Razóns para a formación de sucos na superficie do obxectivo de niobio

Os materiais obxectivo de niobio utilízanse principalmente en revestimentos ópticos, revestimentos de materiais de enxeñería de superficies e industrias de revestimentos como a resistencia á calor, a resistencia á corrosión e a alta condutividade. No campo do revestimento óptico, aplícase principalmente en produtos ópticos oftálmicos, lentes, ópticas de precisión, revestimento de gran área, revestimento 3D e outros aspectos.

O material obxectivo de niobio adoita chamarse branco espido. Primeiro sáldase ao obxectivo traseiro de cobre e despois sputtering para depositar átomos de niobio en forma de óxidos no material do substrato, conseguindo un revestimento de sputtering. Coa continua profundización e expansión da tecnoloxía e aplicación do obxectivo de niobio, os requisitos para a uniformidade da microestrutura do obxectivo de niobio aumentaron, manifestándose principalmente en tres aspectos: refinamento do tamaño do gran, sen orientación da textura obvia e pureza química mellorada.

A distribución uniforme da microestrutura e das propiedades en todo o obxectivo é crucial para garantir o rendemento de pulverización catódica dos materiais diana de niobio. A superficie dos obxectivos de niobio atopados na produción industrial adoita presentar patróns regulares, que afectan en gran medida ao rendemento da pulverización catódica dos obxectivos. Como podemos mellorar a taxa de utilización dos obxectivos?

A través da investigación, descubriuse que o contido de impurezas (pureza obxectivo) é un factor importante que afecta a pureza. A composición química das materias primas é desigual e as impurezas están enriquecidas. Despois do procesamento de rolamento posterior, fórmanse patróns regulares na superficie do material obxectivo de niobio; Eliminar a distribución desigual dos compoñentes da materia prima e o enriquecemento de impurezas pode evitar a formación de patróns regulares na superficie dos obxectivos de niobio. A influencia do tamaño dos grans e da composición estrutural sobre o material obxectivo pode ser case insignificante.