એલોય લક્ષ્યો માટે સાવચેતીઓ

1, સ્પુટરિંગ તૈયારી

શૂન્યાવકાશ ચેમ્બર, ખાસ કરીને સ્પટરિંગ સિસ્ટમને સ્વચ્છ રાખવું ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે. લુબ્રિકેટિંગ તેલ, ધૂળ અને અગાઉના કોટિંગ દ્વારા બનેલા કોઈપણ અવશેષો પાણીની વરાળ અને અન્ય પ્રદૂષકોને એકત્રિત કરશે, જે શૂન્યાવકાશની ડિગ્રીને સીધી અસર કરશે અને ફિલ્મ-રચના નિષ્ફળતાની શક્યતાને વધારશે. શોર્ટ સર્કિટ અથવા ટાર્ગેટ આર્સીંગ, રફ ફિલ્મ સપાટી અને વધુ પડતી રાસાયણિક અશુદ્ધતા ઘણીવાર અસ્વચ્છ સ્પુટરિંગ ચેમ્બર, સ્પુટરિંગ ગન અને ટાર્ગેટને કારણે થાય છે. કોટિંગની રચનાની લાક્ષણિકતાઓનું પાલન કરવા માટે, સ્પુટરિંગ ગેસ (આર્ગોન અથવા ઓક્સિજન) ને સાફ અને સૂકવવા જરૂરી છે. સ્પટરિંગ ચેમ્બરમાં સબસ્ટ્રેટ ઇન્સ્ટોલ થયા પછી, પ્રક્રિયા દ્વારા જરૂરી વેક્યૂમ સુધી પહોંચવા માટે હવાને કાઢવાની જરૂર છે. અંધારાવાળા વિસ્તાર, પોલાણની દિવાલ અને નજીકની સપાટીમાં રક્ષણાત્મક આવરણ પણ સ્વચ્છ રાખવું જરૂરી છે. શૂન્યાવકાશ ચેમ્બરની સફાઈ કરતી વખતે, અમે ધૂળવાળા ભાગોને સારવાર માટે કાચના બોલ શોટ બ્લાસ્ટિંગનો ઉપયોગ કરવાની હિમાયત કરીએ છીએ, ચેમ્બરની આસપાસના વહેલા સ્પુટરિંગ અવશેષોને દૂર કરવા માટે સંકુચિત હવા સાથે, અને પછી શાંતિથી એલ્યુમિના ગર્ભિત સેન્ડપેપર વડે બાહ્ય સપાટીને પોલિશ કરીએ છીએ. જાળીના કાગળને પોલિશ કર્યા પછી, તેને આલ્કોહોલ, એસીટોન અને ડીયોનાઇઝ્ડ પાણીથી સાફ કરવામાં આવે છે. એકસાથે, તે સહાયક સફાઈ માટે ઔદ્યોગિક વેક્યૂમ ક્લીનરનો ઉપયોગ કરવાની હિમાયત કરે છે. ગાઓઝાન મેટલ દ્વારા ઉત્પાદિત લક્ષ્યો વેક્યૂમ સીલબંધ પ્લાસ્ટિક બેગમાં પેક કરવામાં આવે છે,

ભેજ-પ્રૂફ એજન્ટમાં બિલ્ટ. લક્ષ્યનો ઉપયોગ કરતી વખતે, કૃપા કરીને તમારા હાથથી લક્ષ્યને સીધો સ્પર્શ કરશો નહીં. નોંધ: ટાર્ગેટનો ઉપયોગ કરતી વખતે, કૃપા કરીને સ્વચ્છ અને લિન્ટ ફ્રી મેન્ટેનન્સ ગ્લોવ્ઝ પહેરો. તમારા હાથથી લક્ષ્યને સીધો સ્પર્શ કરશો નહીં

2, લક્ષ્ય સફાઈ

લક્ષ્ય સફાઈનો હેતુ લક્ષ્યની સપાટી પર રહેલી ધૂળ અથવા ગંદકીને દૂર કરવાનો છે.

મેટલ લક્ષ્યને ચાર પગલામાં સાફ કરી શકાય છે,

પ્રથમ પગલું એસીટોનમાં પલાળેલા લિન્ટ ફ્રી સોફ્ટ કપડાથી સાફ કરવાનું છે;

બીજું પગલું પ્રથમ પગલા જેવું જ છે, દારૂ સાથે સફાઈ;

પગલું 3: ડીયોનાઇઝ્ડ પાણીથી સાફ કરો. ડીયોનાઇઝ્ડ પાણીથી ધોયા પછી, ટાર્ગેટને પકાવવાની નાની ભઠ્ઠીમાં મૂકો અને તેને 30 મિનિટ માટે 100 ℃ પર સૂકવો.

ઓક્સાઇડ અને સિરામિક ટાર્ગેટ્સની સફાઈ "લિંટ ફ્રી ક્લોથ" વડે હાથ ધરવામાં આવશે.

