કોટિંગ લક્ષ્ય સામગ્રીની લાક્ષણિકતાઓ અને તકનીકી સિદ્ધાંતો શું છે

કોટેડ લક્ષ્ય પરની પાતળી ફિલ્મ એક વિશિષ્ટ સામગ્રી આકાર છે. જાડાઈની ચોક્કસ દિશામાં, સ્કેલ ખૂબ જ નાનો છે, જે માઇક્રોસ્કોપિક માપી શકાય તેવો જથ્થો છે. વધુમાં, ફિલ્મની જાડાઈના દેખાવ અને ઈન્ટરફેસને કારણે, સામગ્રીની સાતત્યતા સમાપ્ત થઈ જાય છે, જેના કારણે ફિલ્મ ડેટા અને લક્ષ્ય ડેટામાં અલગ-અલગ સામાન્ય ગુણધર્મો હોય છે. અને લક્ષ્ય મુખ્યત્વે મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ કોટિંગનો ઉપયોગ છે, બેઇજિંગ રિચમેટનું એડિટર આપણને સમજવામાં મદદ કરશે. સ્પટરિંગ કોટિંગના સિદ્ધાંત અને કુશળતા.

　　一, સ્પુટરિંગ કોટિંગનો સિદ્ધાંત

સ્પુટરિંગ કોટિંગ કૌશલ્ય એ આયન શેલિંગ લક્ષ્ય દેખાવનો ઉપયોગ કરવાનો છે, લક્ષ્ય અણુઓ સ્પુટરિંગ તરીકે ઓળખાતી ઘટનામાંથી બહાર નીકળી જાય છે. સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર જમા થયેલા પરમાણુઓને સ્પટરિંગ કોટિંગ કહેવામાં આવે છે. સામાન્ય રીતે, ગેસ આયનીકરણ ગેસ ડિસ્ચાર્જ દ્વારા ઉત્પન્ન થાય છે, અને સકારાત્મક આયનો ઇલેક્ટ્રિક ક્ષેત્રની ક્રિયા હેઠળ ઉચ્ચ ઝડપે કેથોડ લક્ષ્યનો બોમ્બ ધડાકા કરે છે, જે અણુઓ અથવા પરમાણુઓને બહાર કાઢે છે. કેથોડ લક્ષ્ય, અને ફિલ્મમાં જમા કરવા માટે સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર ઉડવું. સરળ રીતે કહીએ તો, સ્પુટરિંગ કોટિંગ આયનો પેદા કરવા માટે નીચા દબાણના નિષ્ક્રિય ગેસ ગ્લો ડિસ્ચાર્જનો ઉપયોગ કરે છે.

સામાન્ય રીતે, સ્પટરિંગ ફિલ્મ પ્લેટિંગ સાધનો વેક્યૂમ ડિસ્ચાર્જ ચેમ્બરમાં બે ઇલેક્ટ્રોડથી સજ્જ હોય ​​છે, અને કેથોડ લક્ષ્ય કોટિંગ ડેટાથી બનેલું હોય છે. વેક્યુમ ચેમ્બર 0.1~10Pa ના દબાણ સાથે આર્ગોન ગેસથી ભરેલો છે. ગ્લો ડિસ્ચાર્જ 1~3kV dc અથવા 13.56mhz ના rf વોલ્ટેજના નકારાત્મક ઉચ્ચ વોલ્ટેજની ક્રિયા હેઠળ કેથોડ પર થાય છે. આર્ગોન આયનો લક્ષ્ય સપાટી પર બોમ્બ ધડાકા કરે છે અને સબસ્ટ્રેટ પર સ્ફટર્ડ લક્ષ્ય અણુઓ એકઠા થવાનું કારણ બને છે.

　　二, સ્પુટરિંગ કોટિંગ કૌશલ્ય લાક્ષણિકતાઓ

1, ઝડપી સ્ટેકીંગ ઝડપ

હાઇ સ્પીડ મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ ઇલેક્ટ્રોડ અને પરંપરાગત બે તબક્કાના સ્પટરિંગ ઇલેક્ટ્રોડ વચ્ચેનો તફાવત એ છે કે ચુંબક લક્ષ્યની નીચે ગોઠવાયેલું છે, તેથી બંધ અસમાન ચુંબકીય ક્ષેત્ર લક્ષ્યની સપાટી પર થાય છે. ઇલેક્ટ્રોન પર લોરેન્ટ્ઝ બળ કેન્દ્ર તરફ હોય છે. વિજાતીય ચુંબકીય ક્ષેત્રનું. ધ્યાન કેન્દ્રિત કરવાની અસરને કારણે, ઇલેક્ટ્રોન ઓછા ભાગી જાય છે. વિજાતીય ચુંબકીય ક્ષેત્ર લક્ષ્ય સપાટીની આસપાસ જાય છે, અને વિજાતીય ચુંબકીય ક્ષેત્રમાં પકડાયેલા ગૌણ ઇલેક્ટ્રોન વાયુના અણુઓ સાથે વારંવાર અથડાય છે, જે વાયુના અણુઓના ઉચ્ચ રૂપાંતરણ દરને સુધારે છે. તેથી, હાઇ સ્પીડ મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ ઓછી શક્તિ વાપરે છે, પરંતુ આદર્શ ડિસ્ચાર્જ લાક્ષણિકતાઓ સાથે, એક મહાન કોટિંગ કાર્યક્ષમતા મેળવી શકે છે.

