Como todos sabemos, hai moitas especificacións de obxectivos de pulverización catódica e os seus campos de aplicación tamén son moi amplos. Os tipos de obxectivos que se usan habitualmente en diferentes campos tamén son diferentes. Hoxe, imos aprender sobre a clasificación dos campos de aplicación de destino de pulverización catódica co editor de RSM!
1、 Definición de obxectivo de pulverización catódica
A pulverización catódica é unha das principais tecnoloxías para a preparación de materiais de película fina. Utiliza os ións producidos pola fonte de ións para acelerar e reunirse no baleiro para formar un feixe de ións de alta velocidade, bombardear a superficie sólida e os ións intercambian enerxía cinética cos átomos da superficie sólida, de xeito que os átomos da superficie sólida. superficie están separados do sólido e depositados na superficie do substrato. O sólido bombardeado é a materia prima para preparar a fina película depositada por pulverización catódica, que se denomina obxectivo de pulverización catódica.
2、 Clasificación dos campos de aplicación do obxectivo de pulverización catódica
1. Obxectivo de semicondutores
(1) Obxectivos comúns: os obxectivos comúns neste campo inclúen metais de alto punto de fusión como tántalo / cobre / titanio / aluminio / ouro / níquel.
(2) Uso: úsase principalmente como materias primas clave para circuítos integrados.
(3) Requisitos de rendemento: altos requisitos técnicos de pureza, tamaño, integración, etc.
2. Obxectivo para pantalla plana
(1) Obxectivos comúns: os obxectivos comúns neste campo inclúen aluminio / cobre / molibdeno / níquel / niobio / silicio / cromo, etc.
(2) Uso: este tipo de obxectivos úsase principalmente para varios tipos de películas de gran área, como televisores e portátiles.
(3) Requisitos de rendemento: altos requisitos de pureza, gran superficie, uniformidade, etc.
3. Material obxectivo para a célula solar
(1) Obxectivos comúns: aluminio/cobre/molibdeno/cromo/ITO/Ta e outros obxectivos para células solares.
(2) Uso: úsase principalmente en "capa de fiestra", capa de barreira, electrodo e película condutora.
(3) Requisitos de rendemento: altos requisitos técnicos e ampla gama de aplicacións.
4. Obxectivo para o almacenamento de información
(1) Obxectivos comúns: obxectivos comúns de cobalto / níquel / ferroaliaxe / cromo / telurio / selenio e outros materiais para o almacenamento de información.
(2) Uso: este tipo de material obxectivo úsase principalmente para a cabeza magnética, a capa media e a capa inferior da unidade óptica e do disco óptico.
(3) Requisitos de rendemento: requírese alta densidade de almacenamento e alta velocidade de transmisión.
5. Obxectivo para a modificación da ferramenta
(1) Obxectivos comúns: obxectivos comúns como a aliaxe de aluminio de titanio / circonio / cromo modificado por ferramentas.
(2) Uso: adoita utilizarse para reforzar a superficie.
(3) Requisitos de rendemento: requisitos de alto rendemento e longa vida útil.
6. Obxectivos para dispositivos electrónicos
(1) Obxectivos comúns: obxectivos comúns de aliaxe de aluminio / siliciuro para dispositivos electrónicos
(2) Propósito: xeralmente usado para resistencias e capacitores de película fina.
(3) Requisitos de rendemento: tamaño pequeno, estabilidade, coeficiente de temperatura de baixa resistencia
Hora de publicación: 27-Xul-2022