Debido á alta estabilidade á temperatura, á alta resistencia á migración de electróns e ao alto coeficiente de emisión de electróns das aliaxes de volframio e volframio refractarios, os obxectivos de tungsteno e aliaxes de wolframio de alta pureza úsanse principalmente para a fabricación de electrodos de porta, cableado de conexión, capas de barreira de difusión, etc. de semicondutores. circuítos integrados e teñen altos requisitos para a pureza, o contido de elementos de impurezas, a densidade, o tamaño do gran e a uniformidade da estrutura do gran. materiais. Agora imos dar un ollo aos factores que afectan a preparación de obxectivos de wolframio de alta pureza.
1、 Efecto da temperatura de sinterización
O proceso de formación do embrión obxectivo de wolframio realízase xeralmente por presión isostática en frío. O gran de wolframio crecerá durante o proceso de sinterización. O crecemento do gran de wolframio encherá o oco entre os límites dos grans, mellorando así a densidade do obxectivo de wolframio. Co aumento dos tempos de sinterización, o aumento da densidade de obxectivos de tungsteno diminúe gradualmente. A razón principal é que despois da sinterización múltiple, a calidade do obxectivo de tungsteno non cambiou moito. Debido a que a maioría dos ocos no límite de grans están cheos de cristais de wolframio, despois de cada sinterización, a taxa de cambio de tamaño global do obxectivo de wolframio foi moi pequena, o que resulta nun espazo limitado para aumentar a densidade do obxectivo de tungsteno. Co proceso de sinterización, os grans de wolframio cultivados enchen os ocos, o que resulta nunha maior densidade do obxectivo cun tamaño de partícula menor.
2, Efecto do tempo de retención
Á mesma temperatura de sinterización, a compacidade do obxectivo de wolframio mellorarase coa prolongación do tempo de retención da sinterización. Coa prolongación do tempo de retención, o tamaño do gran de tungsteno aumentará e, coa prolongación do tempo de retención, os tempos de crecemento do tamaño de gran diminuirán gradualmente, o que significa que aumentar o tempo de retención tamén pode mellorar o rendemento do obxectivo de tungsteno.
3、 Efecto do rolo nas propiedades do obxectivo
Para mellorar a densidade do material obxectivo de wolframio e obter a estrutura de procesamento do material obxectivo de wolframio, a temperatura media do material de destino de wolframio debe realizarse por debaixo da temperatura de recristalización. Se a temperatura de rodadura do tacho de destino é alta, a estrutura da fibra do tacho de destino será grosa e viceversa. Cando a taxa de laminación quente alcanza máis do 95%. Aínda que se eliminará a diferenza na estrutura da fibra causada por diferentes grans orixinais ou diferentes temperaturas de laminación, a estrutura interna do obxectivo formará unha estrutura de fibra relativamente uniforme, polo que canto maior sexa a taxa de procesamento do laminado en quente, mellor será o rendemento do obxectivo.
Hora de publicación: 15-feb-2023