ચોથું પગલું એ છે કે ધૂળવાળા વિસ્તારને દૂર કર્યા પછી ઉચ્ચ દબાણ અને નીચા પાણીના ગેસ સાથે લક્ષ્યને આર્ગોનથી ધોવાનું છે, જેથી સ્પુટરિંગ સિસ્ટમમાં ચાપ બની શકે તેવા તમામ અશુદ્ધ કણોને દૂર કરી શકાય.

3, લક્ષ્ય ઉપકરણ

લક્ષ્ય સ્થાપનની પ્રક્રિયામાં, Z મહત્વપૂર્ણ સાવચેતીઓ લક્ષ્ય અને સ્પુટરિંગ બંદૂકની ઠંડકની દિવાલ વચ્ચે સારા થર્મલ વહન જોડાણની ખાતરી કરવા માટે છે. જો કૂલિંગ સ્ટેવનું વૉરપેજ ગંભીર હોય અથવા પાછળની પ્લેટનું વૉરપેજ ગંભીર હોય, તો લક્ષ્ય ઉપકરણ ક્રેક અથવા વળાંક આવશે, અને પાછળના લક્ષ્યથી લક્ષ્ય સુધીની થર્મલ વાહકતા ખૂબ જ પ્રભાવિત થશે, પરિણામે ગરમીનું વિસર્જન નિષ્ફળ જશે. સ્પુટરિંગ પ્રક્રિયામાં, અને લક્ષ્ય ક્રેક અથવા ચૂકી જશે

થર્મલ વાહકતાને સુનિશ્ચિત કરવા માટે, કેથોડ કૂલિંગ દિવાલ અને લક્ષ્ય વચ્ચે ગ્રેફાઇટ પેપરનો એક સ્તર પેડ કરી શકાય છે. કૃપા કરીને કાળજીપૂર્વક તપાસ કરવા પર ધ્યાન આપો અને O-રિંગ હંમેશા જગ્યાએ છે તેની ખાતરી કરવા માટે ઉપયોગમાં લેવાતી સ્પુટરિંગ બંદૂકની ઠંડકની દિવાલની સપાટતા સ્પષ્ટ કરો.

ઉપયોગમાં લેવાતા ઠંડકના પાણીની સ્વચ્છતા અને સાધનસામગ્રીના સંચાલન દરમિયાન થતી ધૂળ કેથોડ કૂલિંગ પાણીની ટાંકીમાં જમા કરવામાં આવશે, તેથી લક્ષ્ય સ્થાપિત કરતી વખતે કેથોડ કૂલિંગ પાણીની ટાંકી તપાસવી અને સાફ કરવી જરૂરી છે. ઠંડુ પાણીનું પરિભ્રમણ અને તે કે ઇનલેટ અને આઉટલેટને અવરોધિત કરવામાં આવશે નહીં.

કેટલાક કેથોડ્સમાં એનોડ સાથે નાની જગ્યા હોવાનું આયોજન કરવામાં આવ્યું છે, તેથી લક્ષ્ય સ્થાપિત કરતી વખતે, તે ખાતરી કરવી જરૂરી છે કે કેથોડ અને એનોડ વચ્ચે કોઈ સ્પર્શ અથવા વાહક નથી, અન્યથા શોર્ટ સર્કિટ થશે.

લક્ષ્યને યોગ્ય રીતે કેવી રીતે સંચાલિત કરવું તે અંગેની માહિતી માટે સાધનસામગ્રી ઓપરેટરના માર્ગદર્શિકાનો સંદર્ભ લો. જો વપરાશકર્તા માર્ગદર્શિકામાં આવી કોઈ માહિતી ન હોય, તો કૃપા કરીને ગાઓઝાન મેટલ દ્વારા પ્રદાન કરાયેલ સંબંધિત સૂચનો અનુસાર ઉપકરણને ઇન્સ્ટોલ કરવાનો પ્રયાસ કરો. ટાર્ગેટ ફિક્સ્ચરને કડક કરતી વખતે, પહેલા એક બોલ્ટને હાથથી સજ્જડ કરો, અને પછી હાથથી કર્ણ પર બીજા બોલ્ટને સજ્જડ કરો. ઉપકરણ પરના તમામ બોલ્ટને કડક ન થાય ત્યાં સુધી આને પુનરાવર્તિત કરો, અને પછી કંઈક વડે સજ્જડ કરો.

4, શોર્ટ સર્કિટ અને ચુસ્તતા નિરીક્ષણ

લક્ષ્ય ઉપકરણ પૂર્ણ થયા પછી, સમગ્ર કેથોડની શોર્ટ સર્કિટ અને ચુસ્તતા તપાસવી જરૂરી છે,

રેઝિસ્ટન્સ મીટરનો ઉપયોગ કરીને કેથોડમાં શોર્ટ સર્કિટ છે કે કેમ તે નક્કી કરવાનો પ્રસ્તાવ છે.

પંક્તિ ભેદભાવ. કેથોડમાં કોઈ શોર્ટ સર્કિટ નથી તેની પુષ્ટિ કર્યા પછી, લીક ડિટેક્શન હાથ ધરવામાં આવી શકે છે, અને પાણી લીકેજ છે કે કેમ તેની ખાતરી કરવા માટે કેથોડમાં પાણી દાખલ કરી શકાય છે.

