સ્પુટરિંગ લક્ષ્યોમાં તિરાડો સામાન્ય રીતે સિરામિક સ્પુટરિંગ લક્ષ્યો જેમ કે ઓક્સાઇડ, કાર્બાઇડ, નાઇટ્રાઇડ અને ક્રોમિયમ, એન્ટિમોની, બિસ્મથ જેવી બરડ સામગ્રીમાં જોવા મળે છે. હવે RSM ના ટેકનિકલ નિષ્ણાતો સમજાવે છે કે શા માટે સ્પટરિંગ ટાર્ગેટ ક્રેક થાય છે અને આ પરિસ્થિતિને ટાળવા માટે કયા નિવારક પગલાં લઈ શકાય છે.
સિરામિક અથવા બરડ સામગ્રી લક્ષ્યો હંમેશા અંતર્ગત તણાવ ધરાવે છે. આ આંતરિક તાણ લક્ષ્ય ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં ઉત્પન્ન થાય છે. વધુમાં, આ તાણ એનિલિંગ પ્રક્રિયા દ્વારા સંપૂર્ણપણે દૂર થતા નથી, કારણ કે તે આ સામગ્રીની સહજ લાક્ષણિકતાઓ છે. સ્પુટરિંગ પ્રક્રિયામાં, ગેસ આયનોનો તોપમારો તેમની ગતિને લક્ષ્ય અણુઓમાં સ્થાનાંતરિત કરે છે, તેમને જાળીથી અલગ કરવા માટે પૂરતી ઊર્જા પૂરી પાડે છે. આ એક્ઝોથર્મિક મોમેન્ટમ ટ્રાન્સફર લક્ષ્ય તાપમાનમાં વધારો કરે છે, જે અણુ સ્તરે 1000000 ℃ સુધી પહોંચી શકે છે.
આ થર્મલ આંચકાઓ લક્ષ્યમાં હાલના આંતરિક તણાવને અનેક ગણો વધારી દે છે. આ કિસ્સામાં, જો ગરમી યોગ્ય રીતે વિખેરી નાખવામાં ન આવે, તો લક્ષ્ય તૂટી શકે છે. લક્ષ્યને ક્રેકીંગથી બચાવવા માટે, ગરમીના વિસર્જન પર ભાર મૂકવો જોઈએ. લક્ષ્યમાંથી અનિચ્છનીય ઉષ્મા ઉર્જા દૂર કરવા માટે વોટર કૂલિંગ મિકેનિઝમ જરૂરી છે. ધ્યાનમાં લેવાનો બીજો મુદ્દો પાવરમાં વધારો છે. ટૂંકા સમયમાં વધુ પડતી શક્તિ લાગુ થવાથી લક્ષ્યને થર્મલ શોક પણ લાગશે. વધુમાં, અમે આ લક્ષ્યોને બેકપ્લેન સાથે જોડવાનું સૂચન કરીએ છીએ, જે માત્ર લક્ષ્યને જ ટેકો પૂરો પાડી શકતા નથી, પરંતુ લક્ષ્ય અને પાણી વચ્ચે વધુ સારી ગરમીના વિનિમયને પણ પ્રોત્સાહન આપી શકે છે. જો લક્ષ્યમાં તિરાડો હોય પરંતુ તે પાછળની પ્લેટ સાથે બંધાયેલ હોય, તો પણ તેનો ઉપયોગ કરી શકાય છે.
રિચ સ્પેશિયલ મટિરિયલ્સ કંપની લિમિટેડ બેકપ્લેન સાથે સ્પુટરિંગ લક્ષ્યો પ્રદાન કરી શકે છે. તે સામગ્રી, જાડાઈ અને બંધન પ્રકાર ની ગ્રાહકોની જરૂરિયાતો અનુસાર કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે.
પોસ્ટ સમય: સપ્ટેમ્બર-21-2022