O amplo uso de material de destino en varias profesións fai que a demanda de material de destino sexa cada vez maior. O seguinte Farémolo presentar brevemente ti cales son os requisitos funcionais principais do destino, hoping para axudarche.
Pureza: a pureza é un dos principais indicadores funcionais do obxectivo, porque a pureza do obxectivo ten un gran impacto na función da película. Pero na práctica, a pureza do material obxectivo non é a mesma. Por exemplo, co rápido crecemento da profesión da microelectrónica, o tamaño da oblea de silicio pasou de 6 ", 8 "a 12" e o ancho do cableado diminuíu de 0,5um a 0,25um, 0,18um e ata 0,13um. Unha vez que o 99,995% da pureza obxectivo pode cumprir os requisitos tecnolóxicos de 0,35 UMIC. A preparación da liña de 0,18 um require 99,999% ou mesmo 99,9999% de pureza do material obxectivo.
Densidade: para reducir a porosidade do sólido obxectivo e mellorar a función da película de pulverización catódica, adoita ser necesario que o obxectivo teña unha alta densidade. A densidade obxectivo afecta non só á taxa de pulverización, senón tamén ás propiedades eléctricas e ópticas das películas. Canto maior sexa a densidade do obxectivo, mellor será a función da película. Ademais, aumentouse a densidade e resistencia do material obxectivo para que resista mellor o estrés térmico durante a pulverización catódica. A densidade tamén é un dos indicadores funcionais importantes das substancias obxectivo.
Contido de impurezas: as impurezas no sólido obxectivo e o osíxeno e o vapor de auga nos poros son as principais fontes de contaminación das películas acumuladas. Os diferentes materiais obxectivo para diferentes fins teñen diferentes requisitos para o contido de impurezas diferentes. Por exemplo, os obxectivos de aluminio puro e aliaxes de aluminio utilizados na industria de semicondutores teñen requisitos especiais para o contido de metal alcalino e o contido de elementos radioactivos.
Hora de publicación: 06-06-2022