Tha margaidh fharsaing aig an targaid, raon tagraidh agus leasachadh mòr san àm ri teachd. Gus do chuideachadh le tuigse nas fheàrr fhaighinn air na gnìomhan targaid, an seo gu h-ìosal bheir an innleadair RSM a-steach goirid prìomh riatanasan gnìomh an targaid.
Purity: Is e purrachd aon de na prìomh chomharran gnìomh aig an targaid, oir tha purrachd an targaid a 'toirt buaidh mhòr air obair an fhilm. Ach, ann an cleachdadh practaigeach, tha riatanasan purrachd an targaid cuideachd eadar-dhealaichte. Mar eisimpleir, le leasachadh luath gnìomhachas microelectronics, meud sileacon wafer air a leudachadh bho 6 "gu 8" gu 12 ", agus an uèirle leud air a lùghdachadh bho 0.5um gu 0.25um, 0.18um no fiù 's 0.13um. Roimhe sin, faodaidh 99.995% den purity targaid coinneachadh ri riatanasan pròiseas 0.35umic, fhad ‘s a dh’ fheumas ullachadh loidhnichean 0.18um 99.999% no eadhon 99.9999% den purity targaid.
Susbaint neo-chunbhalachd: Is e neo-chunbhalachd ann an solidan targaid agus ocsaidean agus ceò uisge ann am pores na prìomh stòran truailleadh de fhilmichean tasgaidh. Tha riatanasan eadar-dhealaichte aig targaidean airson diofar adhbharan airson diofar shusbaint neo-chunbhalachd. Mar eisimpleir, tha riatanasan sònraichte aig targaidean fìor-ghlan alùmanum agus alùmanum a thathar a’ cleachdadh ann an gnìomhachas semiconductor airson susbaint meatailt alcaileach agus susbaint eileamaid rèidio-beò.
Dùmhlachd: gus na pores anns an targaid chruaidh a lughdachadh agus gnìomhachd film sputtering a leasachadh, mar as trice feumar dùmhlachd àrd a bhith aig an targaid. Tha dùmhlachd an targaid chan ann a-mhàin a’ toirt buaidh air an ìre sputtering, ach cuideachd a’ toirt buaidh air gnìomhan dealain is optigeach an fhilm. Mar as àirde an dùmhlachd targaid, is ann as fheàrr a bhios gnìomh an fhilm. A bharrachd air an sin, tha dùmhlachd agus neart an targaid air an leasachadh gus an urrainn don targaid gabhail ris an cuideam teirmeach sa phròiseas sputtering nas fheàrr. Tha dùmhlachd cuideachd mar aon de na prìomh chomharran gnìomh den targaid.
Ùine puist: Cèitean-20-2022