5, ટાર્ગેટ પૂર્વ સ્પુટરિંગ

ટાર્ગેટ પ્રી સ્પુટરીંગ શુદ્ધ આર્ગોન સ્પુટરીંગની તરફેણ કરે છે, જે લક્ષ્યની સપાટીને સાફ કરી શકે છે. જ્યારે ટાર્ગેટ પહેલા સ્પુટર થાય છે, ત્યારે ધીમે ધીમે સ્પુટરિંગ પાવર વધારવાની હિમાયત કરવામાં આવે છે, અને સિરામિક ટાર્ગેટનો પાવર વધારો દર 1.5WH/cm2 છે. મેટલ ટાર્ગેટની પ્રી-સ્પટરિંગ સ્પીડ સિરામિક ટાર્ગેટ બ્લોક કરતા વધારે હોઈ શકે છે અને પાવર વધારવાનો વાજબી દર 1.5WH/cm2 છે.

પ્રી-સ્પટરિંગની પ્રક્રિયામાં, આપણે લક્ષ્યની આર્સિંગ તપાસવાની જરૂર છે. સ્પુટરિંગ પહેલાનો સમય સામાન્ય રીતે લગભગ 10 મિનિટનો હોય છે. જો ત્યાં કોઈ આર્સિંગ ઘટના નથી, તો સતત સ્પુટરિંગ પાવર વધારો

સેટ પાવર માટે. અનુભવ અનુસાર, મેટલ ટાર્ગેટની સ્વીકાર્ય Z ઉચ્ચ સ્પુટરિંગ પાવર છે

સિરામિક લક્ષ્ય માટે 25watts/cm2, 10watts/cm2. મહેરબાની કરીને વપરાશકર્તાના સિસ્ટમ ઓપરેશન મેન્યુઅલમાં સ્પુટરિંગ દરમિયાન વેક્યૂમ ચેમ્બરના દબાણના સેટિંગ આધાર અને અનુભવનો સંદર્ભ લો. સામાન્ય રીતે, તે સુનિશ્ચિત કરવું જોઈએ કે ઠંડકના પાણીના આઉટલેટ પર પાણીનું તાપમાન 35 ℃ કરતા ઓછું હોવું જોઈએ, પરંતુ Z એ ખાતરી કરવી મહત્વપૂર્ણ છે કે ઠંડક પાણીની પરિભ્રમણ સિસ્ટમ અસરકારક રીતે કાર્ય કરી શકે છે.

સુપરકૂલિંગ પાણીનું ઝડપી પરિભ્રમણ ગરમીને દૂર કરે છે, જે ઉચ્ચ શક્તિ સાથે સતત સ્પટરિંગને સુનિશ્ચિત કરવા માટે મહત્વપૂર્ણ ગેરંટી છે. મેટલ લક્ષ્યો માટે, તે સામાન્ય રીતે હિમાયત કરવામાં આવે છે કે ઠંડક પાણીનો પ્રવાહ છે

20lpm પાણીનું દબાણ લગભગ 5gmp છે; સિરામિક લક્ષ્યો માટે, સામાન્ય રીતે એવી હિમાયત કરવામાં આવે છે કે પાણીનો પ્રવાહ 30lpm છે અને પાણીનું દબાણ લગભગ 9gmp છે.

6, લક્ષ્ય જાળવણી

સ્પુટરિંગ પ્રક્રિયામાં અશુદ્ધ પોલાણને કારણે થતા શોર્ટ સર્કિટ અને આર્સિંગને રોકવા માટે, સ્પુટરિંગ ટ્રેકની મધ્યમાં અને બંને બાજુએ એકઠા થયેલા સ્પુટરને તબક્કાવાર દૂર કરવું જરૂરી છે,

આ વપરાશકર્તાઓને z હાઈ પાવર ડેન્સિટી પર સતત સ્ફટર કરવામાં પણ મદદ કરે છે

7, લક્ષ્ય સંગ્રહ

ગાઓઝાન મેટલ દ્વારા પૂરા પાડવામાં આવેલ લક્ષ્યોને ડબલ-લેયર વેક્યૂમ પ્લાસ્ટિક બેગમાં પેક કરવામાં આવે છે. અમે હિમાયત કરીએ છીએ કે વપરાશકર્તાઓ લક્ષ્યો રાખે, ભલે મેટલ હોય કે સિરામિક, વેક્યૂમ પેકેજિંગમાં. ખાસ કરીને, બોન્ડિંગ લેયરના ઓક્સિડેશનને બોન્ડિંગ ગુણવત્તાને અસર કરતા અટકાવવા માટે બંધન લક્ષ્યોને વેક્યૂમ સ્થિતિમાં સંગ્રહિત કરવાની જરૂર છે. મેટલ લક્ષ્યોના પેકેજિંગના સંદર્ભમાં, અમે સલાહ આપીએ છીએ કે Z ને સ્વચ્છ પ્લાસ્ટિક બેગમાં પેક કરવું જોઈએ