મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ ટાર્ગેટના પ્રકારો શું છે

હવે વધુ અને વધુ વપરાશકર્તાઓ લક્ષ્યોના પ્રકારોને સમજે છે અનેતેની એપ્લિકેશનો, પરંતુ તેનું પેટાવિભાગ બહુ સ્પષ્ટ ન હોઈ શકે. હવે ચાલોઆરએસએમ એન્જિનિયર તમારી સાથે શેર કરોકેટલાક ઇન્ડક્શન મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ લક્ષ્યો.

સ્પટરિંગ લક્ષ્ય: મેટલ સ્પુટરિંગ કોટિંગ લક્ષ્ય, એલોય સ્પટરિંગ કોટિંગ લક્ષ્ય, સિરામિક સ્પુટરિંગ કોટિંગ લક્ષ્ય, બોરાઇડ સિરામિક સ્પટરિંગ લક્ષ્ય, કાર્બાઇડ સિરામિક સ્પટરિંગ લક્ષ્ય, ફ્લોરાઇડ સિરામિક સ્પટરિંગ લક્ષ્ય, નાઇટ્રાઇડ સિરામિક સ્પટરિંગ લક્ષ્ય, ઓક્સાઇડ સિરામિક સિરામિક ટાર્ગેટ, સેલેનાઇડ સિરામિક સ્પટરિંગ લક્ષ્ય લક્ષ્ય, સલ્ફાઇડ સિરામિક સ્પટરિંગ લક્ષ્ય, ટેલ્યુરાઇડ સિરામિક સ્પટરિંગ લક્ષ્ય, અન્ય સિરામિક લક્ષ્યો, ક્રોમિયમ ડોપેડ સિલિકોન ઓક્સાઇડ સિરામિક લક્ષ્ય (CR SiO), ઇન્ડિયમ ફોસ્ફાઇડ લક્ષ્ય (INP), લીડ આર્સેનાઇડ લક્ષ્ય (pbas), ઇન્ડિયમ આર્સેનાઇડ લક્ષ્ય (InAs).

મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગને સામાન્ય રીતે બે પ્રકારમાં વહેંચવામાં આવે છે: ડીસી સ્પુટરિંગ અને આરએફ સ્પુટરિંગ. ડીસી સ્પટરિંગ ઇક્વિપમેન્ટનો સિદ્ધાંત સરળ છે, અને ધાતુને સ્પુટર કરતી વખતે તેનો દર પણ ઝડપી છે. આરએફ સ્પુટરિંગનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે. વાહક ડેટાને સ્પટર કરવા ઉપરાંત, તે બિન-વાહક ડેટાને પણ સ્પટર કરી શકે છે. સ્પટરિંગ ટાર્ગેટનો ઉપયોગ ઓક્સાઈડ, નાઈટ્રાઈડ અને કાર્બાઈડ જેવા સંયોજન ડેટા તૈયાર કરવા માટે પ્રતિક્રિયાશીલ સ્પુટરિંગ માટે પણ થઈ શકે છે. જો RF આવર્તન વધે છે, તો તે માઇક્રોવેવ પ્લાઝ્મા સ્પુટરિંગ બની જશે. હાલમાં, ઇલેક્ટ્રોન સાયક્લોટ્રોન રેઝોનન્સ (ECR) માઇક્રોવેવ પ્લાઝ્મા સ્પુટરિંગનો સામાન્ય રીતે ઉપયોગ થાય છે.