2, સબસ્ટ્રેટનું તાપમાન ઓછું છે

હાઇ સ્પીડ મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ, જેને નીચા તાપમાને સ્પુટરિંગ તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે. કારણ એ છે કે ઉપકરણ ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક ફીલ્ડની જગ્યામાં ડિસ્ચાર્જનો ઉપયોગ કરે છે જે એકબીજા સાથે સીધા હોય છે. ગૌણ ઇલેક્ટ્રોન જે લક્ષ્યની બહાર, એકબીજામાં જોવા મળે છે. સીધા ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક ફિલ્ડની ક્રિયા હેઠળ, તે લક્ષ્યની સપાટીની નજીક બંધાયેલું છે અને ગોળાકાર રોલિંગ લાઇનમાં રનવે સાથે આગળ વધે છે, ગેસના અણુઓને આયનીકરણ કરવા માટે વારંવાર વાયુના પરમાણુઓ સામે પછાડે છે. એકસાથે, ઇલેક્ટ્રોન ધીમે ધીમે તેમની ઊર્જા ગુમાવે છે. પુનરાવર્તિત બમ્પ્સ, જ્યાં સુધી તેઓ સબસ્ટ્રેટની નજીકના લક્ષ્યની સપાટીથી છટકી શકે તે પહેલાં તેમની ઊર્જા લગભગ સંપૂર્ણપણે નષ્ટ થઈ જાય ત્યાં સુધી. કારણ કે ઈલેક્ટ્રોનની ઉર્જા એટલી ઓછી હોય છે, લક્ષ્યનું તાપમાન વધારે પડતું નથી. સામાન્ય ડાયોડ શૉટના ઉચ્ચ-ઊર્જા ઇલેક્ટ્રોન બોમ્બાર્ડમેન્ટને કારણે સબસ્ટ્રેટ તાપમાનમાં વધારાનો સામનો કરવા માટે તે પૂરતું છે, જે ક્રાયોજનાઇઝેશનને પૂર્ણ કરે છે.

3, મેમ્બ્રેન સ્ટ્રક્ચર્સની વિશાળ શ્રેણી

શૂન્યાવકાશ બાષ્પીભવન અને ઇન્જેક્શન ડિપોઝિશન દ્વારા મેળવવામાં આવતી પાતળી ફિલ્મોની રચના જથ્થાબંધ ઘન પદાર્થોને પાતળા કરીને મેળવેલા કરતાં તદ્દન અલગ છે. સામાન્ય રીતે અસ્તિત્વમાં રહેલા ઘન પદાર્થોથી વિપરીત, જેને ત્રણ પરિમાણમાં આવશ્યકપણે સમાન બંધારણ તરીકે વર્ગીકૃત કરવામાં આવે છે, ગેસ તબક્કામાં જમા થતી ફિલ્મોને વિજાતીય બંધારણ તરીકે વર્ગીકૃત કરવામાં આવે છે. પાતળી ફિલ્મો સ્તંભાકાર હોય છે અને ઇલેક્ટ્રોન માઇક્રોસ્કોપીને સ્કેન કરીને તપાસ કરી શકાય છે. ફિલ્મની સ્તંભાકાર વૃદ્ધિ સબસ્ટ્રેટની મૂળ બહિર્મુખ સપાટી અને સબસ્ટ્રેટના અગ્રણી ભાગોમાં થોડા પડછાયાઓને કારણે થાય છે. જો કે, સબસ્ટ્રેટ તાપમાન, સ્ટેક્ડ અણુઓની સપાટીનું વિખેરવું, અશુદ્ધ અણુઓના દફન અને સબસ્ટ્રેટ સપાટીની તુલનામાં ઘટના પરમાણુના ઘટના કોણને કારણે સ્તંભનો આકાર અને કદ તદ્દન અલગ છે. અતિશય તાપમાનની શ્રેણીમાં, પાતળી ફિલ્મમાં તંતુમય માળખું હોય છે, ઉચ્ચ ઘનતા હોય છે, જે બારીક સ્તંભાકાર સ્ફટિકોથી બનેલી હોય છે, જે સ્પટરિંગ ફિલ્મની અનન્ય રચના છે.

સ્પુટરિંગ પ્રેશર અને ફિલ્મ સ્ટેકીંગ સ્પીડ પણ ફિલ્મના બંધારણને અસર કરે છે. કારણ કે ગેસ પરમાણુઓ સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર અણુઓના વિક્ષેપને દબાવવાની અસર ધરાવે છે, ઉચ્ચ સ્પુટરિંગ દબાણની અસર મોડેલમાં સબસ્ટ્રેટ તાપમાનના ઘટાડા માટે યોગ્ય છે. તેથી, સૂક્ષ્મ અનાજ ધરાવતી છિદ્રાળુ ફિલ્મો ઉચ્ચ સ્પુટરિંગ દબાણ પર મેળવી શકાય છે. આ નાના અનાજના કદની ફિલ્મ લુબ્રિકેશન, વસ્ત્રો પ્રતિકાર, સપાટીને સખત બનાવવા અને અન્ય યાંત્રિક એપ્લિકેશન માટે યોગ્ય છે.

4, સમાનરૂપે રચના ગોઠવો

શૂન્યાવકાશ બાષ્પીભવન દ્વારા કોટ કરવા યોગ્ય રીતે મુશ્કેલ હોય તેવા સંયોજનો, મિશ્રણો, એલોય વગેરે, કારણ કે ઘટકોના વરાળનું દબાણ અલગ હોય છે અથવા જ્યારે તેઓ ગરમ થાય ત્યારે અલગ પડે છે. સબસ્ટ્રેટ માટે, આ અર્થમાં વધુ સંપૂર્ણ ફિલ્મ બનાવવાની કુશળતા છે. સ્પુટરિંગ દ્વારા તમામ પ્રકારની સામગ્રીનો ઔદ્યોગિક કોટિંગ ઉત્પાદનમાં ઉપયોગ કરી શકાય છે.