ટાઇટેનિયમ એલોય ટાર્ગેટ મટિરિયલ્સના એપ્લિકેશન ઇન્ડસ્ટ્રીઝ શું છે

સ્પુટરિંગ ટાઇટેનિયમ એલોય લક્ષ્ય અને ટાઇટેનિયમ મેટલ ટાઇટેનિયમથી બનેલું છે, તેથી માહિતી લગભગ સમાન છે, પરંતુ બંને વચ્ચેનો તફાવત મુખ્યત્વે સ્પુટરિંગ ટાઇટેનિયમ એલોય લક્ષ્યમાં રહેલો છે જે ટાઇટેનિયમ ધાતુથી ઘણી રીતે બને છે, અને ટાઇટેનિયમ પ્રકૃતિમાં જોવા મળે છે. ટાઇટેનિયમ ઓર. ટાઇટેનિયમ એલોય લક્ષ્યોનો વ્યાપકપણે ઘણી વ્યવસાયિક શ્રેણીઓમાં ઉપયોગ કરી શકાય છે, હવે બેઇજિંગ રિચમેટના લેખકે અમને વિગતવાર પરિચય આપવા માટે પરિસ્થિતિના ઉપયોગના સંદર્ભમાં ઘણા સામાન્ય ટાઇટેનિયમ એલોય લક્ષ્યોનો સારાંશ આપ્યો છે.
ના                                               
一、Ti સંકલિત સર્કિટ માટે લક્ષ્યો
ટાઈટેનિયમ એલોય લક્ષ્યોને સ્પટર કરવા માટેની જરૂરિયાતો બિન-સંકલિત સર્કિટ અને સંકલિત સર્કિટ વચ્ચે અલગ છે. સામાન્ય રીતે, ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ્સમાં કોટિંગ ડેટા માટે ઉચ્ચ આવશ્યકતાઓ હોય છે, જેમ કે ઉચ્ચ શુદ્ધતા, નાના અનાજનું કદ અને વધુ સચોટ સ્કેલની ચોકસાઈ. સંકલિત સર્કિટમાં ટાઇટેનિયમ લક્ષ્યોની શુદ્ધતા 99.995% કરતા વધારે છે, જે બિન-સંકલિતમાં વપરાતા કરતા વધારે છે. સર્કિટ, જે દર્શાવે છે કે ટાઇટેનિયમ લક્ષ્ય જરૂરિયાતોના વિવિધ ઉપયોગો ખૂબ જ અલગ છે.
二, ફ્લેટ પેનલ ડિસ્પ્લે માટે Ti લક્ષ્ય
ફ્લેટ પેનલ ડિસ્પ્લેમાં ઉપયોગમાં લેવાતા ટાઇટેનિયમ એલોય ટાર્ગેટ્સમાં લિક્વિડ ક્રિસ્ટલ ડિસ્પ્લે, પ્લાઝ્મા ડિસ્પ્લે, ઇલેક્ટ્રોલ્યુમિનેસેન્સ ડિસ્પ્લે અને ફીલ્ડ એમિશન ડિસ્પ્લેનો સમાવેશ થાય છે. ફ્લેટ ડિસ્પ્લેની પાતળી ફિલ્મ સ્પુટર્ડ ફોર્મિંગ પદ્ધતિ છે, અલ, ક્યુ, ટી અને મો ફ્લેટ પેનલ માટે પ્રાથમિક મેટલ સ્પુટરિંગ લક્ષ્યો છે. ડિસ્પ્લે. ફ્લેટ પેનલ ડિસ્પ્લે માટે ટાઇટેનિયમ એલોય લક્ષ્યોની શુદ્ધતા સામાન્ય રીતે 99.9% કરતા વધારે હોય છે.
સુશોભન સામગ્રી માટે 三、Ti લક્ષ્યો
ઉચ્ચ શુદ્ધતા ટાઇટેનિયમ એલોય લક્ષ્ય સામગ્રીમાં ઉત્તમ હવા કાટ પ્રતિકાર છે, હવામાં લાંબા ગાળાના ઉપયોગથી રંગ બદલાતો નથી, તેની ખાતરી કરવા માટે ટાઇટેનિયમનો મૂળ રંગ અને માનવ સંપર્ક એલર્જીક નથી અને અન્ય ઉત્તમ લાક્ષણિકતાઓ છે. તેથી, ઉચ્ચ શુદ્ધતા ટાઇટેનિયમનો ઉપયોગ સુશોભન સામગ્રી તરીકે પણ થઈ શકે છે, તાજેતરના વર્ષોમાં, જેમ કે કડા, ઘડિયાળો અને ચશ્મા અને ટાઇટેનિયમ શુદ્ધતા સાથેના અન્ય ઘરેણાં 5N સ્તરે પહોંચી ગયા છે.
四、Ti અલ્ટ્રા-હાઇ વેક્યૂમ પમ્પિંગ સિસ્ટમ્સ માટે લક્ષ્યો
રાસાયણિક રીતે સક્રિય ધાતુ તરીકે, ટાઇટેનિયમ ઊંચા તાપમાને ઘણા તત્વો અને સંયોજનો સાથે પ્રતિક્રિયા કરી શકે છે. ઉચ્ચ શુદ્ધતાના ટાઇટેનિયમ એલોય લક્ષ્યમાં સક્રિય વાયુઓ (જેમ કે O2, N2, CO, CO2, 650 ° સે ઉપર પાણીની વરાળ) માટે મજબૂત શોષણ ક્ષમતા હોય છે અને પંપની દિવાલ પર બાષ્પીભવન થતી Ti ફિલ્મ ઉચ્ચ શોષણ પ્રદર્શન સાથે સપાટી બનાવી શકે છે. . આ ગુણધર્મ અતિ-ઉચ્ચ વેક્યૂમ ગેસ નિષ્કર્ષણ પ્રણાલીમાં ગેટર તરીકે Ti નો વ્યાપકપણે ઉપયોગ કરે છે. જો પંપ, સ્પટરિંગ આયન પંપ, વગેરેને સુધારવા માટે ઉપયોગમાં લેવાય છે, તો તે સ્પુટરિંગ આયન પંપનું અંતિમ ઓપરેટિંગ દબાણ 10-9PA જેટલું ઓછું કરી શકે છે.