As gretas nos obxectivos de pulverización catódica normalmente ocorren en brancos de pulverización cerámica como óxidos, carburos, nitruros e materiais fráxiles como cromo, antimonio e bismuto. Agora deixemos que os expertos técnicos de RSM expliquen por que racha o obxectivo de pulverización e que medidas preventivas se poden tomar para evitar esta situación.
Os obxectivos de materiais cerámicos ou fráxiles sempre conteñen tensións inherentes. Estas tensións internas xéranse no proceso de fabricación obxectivo. Ademais, estes esforzos non se eliminan completamente polo proceso de recocido, porque son características inherentes a estes materiais. No proceso de pulverización, o bombardeo de ións gaseosos transfire o seu impulso aos átomos obxectivo, proporcionándolles enerxía suficiente para separalos da rede. Esta transferencia de momento exotérmico fai que a temperatura obxectivo aumente, que pode alcanzar os 1000000 ℃ a nivel atómico.
Estes choques térmicos aumentan moitas veces o estrés interno existente no obxectivo. Neste caso, se a calor non se disipa correctamente, o obxectivo pode romper. Para evitar que o obxectivo se rache, débese enfatizar a disipación de calor. Requírese un mecanismo de refrixeración por auga para eliminar a enerxía térmica non desexada do obxectivo. Outra cuestión a ter en conta é o aumento da potencia. Demasiada potencia aplicada en pouco tempo tamén provocará un choque térmico ao obxectivo. Ademais, suxerímoslle unir estes obxectivos ao plano posterior, que non só pode proporcionar soporte para o obxectivo, senón que tamén pode promover un mellor intercambio de calor entre o obxectivo e a auga. Se o obxectivo ten fendas pero está unido á placa traseira, aínda se pode usar.
Rich Special Materials Co., Ltd. pode proporcionar obxectivos de pulverización catódica con backplane. Pódese personalizar segundo os requisitos de material, espesor e tipo de unión dos clientes.
Hora de publicación: 21-09-2022