Principios de pulverización catódica con magnetrón para obxectivos de pulverización catódica

Moitos usuarios deben ter oído falar do produto do obxectivo de sputtering, pero o principio de sputtering target debería ser relativamente descoñecido. Agora, o editor deMaterial especial rico (RSM) comparte os principios de sputtering con magnetrón do obxectivo de sputtering.

Engádense un campo magnético ortogonal e un campo eléctrico entre o electrodo de destino (cátodo) e o ánodo, o gas inerte necesario (xeralmente gas Ar) énchese na cámara de alto baleiro, o imán permanente forma un campo magnético de 250 ~ 350 Gauss. a superficie dos datos obxectivo e o campo electromagnético ortogonal fórmase co campo eléctrico de alta tensión.

Baixo o efecto do campo eléctrico, o gas Ar ionízase en ións positivos e electróns. Engádese unha certa alta tensión negativa ao obxectivo. O efecto do campo magnético sobre os electróns emitidos dende o polo obxectivo e a probabilidade de ionización do gas de traballo aumentan, formando un plasma de alta densidade preto do cátodo. Baixo o efecto da forza de Lorentz, os ións de Ar aceleran ata a superficie do obxectivo e bombardean a superficie do obxectivo a unha velocidade moi alta, os átomos pulverizados no obxectivo seguen o principio de conversión de momento e voan lonxe da superficie do obxectivo cara ao substrato cunha enerxía cinética elevada. para depositar películas.

A sputtering con magnetrón divídese xeralmente en dous tipos: sputtering tributario e sputtering RF. O principio do equipo de sputtering tributario é sinxelo e a súa velocidade tamén é rápida cando se sputtering metal. A pulverización catódica RF é amplamente utilizada. Ademais de pulverizar materiais condutores, tamén pode pulverizar materiais non condutores. Ao mesmo tempo, tamén realiza pulverización catódica reactiva para preparar materiais de óxidos, nitruros, carburos e outros compostos. Se a frecuencia de RF aumenta, converterase en pulverización de plasma de microondas. Agora, a resonancia de ciclotrón electrónico (ECR) úsase habitualmente a pulverización catódica de plasma de microondas.