Nā kumu o ka Sputtering Target Cracking and Countermeasures

ʻO nā māwae i nā pahuhopu sputtering maʻamau e loaʻa i nā pahu sputtering seramika e like me nā oxides, carbide, nitrides, a me nā mea brittle e like me chromium, antimony, bismuth. I kēia manawa e wehewehe ka poʻe loea loea o RSM i ke kumu o ka haki ʻana o ka sputtering target a me nā hana pale e hiki ke hana ʻia e pale aku i kēia kūlana.

Loaʻa mau i nā mea koʻikoʻi koʻikoʻi i nā pahu pahu seramika a brittle. Hoʻokumu ʻia kēia mau koʻikoʻi o loko i ke kaʻina hana hana. Eia kekahi, ʻaʻole i hoʻopau loa ʻia kēia mau koʻikoʻi e ke kaʻina hana annealing, no ka mea, he mau hiʻohiʻona o kēia mau mea. Ma ke kaʻina sputtering, hoʻololi ka pahū ʻana o nā iona kinoea i ko lākou manawa i nā ʻātoma i hoʻopaʻa ʻia, hāʻawi iā lākou i ka ikehu e hoʻokaʻawale iā lākou mai ka lattice. ʻO kēia hoʻololi ʻana o ka manawa exothermic e piʻi ai ka wela o ka pae, hiki ke piʻi i 1000000 ℃ ma ka pae atomika.

Hoʻonui kēia mau haʻalulu wela i ke koʻikoʻi i loko o ka pahu pahu i nā manawa he nui. I kēia hihia, inā ʻaʻole i hoʻopau maikaʻi ʻia ka wela, hiki i ka pahu ke haki. I mea e pale aku ai i ka pahu hopu, pono e hoʻoikaika i ka hoʻopau ʻana i ka wela. Pono ka mīkini hoʻoluʻu wai e wehe i ka ikehu wela makemake ʻole mai ka pahu hopu. ʻO kekahi mea e noʻonoʻo ai ʻo ka hoʻonui ʻana i ka mana. ʻO ka nui o ka mana i hoʻohana ʻia i ka manawa pōkole e hoʻopuʻihaʻi i ka wela i ka pahu hopu. Eia kekahi, ke manaʻo nei mākou e hoʻopaʻa i kēia mau pahuhopu i ka backplane, ʻaʻole hiki ke hāʻawi wale i ke kākoʻo no ka pahuhopu, akā hoʻoikaika pū kekahi i ka hoʻololi wela maikaʻi ma waena o ka pahu a me ka wai. Inā nā māwae ka pahu hopu akā ua hoʻopaʻa ʻia me ka pā hope, hiki ke hoʻohana ʻia.

Hiki iā Rich Special Materials Co., Ltd. ke hāʻawi i nā pahuhopu sputtering me ka backplane. Hiki ke hoʻopilikino ʻia e like me nā koi o nā mea kūʻai aku o nā mea, mānoanoa a me nā ʻano paʻa.