ʻO nā pono o ka cylindrical a me ka planar magnetron sputtering targets

E kaʻana like ʻo RSM i nā pono o ka cylindrical a me ka planar magnetron sputtering targets? Ke hoʻohālikelike ʻia me nā pahu hoʻoheheʻe magnetron ʻē aʻe, ʻo ka cylindrical a me ka planar magnetron sputtering targets e mālama i ka maikaʻi o ka hoʻohui ʻana o ka uhi ʻana o nā pahu planar rectangular, a hiki ke hoʻonui i ka hoʻohana ʻana i nā pahuhopu ma o nā ala ʻelua:

(1) Ke hiki i nā pūʻulu ʻelua (ʻehā) o nā lua annular ma luna o ka ʻili o ka pahu hopu i kahi hohonu, hiki ke hoʻololi ʻia ke kumu kumu (magnet part) i 45 ° e pili ana i ka pahu pahu, no laila nā wahi ʻē aʻe ma ka pahu pahu. hiki ke hoʻohana ʻia nā mea i ʻino ʻole ʻia;

(2) Ke hoʻolālā ʻia ke kumu pahuhopu o ka pahu hoʻoheheʻe cylindrical a me ka planar magnetron e like me ke ʻano o ka huli ʻana (ke kaʻe nei ke kumu i ka wā o ka sputtering), hiki ke hoʻokaʻawale ʻia ka ʻili o ka pahu ma kahi papa me ka ʻole o nā lua. I kēia manawa, e hoʻohana maikaʻi ʻia ka pahuhopu, a hiki i ka helu hoʻohana ʻana o ka pahuhopu ke hiki i 50% ~ 60% Inā he metala makamae ka mea i manaʻo ʻia, he mea nui kēia.

Ma ka hoʻohana ʻana i ke kumu o ka magnet me nā kāmaʻa pole ma ka coaxial cylindrical magnetron sputtering target e hoʻonā i ka pilikia o ka hopena magnetic field, hiki ke hoʻololi ʻia ka pahu mokulele rectangular i kahi cylindrical a me planar magnetron sputtering target, Hiki i ka pahu ke hoʻonui i ka helu hoʻohana o ka pahuhopu. ʻoiai e mālama ana i ka hoʻolikelike ʻana o ka uhi ʻana o ka pahu mokulele rectangular i mea e hoʻomaikaʻi ai i nā pono waiwai.