ઉચ્ચ શુદ્ધતા કોપર લક્ષ્યની વિકાસની સંભાવના

હાલમાં, IC ઉદ્યોગ માટે જરૂરી લગભગ તમામ હાઇ-એન્ડ અલ્ટ્રા-હાઇ પ્યુરિટી મેટલ કોપર ટાર્ગેટ પર ઘણી મોટી વિદેશી બહુરાષ્ટ્રીય કંપનીઓનો ઈજારો છે. ઘરેલું IC ઉદ્યોગ દ્વારા જરૂરી તમામ અલ્ટ્રાપ્યોર કોપર ટાર્ગેટ આયાત કરવાની જરૂર છે, જે માત્ર ખર્ચાળ નથી, પણ આયાત પ્રક્રિયામાં જટિલ પણ છે તેથી, ચીનને તાકીદે અતિ-ઉચ્ચ શુદ્ધતા (6N) કોપર સ્પુટરિંગ લક્ષ્યોના વિકાસ અને ચકાસણીમાં સુધારો કરવાની જરૂર છે. . ચાલો અતિ-ઉચ્ચ શુદ્ધતા (6N) કોપર સ્પુટરિંગ લક્ષ્યોના વિકાસમાં મુખ્ય મુદ્દાઓ અને મુશ્કેલીઓ પર એક નજર કરીએ.

1,અતિ ઉચ્ચ શુદ્ધતા સામગ્રીનો વિકાસ

ચીનમાં ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળી Cu, Al અને Ta ધાતુઓની શુદ્ધિકરણ તકનીક ઔદ્યોગિક વિકસિત દેશો કરતાં ઘણી દૂર છે. હાલમાં, મોટાભાગની ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ધરાવતી ધાતુઓ જે પૂરી પાડી શકાય છે તે ઉદ્યોગમાં પરંપરાગત તમામ તત્વ વિશ્લેષણ પદ્ધતિઓ અનુસાર સ્પુટરિંગ લક્ષ્યો માટે સંકલિત સર્કિટની ગુણવત્તા જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકતી નથી. લક્ષ્યમાં સમાવેશની સંખ્યા ખૂબ વધારે છે અથવા અસમાન રીતે વિતરિત છે. સ્પટરિંગ દરમિયાન ઘણીવાર વેફર પર કણો રચાય છે, જેના પરિણામે શોર્ટ સર્કિટ અથવા ઇન્ટરકનેક્ટની ઓપન સર્કિટ થાય છે, જે ફિલ્મના પ્રદર્શનને ગંભીર અસર કરે છે.

2,કોપર સ્પુટરિંગ લક્ષ્ય તૈયારી તકનીકનો વિકાસ

કોપર સ્પુટરિંગ લક્ષ્ય તૈયારી તકનીકનો વિકાસ મુખ્યત્વે ત્રણ પાસાઓ પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે: અનાજનું કદ, દિશા નિયંત્રણ અને એકરૂપતા. સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં ધ્રુજારીના લક્ષ્યો અને કાચા માલના બાષ્પીભવન માટે સૌથી વધુ જરૂરિયાતો છે. સપાટીના અનાજના કદ અને લક્ષ્યના ક્રિસ્ટલ ઓરિએન્ટેશનના નિયંત્રણ માટે તેની ખૂબ જ કડક આવશ્યકતાઓ છે. લક્ષ્યના અનાજના કદને 100 પર નિયંત્રિત કરવું આવશ્યક છેμ એમ નીચે, તેથી, ધાતુના લક્ષ્યોના વિકાસ માટે અનાજના કદનું નિયંત્રણ અને સહસંબંધ વિશ્લેષણ અને શોધના માધ્યમો ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે.

3,વિશ્લેષણનો વિકાસ અનેપરીક્ષણ ટેકનોલોજી

લક્ષ્યની ઉચ્ચ શુદ્ધતાનો અર્થ છે અશુદ્ધિઓમાં ઘટાડો. ભૂતકાળમાં, અશુદ્ધિઓ નક્કી કરવા માટે ઇન્ડક્ટિવલી કમ્પલ્ડ પ્લાઝ્મા (ICP) અને અણુ શોષણ સ્પેક્ટ્રોમેટ્રીનો ઉપયોગ કરવામાં આવતો હતો, પરંતુ તાજેતરના વર્ષોમાં, ઉચ્ચ સંવેદનશીલતા સાથે ગ્લો ડિસ્ચાર્જ ક્વોલિટી એનાલિસિસ (GDMS) ધીમે ધીમે ધોરણ તરીકે ઉપયોગમાં લેવાય છે. પદ્ધતિ. શેષ પ્રતિકાર ગુણોત્તર RRR પદ્ધતિનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે વિદ્યુત શુદ્ધતાના નિર્ધારણ માટે થાય છે. તેનો નિર્ધારણ સિદ્ધાંત અશુદ્ધિઓના ઇલેક્ટ્રોનિક વિખેરવાની ડિગ્રીને માપીને બેઝ મેટલની શુદ્ધતાનું મૂલ્યાંકન કરવાનો છે. કારણ કે તે ઓરડાના તાપમાને અને ખૂબ નીચા તાપમાને પ્રતિકાર માપવા માટે છે, તે સંખ્યા લેવાનું સરળ છે. તાજેતરના વર્ષોમાં, ધાતુઓના સારને શોધવા માટે, અતિ-ઉચ્ચ શુદ્ધતા પર સંશોધન ખૂબ જ સક્રિય છે. આ કિસ્સામાં, RRR મૂલ્ય શુદ્ધતાનું મૂલ્યાંકન કરવાનો શ્રેષ્ઠ માર્ગ છે.