ʻole ka hui ʻana o nā mea i hoʻopaʻa ʻia a me nā molekele kinoea ma ka hoʻohui ʻana i ka oxygen a i ʻole nā kinoea hana ʻē aʻe i loko o ka lewa hoʻokuʻu.
(4) Hiki ke ho'omalu 'ia ka ho'okomo 'ana i kēia manawa a me ka manawa sputtering, a ma'alahi ka loa'a 'ana o ka mānoanoa ki'i ki'eki'e.
(5) Ke hoʻohālikelikeʻia me nā kaʻina hana'ē aʻe, he mea kūpono ia i ka hanaʻana i nā kiʻiʻoniʻoni nui.
(6) ʻAʻole pili ka umekaumaha i nā ʻāpana sputtered, a hiki ke hoʻonohonoho manuahi ʻia nā kūlana o ka pahuhopu a me ka substrate.
Ka manawa hoʻouna: Mei-17-2022