લક્ષ્યની કામગીરીની આવશ્યકતાઓ શું છે

લક્ષ્યમાં વિશાળ બજાર, એપ્લિકેશન વિસ્તાર અને ભવિષ્યમાં મોટો વિકાસ છે. તમને લક્ષ્ય કાર્યોને વધુ સારી રીતે સમજવામાં મદદ કરવા માટે, અહીં નીચે RSM એન્જિનિયર લક્ષ્યની મુખ્ય કાર્યાત્મક આવશ્યકતાઓને ટૂંકમાં રજૂ કરશે.

શુદ્ધતા: શુદ્ધતા એ લક્ષ્યના મુખ્ય કાર્યાત્મક સૂચકાંકોમાંનું એક છે, કારણ કે લક્ષ્યની શુદ્ધતા ફિલ્મના કાર્ય પર મોટી અસર કરે છે. જો કે, વ્યવહારિક એપ્લિકેશનમાં, લક્ષ્યની શુદ્ધતા જરૂરિયાતો પણ અલગ છે. ઉદાહરણ તરીકે, માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગના ઝડપી વિકાસ સાથે, સિલિકોન વેફરનું કદ 6 “થી 8″ થી 12 “ સુધી વિસ્તરણ કરવામાં આવ્યું છે, અને વાયરિંગની પહોળાઈ 0.5um થી 0.25um, 0.18um અથવા તો 0.13um સુધી ઘટાડવામાં આવે છે. અગાઉ, 99.995% લક્ષ્ય શુદ્ધતા 0.35umic ની પ્રક્રિયા આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરી શકે છે, જ્યારે 0.18um લાઇનની તૈયારી માટે લક્ષ્ય શુદ્ધતાના 99.999% અથવા તો 99.9999% પણ જરૂરી છે.

અશુદ્ધતા સામગ્રી: લક્ષ્ય ઘન પદાર્થોમાં અશુદ્ધિઓ અને છિદ્રોમાં ઓક્સિજન અને પાણીની વરાળ એ જમા થયેલી ફિલ્મોના મુખ્ય પ્રદૂષણ સ્ત્રોત છે. જુદા જુદા હેતુઓ માટેના લક્ષ્યો વિવિધ અશુદ્ધતા સામગ્રીઓ માટે જુદી જુદી આવશ્યકતાઓ ધરાવે છે. ઉદાહરણ તરીકે, સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં ઉપયોગમાં લેવાતા શુદ્ધ એલ્યુમિનિયમ અને એલ્યુમિનિયમ એલોય લક્ષ્યો આલ્કલી મેટલ સામગ્રી અને કિરણોત્સર્ગી તત્વ સામગ્રી માટે વિશેષ જરૂરિયાતો ધરાવે છે.

ઘનતા: ટાર્ગેટ સોલિડમાં છિદ્રોને ઘટાડવા અને સ્પુટરિંગ ફિલ્મના કાર્યને સુધારવા માટે, લક્ષ્યમાં સામાન્ય રીતે ઉચ્ચ ઘનતા હોવી જરૂરી છે. લક્ષ્યની ઘનતા માત્ર સ્પુટરિંગ રેટને જ અસર કરતી નથી, પણ ફિલ્મના વિદ્યુત અને ઓપ્ટિકલ કાર્યોને પણ અસર કરે છે. લક્ષ્ય ઘનતા જેટલી વધારે છે, ફિલ્મનું કાર્ય વધુ સારું છે. વધુમાં, લક્ષ્યની ઘનતા અને શક્તિમાં સુધારો કરવામાં આવે છે જેથી લક્ષ્ય સ્પુટરિંગ પ્રક્રિયામાં થર્મલ તણાવને વધુ સારી રીતે સ્વીકારી શકે. ઘનતા એ લક્ષ્યના મુખ્ય કાર્યાત્મક સૂચકાંકોમાંનું એક પણ છે.