Proceso de encadernación do taboleiro:
1、 Que é a vinculación vinculante? Refírese ao uso de soldadura para soldar o material obxectivo ao obxectivo traseiro. Hai tres métodos principais: prensado, soldadura e adhesivo condutor. A unión de obxectivos úsase habitualmente para a soldadura, e os materiais de soldadura inclúen normalmente In, Sn e In Sn. Xeralmente, cando se usan materiais de soldadura suave, a potencia de pulverización catódica debe ser inferior a 20 W/cm2.
2、 Por que unirse 1. Evitar a fragmentación desigual dos materiais obxectivo durante o quecemento, como obxectivos fráxiles como ITO, SiO2, cerámica e obxectivos sinterizados; 2. Garda * * * e evita a deformación. Se o material obxectivo é demasiado caro, pódese facer máis fino e unido ao obxectivo traseiro para evitar a deformación.
3、 Selección do obxectivo traseiro: 1. Rich Special Materials Co., Ltd. usa habitualmente cobre sen osíxeno cunha boa condutividade, e a condutividade térmica do cobre sen osíxeno é mellor que a do cobre vermello; 2. O grosor é moderado e, en xeral, recoméndase ter un grosor de obxectivo traseiro duns 3 mm. Demasiado groso, consumindo algo de forza magnética; Demasiado delgado, fácil de deformar.
4、 Proceso de encadernación 1. Tratar previamente a superficie do material obxectivo e o obxectivo traseiro antes de encadenar. 2. Coloque o material obxectivo e o obxectivo traseiro nunha plataforma de soldadura e eleve a temperatura ata a temperatura de unión. 3. Metaliza o material obxectivo e o obxectivo traseiro. 4. Pegue o material obxectivo e o obxectivo traseiro. 5. Refrixeración e posprocesamento.
5、 Precaucións para o uso de obxectivos limitados: 1. A temperatura de pulverización non debe ser demasiado alta. 2. A corrente debe ir aumentando lentamente. 3. A auga de refrixeración circulante debe estar por debaixo dos 35 graos centígrados. 4. Densidade obxectivo axeitada
6、 O motivo da separación da placa traseira é que a temperatura de pulverización é alta e o obxectivo traseiro é propenso á oxidación e deformación. O material obxectivo racharase durante a pulverización catódica a alta temperatura, facendo que o obxectivo traseiro se desprenda; 2. A corrente é demasiado alta e a condución da calor é demasiado rápida, o que fai que a temperatura sexa demasiado alta e a soldadura se derrita, o que provoca unha soldadura irregular e un desprendemento do obxectivo traseiro; 3. A temperatura da saída da auga de refrixeración circulante debe ser inferior a 35 graos centígrados, e a alta temperatura da auga circulante pode provocar unha mala disipación e desprendimento da calor; 4. A densidade do material obxectivo en si, cando a densidade do material obxectivo é moi alta, non é fácil de adsorber, non hai ocos e o obxectivo traseiro é fácil de caer.
Hora de publicación: 12-Oct-2023