Sputtered manufa kayan da high bukatun a lokacin amfani, ba kawai ga tsarki da kuma barbashi size, amma kuma ga uniform barbashi size. Waɗannan manyan buƙatun suna sa mu mai da hankali sosai yayin amfani da kayan niyya.
1. Sputtering shiri
Yana da matukar muhimmanci a kula da tsabtar ɗakin ɗakin, musamman tsarin sputtering. Man shafawa, ƙura, da duk wani abin da ya rage daga suturar da ta gabata na iya tara gurɓatattun abubuwa kamar ruwa, suna yin tasiri kai tsaye ga injin da kuma ƙara yuwuwar gazawar ƙirƙirar fim. Gajerun da'irori, kisa da niyya, filaye masu samar da fina-finai, da ƙazantar sinadarai yawanci ana haifar da su ta ƙazantar ƙazanta, bindigogi, da hari.
Domin kula da abun da ke ciki halaye na shafi, da sputtering gas (argon ko oxygen) dole ne mai tsabta da bushe. Bayan shigar da substrate a cikin ɗakin sputtering, ana buƙatar fitar da iska don cimma matakin da ake buƙata don aiwatarwa.
2. Tsabtace manufa
Manufar tsaftacewa shine don cire duk wani ƙura ko datti da zai iya kasancewa a saman abin da ake nufi.
3. Shigar da manufa
Abu mafi mahimmanci da za a kula da shi a lokacin shigarwa na kayan da aka yi niyya shine tabbatar da kyakkyawar haɗin zafi tsakanin kayan da aka yi niyya da bangon sanyaya na bindigar sputtering. Idan bangon sanyaya ko farantin baya ya lalace sosai, yana iya haifar da tsagewa ko lankwasawa yayin shigar da abin da aka yi niyya. Canja wurin zafi daga maƙasudin baya zuwa abin da aka yi niyya za a yi tasiri sosai, wanda zai haifar da rashin iya watsar da zafi yayin sputtering, a ƙarshe yana haifar da fashewa ko karkatar da abin da ake nufi.
4. Gajeren kewayawa da dubawar hatimi
Bayan shigar da kayan da aka yi niyya, ya zama dole don duba gajeriyar kewayawa da rufe dukkan cathode. Ana ba da shawarar yin amfani da ohmmeter da megohmmeter don sanin ko cathode yana da gajeriyar kewayawa. Bayan tabbatar da cewa cathode ba shi da ɗan gajeren kewayawa, ana iya gano ɗigon ruwa ta hanyar allurar ruwa a cikin cathode don sanin ko akwai ɗigon ruwa.
5. Target abu pre sputtering
Ana ba da shawarar yin amfani da iskar argon mai tsafta don zubar da abin da aka yi niyya, wanda zai iya tsaftace saman abin da aka yi niyya. Ana ba da shawarar a hankali ƙara ƙarfin sputtering yayin aiwatar da aikin riga-kafi don kayan da aka yi niyya. Ƙarfin kayan aikin yumbura
Lokacin aikawa: Oktoba-19-2023