Bidh an gnìomhachas semiconductor gu tric a ’faicinn teirm airson stuthan targaid, a dh’ fhaodar a roinn ann an stuthan wafer agus stuthan pacaidh. Tha cnapan-starra teicnigeach coimeasach ìosal aig stuthan pacaidh an taca ri stuthan saothrachaidh wafer. Tha pròiseas cinneasachaidh wafers sa mhòr-chuid a’ toirt a-steach 7 seòrsa de stuthan semiconductor agus ceimigean, a’ toirt a-steach aon seòrsa de stuth targaid sputtering. Mar sin dè an stuth targaid a th’ ann? Carson a tha an stuth targaid cho cudromach? An-diugh bruidhnidh sinn mu dè an stuth targaid a th’ ann!
Dè an stuth targaid a th’ ann?
Gu sìmplidh, is e an stuth targaid an stuth targaid air a spreadhadh le gràinean àrd-astar. Le bhith a’ cur an àite diofar stuthan targaid (leithid alùmanum, copar, stàilinn gun staoin, titanium, targaidean nicil, msaa), gheibhear diofar shiostaman film (leithid filmichean alloy superhard, caitheamh-caitheamh, an-aghaidh creimeadh, msaa).
Aig an àm seo, faodar stuthan targaid sputtering (purity) a roinn ann an:
1) Targaidean meatailt (alùmanum meatailt fìor-ghlan, titanium, copar, tantalum, msaa)
2) Targaidean alloy (alloy cromium nicil, alloy cobalt nicil, msaa)
3) Targaidean todhar ceirmeach (oxides, silicides, carbides, sulfides, msaa).
A rèir diofar suidsichean, faodar a roinn ann an: targaid fhada, targaid ceàrnagach, agus targaid cruinn.
A rèir diofar raointean tagraidh, faodar a roinn ann an: targaidean chip semiconductor, targaidean taisbeanaidh pannal còmhnard, targaidean cealla grèine, targaidean stòraidh fiosrachaidh, targaidean atharraichte, targaidean inneal dealanach, agus targaidean eile.
Le bhith a’ coimhead air an seo, bu chòir dhut a bhith air tuigse fhaighinn air targaidean sputtering fìor-ghlan, a bharrachd air an alùmanum, titanium, copar, agus tantalum a thathas a’ cleachdadh ann an targaidean meatailt. Ann an saothrachadh wafer semiconductor, mar as trice is e am pròiseas alùmanum am prìomh dhòigh air wafers 200mm (8 òirleach) agus gu h-ìosal a dhèanamh, agus is e na stuthan targaid a thathas a’ cleachdadh sa mhòr-chuid eileamaidean alùmanum agus titanium. Saothrachadh wafer 300mm (12 òirleach), sa mhòr-chuid a’ cleachdadh teicneòlas eadar-cheangail copair adhartach, sa mhòr-chuid a’ cleachdadh targaidean copair agus tantalum.
Bu chòir dha a h-uile duine tuigsinn dè an stuth targaid a th’ ann. Gu h-iomlan, leis an raon de thagraidhean chip a tha a’ sìor fhàs agus an t-iarrtas a tha a’ sìor fhàs anns a’ mhargaidh chip, gu cinnteach bidh àrdachadh san iarrtas airson na ceithir stuthan meatailt film tana àbhaisteach sa ghnìomhachas, is iad sin alùmanum, titanium, tantalum, agus copar. Agus an-dràsta, chan eil fuasgladh sam bith eile ann a dh'fhaodas na ceithir stuthan meatailt film tana seo a chur an àite.
Ùine puist: Iuchar-06-2023