O revestimento ao baleiro na selección de materiais de destino de pulverización catódica foi un problema para as persoas, na actualidade, xa que o revestimento de pulverización catódica, especialmente o desenvolvemento das habilidades de recubrimento de magnetrón, pódese dicir que calquera información pode dirixirse á preparación do material de películas finas. por bombardeo iónico, porque ao pulverizar o material obxectivo no proceso de revestimento ao tipo de substrato, ten un efecto importante sobre a calidade da pulverización catódica. película, polo tanto, os requisitos de material obxectivo son máis estritos. Aquí aprenderemos sobre o papel do obxectivo de pulverización no recubrimento ao baleiro xunto co editor de Beijing Relaxation
一、Principio de selección e clasificación do material obxectivo
Na selección do material de destino, ademais do uso da propia película debe seleccionarse, tamén se deben considerar os seguintes problemas:
Problema 1. Segundo os requisitos de uso e rendemento da membrana, é necesario que o material obxectivo cumpra os requisitos técnicos de pureza, contido da revista, uniformidade dos compoñentes, precisión de mecanizado, etc.
Problema 2. O material obxectivo debe ter unha boa resistencia mecánica e estabilidade química despois da formación da película;
Problema 3. É necesario que o material da película xere facilmente unha película composta co gas de reacción como película reactiva de pulverización catódica;
Problema 4. É necesario establecer que o obxectivo e a matriz sexan fortes, se non, debe adoptarse o material de película cunha boa adhesión á matriz, primeiro pulverizar unha capa de película inferior e despois preparar a capa de película necesaria;
Pregunta 5. Coa premisa de cumprir os requisitos de rendemento da película, canto menor sexa a diferenza entre o coeficiente de expansión térmica do obxectivo e a matriz, mellor, para reducir a influencia do estrés térmico da película de pulverización;
Preparación de varios obxectivos de uso común
(1) cr obxectivo
O cromo como material de película de pulverización non só é fácil de combinar co material base que ten alta adherencia, e a película de cromo e óxido CrQ3, as súas propiedades mecánicas, a resistencia ao ácido e a estabilidade térmica son mellores.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. dedícase principalmente a: obxectivo de titanio de circonio, obxectivo de aluminio, obxectivo de níquel, obxectivo de cromo, obxectivo de tungsteno, obxectivo de molibdeno, obxectivo de cobre, obxectivo de silicio, obxectivo de niobio, obxectivo de tántalo, aliaxe de titanio e silicio obxectivo, obxectivo de aliaxe de titanio-niobio, obxectivo de aliaxe de titanio-tungsteno, obxectivo de aliaxe de titanio-circonio, Obxectivo de aliaxe de níquel-cromo, obxectivo de aliaxe de sílice-aluminio, obxectivo de aliaxe de níquel-vanadio, obxectivo de aliaxe ternaria de cromo-aluminio-silicio, material de destino de aliaxe ternario Ti al si, amplamente utilizado en decoración / superficie dura e revestimento funcional, vidro arquitectónico, plano pantalla/fotoeléctrica óptica, almacenamento óptico, electrónica, impresión e outras profesións.
Hora de publicación: 02-06-2022