1, ullachadh sputtering
Tha e glè chudromach an seòmar falamh a chumail, gu sònraichte an siostam sputtering glan. Cruinnichidh fuigheall sam bith a thèid a chruthachadh le ola lubaidh, duslach agus còmhdach roimhe seo ceò uisge agus truailleadh eile, a bheir buaidh dhìreach air an ìre falamh agus a mheudaicheas comas fàilligeadh cruthachadh film. Bidh cuairt ghoirid no sreap targaid, uachdar film garbh agus cus susbaint truailleadh ceimigeach gu tric air adhbhrachadh le seòmar sputtering neòghlan, gunna sputtering agus targaid. Gus cumail ri feartan co-dhèanamh a 'chòmhdaich, feumar an gas sputtering (argon no ocsaidean) a ghlanadh agus a thiormachadh. Às deidh an t-substrate a chuir a-steach anns an t-seòmar sputtering, feumar an èadhar a thoirt a-mach gus am falamh a ruighinn a tha riatanach leis a ’phròiseas. Feumar an còmhdach dìon anns an àite dorcha, balla caise agus uachdar ri thaobh a chumail glan cuideachd. Nuair a bhios sinn a’ glanadh an t-seòmar falamh, tha sinn a’ moladh a bhith a’ cleachdadh spreadhadh peilear glainne gus na pàirtean duslach a làimhseachadh, còmhla ri èadhar teann gus na fuigheall sputtering tràth timcheall an t-seòmair a thoirt air falbh, agus an uairsin snas a chuir air an uachdar a-muigh gu sàmhach le pàipear-gainmhich làn alùmanum. An dèidh a bhith a 'bleith a' phàipear uinne, thèid a ghlanadh le deoch làidir, acetone agus uisge deionized. Còmhla, tha e a’ moladh cleachdadh inneal-glanaidh gnìomhachais airson glanadh cuideachaidh. Tha na targaidean a rinn Gaozhan metal air am pacadh ann am pocannan plastaig falamh,
Air a thogail ann an àidseant dìon-taise. Nuair a chleachdas tu an targaid, feuch nach cuir thu fios chun targaid gu dìreach le do làimh. Nota: nuair a bhios tu a’ cleachdadh an targaid, feuch an cuir thu ort miotagan cumail suas glan agus gun lint. Na suathadh gu dìreach ris an targaid le do làmhan
2 、 Glanadh targaid
Is e adhbhar glanadh targaid an duslach no an salachar a dh’ fhaodadh a bhith air uachdar an targaid a thoirt air falbh.
Faodar an targaid meatailt a ghlanadh ann an ceithir ceumannan,
Is e a’ chiad cheum glanadh le clò bog gun lint air a bogadh ann an acetone;
Tha an dàrna ceum coltach ris a 'chiad cheum, glanadh le deoch làidir;
Ceum 3: glan le uisge deionized. An dèidh a nighe le uisge deionized, cuir an targaid san àmhainn agus tiormaich e aig 100 ℃ airson 30 mionaid.
Thèid glanadh thargaidean ogsaid agus ceirmeag a dhèanamh le “aodach gun lint”.
Is e an ceathramh ceum an targaid a nighe le argon le cuideam àrd agus gas uisge ìosal às deidh dhut an raon dusty a thoirt air falbh, gus a h-uile gràin neo-chunbhalachd a thoirt air falbh a dh’ fhaodadh a bhith na arc san t-siostam sputtering.
3, inneal targaid
Ann am pròiseas stàladh targaid, is e ceumannan cudromach Z dèanamh cinnteach gu bheil deagh cheangal giùlan teirmeach eadar an targaid agus balla fuarachaidh a ’ghunna sputtering. