Tha am film tana air an targaid còmhdaichte le cumadh stuth sònraichte. Ann an stiùireadh sònraichte tiugh, tha an sgèile glè bheag, a tha na mheud microscopach a ghabhas tomhas. A bharrachd air an sin, air sgàth coltas agus eadar-aghaidh tighead film, thig leantalachd stuthan gu crìch, a tha a’ fàgail gu bheil feartan cumanta eadar-dhealaichte aig dàta film agus dàta targaid. prionnsapal agus sgilean còmhdach sputtering.
一, Prionnsabal còmhdach sputtering
Is e sgil còmhdach sputtering a bhith a’ cleachdadh coltas targaid rùsgadh ian, tha na dadaman targaid air am bualadh a-mach às an iongantas ris an canar sputtering. Is e còmhdach sputtering a chanar ris na dadaman a tha air an tasgadh air uachdar an t-substrate. San fharsaingeachd, bidh ionization gas air a thoirt a-mach le sgaoileadh gas, agus bidh na h-ianan dearbhach a’ spreadhadh an targaid catod aig astar àrd fo ghnìomhachd raon dealain, a ’toirt a-mach dadaman no moileciuilean an targaid catod, agus ag itealaich gu uachdar an t-substrate airson a thasgadh ann am film.Simply speaking, bidh còmhdach sputtering a’ cleachdadh sgaoilidh glaodh gas inert le cuideam ìosal gus ions a ghineadh.
San fharsaingeachd, tha an uidheamachd plating film sputtering uidheamaichte le dà electrod ann an seòmar sgaoilidh falamh, agus tha an targaid catod air a dhèanamh suas de dhàta còmhdach. Tha an seòmar falamh air a lìonadh le gas argon le cuideam de 0.1 ~ 10Pa. Bidh sgaoileadh glow a’ tachairt aig a’ chatod fo ghnìomh bholtaids àrd àicheil de 1 ~ 3kV dc no bholtadh rf de 13.56mhz. Bidh ions Argon a’ bualadh air uachdar an targaid agus ag adhbhrachadh gum bi na h-ataman targaid sputtered a’ cruinneachadh air an t-substrate.
二 、 Feartan sgilean còmhdach sputtering
1 、 astar cruachadh luath
Is e an eadar-dhealachadh eadar an electrod sputtering magnetron àrd-astar agus an dealan sputtering dà ìre traidiseanta gu bheil an magnet air a rèiteachadh fon targaid, agus mar sin tha an raon magnetach neo-chòmhnard dùinte a ’tachairt air uachdar an targaid. den raon magnetach heterogeneous. Mar thoradh air a’ bhuaidh fòcas, bidh na dealanan a’ teicheadh nas lugha. Bidh an raon magnetach heterogeneous a ’dol timcheall an uachdar targaid, agus bidh na dealanan àrd-sgoile a chaidh an glacadh anns an raon magnetach heterogeneous a’ bualadh leis na moileciuilean gas a-rithist agus a-rithist, a leasaicheas ìre tionndaidh àrd nam moileciuilean gas. comasach air èifeachdas còmhdach math fhaighinn, le feartan sgaoilidh air leth math.
2 、 Tha teòthachd an t-substrate ìosal
Sputtering magnetron àrd-astar, ris an canar cuideachd sputtering teòthachd ìosal. Is e an t-adhbhar gu bheil an inneal a 'cleachdadh sgaoilidhean ann an raon de raointean electromagnetic a tha dìreach ri chèile. Na dealanan àrd-sgoile a tha a 'nochdadh air taobh a-muigh an targaid, anns a chèile. Fo ghnìomhachd raon electromagnetic dìreach, tha e air a cheangal faisg air uachdar an targaid agus a ’gluasad air adhart air an raon-laighe ann an loidhne rollaidh cruinn, a’ bualadh a-rithist an-aghaidh na moileciuilean gas gus na moileciuilean gas a ionachadh. buillean cunbhalach, gus an tèid an lùth aca a chall cha mhòr gu tur mus urrainn dhaibh teicheadh bho uachdar an targaid faisg air an t-substrate. Leis gu bheil lùth nan dealanan cho ìosal, chan eil teòthachd an targaid ag èirigh ro àrd. Tha sin gu leòr airson cuir an-aghaidh an àrdachadh ann an teòthachd an t-substrate a tha air adhbhrachadh le spreadhadh dealanach àrd-lùth de dhealbh diode àbhaisteach, a chuireas crìoch air an cryogenization.
3, Raon farsaing de structaran membran
Tha structar fhilmichean tana a gheibhear le falmhachadh falamh agus tasgadh stealladh gu math eadar-dhealaichte bhon fhear a gheibhear le bhith a’ tanachadh mòr-sholaid. Eu-coltach ris na solidan a th’ ann mar-thà, a tha gu ìre mhòr air an seòrsachadh mar an aon structar ann an trì tomhasan, tha na filmichean a chaidh a thasgadh anns an ìre gas air an seòrsachadh mar structaran ioma-ghnèitheach. Tha na filmichean tana colbh agus faodar an sgrùdadh le bhith a’ sganadh miocroscop dealanach. Tha fàs colbh an fhilm air adhbhrachadh le uachdar convex tùsail an t-substrate agus beagan faileasan ann am pàirtean follaiseach an t-substrate. Ach, tha cumadh agus meud a’ cholbh gu math eadar-dhealaichte air sgàth teòthachd an t-substrate, sgapadh uachdar dadaman cruachan, tiodhlacadh dadaman neo-chunbhalachd agus an tachartas Ceàrn de dadaman tachartais an coimeas ri uachdar an t-substrate. Anns an raon teòthachd cus, tha structar snàithleach aig an fhilm tana, dùmhlachd àrd, air a dhèanamh suas de chriostalan colbh grinn, a tha na structar sònraichte den fhilm sputtering.
Bidh cuideam sputtering agus astar cruachadh film cuideachd a’ toirt buaidh air structar an fhilm. Leis gu bheil buaidh aig moileciuilean gas a bhith a’ cuir stad air sgaoileadh dadaman air uachdar an t-substrate, tha buaidh cuideam sputtering àrd freagarrach airson tuiteam teòthachd an t-substrate anns a’ mhodail. Mar sin, gheibhear filmichean porous anns a bheil gràinean mìn le cuideam àrd sputtering. Tha am film beag gràin seo freagarrach airson lubrication, caitheamh caitheamh, cruadhachadh uachdar agus tagraidhean meacanaigeach eile.
4 、 Cuir air dòigh composition gu cothromach
Stuthan, measgachaidhean, aloidhean, msaa, a tha gu math duilich a bhith air an còmhdach le falmhachadh falamh leis gu bheil cuideaman bhalbhaichean nan co-phàirtean eadar-dhealaichte no leis gu bheil iad ag eadar-dhealachadh nuair a thèid an teasachadh. don t-substrate, san t-seagh seo tha sgilean dèanamh fhilmichean nas foirfe. Faodar a h-uile seòrsa stuth a chleachdadh ann an cinneasachadh còmhdach gnìomhachais le bhith a ’spùtadh.
Ùine puist: Giblean-29-2022