વિવિધ વ્યવસાયોમાં લક્ષ્ય સામગ્રીનો વ્યાપક ઉપયોગ લક્ષ્ય સામગ્રીની માંગને વધુ અને વધુ બનાવે છે. નીચેના અમે કરીશું ટૂંકમાં પરિચય આપો તમે લક્ષ્યની પ્રાથમિક કાર્યાત્મક આવશ્યકતાઓ શું છે, હોપing તમને મદદ કરવા માટે.
શુદ્ધતા: શુદ્ધતા એ લક્ષ્યના પ્રાથમિક કાર્યાત્મક સૂચકાંકોમાંનું એક છે, કારણ કે લક્ષ્યની શુદ્ધતા ફિલ્મના કાર્ય પર મોટી અસર કરે છે. પરંતુ વ્યવહારમાં, લક્ષ્ય સામગ્રીની શુદ્ધતા સમાન નથી. ઉદાહરણ તરીકે, માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક્સ વ્યવસાયના ઝડપી વિકાસ સાથે, સિલિકોન વેફરનું કદ 6 “, 8 “થી 12″ સુધી વિકસિત થયું છે, અને વાયરિંગની પહોળાઈ 0.5um થી ઘટીને 0.25um, 0.18um અને 0.13um પણ થઈ ગઈ છે. એકવાર લક્ષ્ય શુદ્ધતાના 99.995% 0.35UMIC ની તકનીકી આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરી શકે છે. 0.18um લાઇનની તૈયારી માટે લક્ષ્ય સામગ્રીની 99.999% અથવા તો 99.9999% શુદ્ધતાની જરૂર છે.
ઘનતા: ટાર્ગેટ સોલિડમાં છિદ્રાળુતા ઘટાડવા અને સ્પુટરિંગ ફિલ્મના કાર્યને સુધારવા માટે, લક્ષ્યમાં સામાન્ય રીતે ઉચ્ચ ઘનતા હોવી જરૂરી છે. લક્ષ્ય ઘનતા માત્ર સ્પુટરિંગ રેટને જ નહીં પરંતુ ફિલ્મોના ઇલેક્ટ્રિકલ અને ઓપ્ટિકલ ગુણધર્મોને પણ અસર કરે છે. લક્ષ્યની ઘનતા જેટલી વધારે છે, ફિલ્મનું કાર્ય તેટલું વધુ સારું છે. વધુમાં, લક્ષિત સામગ્રીની ઘનતા અને તાકાતમાં વધારો કરવામાં આવ્યો હતો જેથી તે સ્પુટરિંગ દરમિયાન થર્મલ તણાવને વધુ સારી રીતે ટકી શકે. ઘનતા એ લક્ષ્ય પદાર્થોના મહત્વપૂર્ણ કાર્યાત્મક સૂચકાંકોમાંનું એક છે.
અશુદ્ધિ સામગ્રી: લક્ષ્યમાં રહેલી અશુદ્ધિઓ ઘન અને છિદ્રોમાં ઓક્સિજન અને પાણીની વરાળ એ સંચિત ફિલ્મોના પ્રાથમિક પ્રદૂષણ સ્ત્રોતો છે. વિવિધ હેતુઓ માટે વિવિધ લક્ષ્ય સામગ્રીઓ વિવિધ અશુદ્ધતા સામગ્રી માટે અલગ અલગ જરૂરિયાતો ધરાવે છે. ઉદાહરણ તરીકે, સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં ઉપયોગમાં લેવાતા શુદ્ધ એલ્યુમિનિયમ અને એલ્યુમિનિયમ એલોય લક્ષ્યો આલ્કલી મેટલ સામગ્રી અને કિરણોત્સર્ગી તત્વ સામગ્રી માટે વિશેષ આવશ્યકતાઓ ધરાવે છે.
પોસ્ટ સમય: જૂન-06-2022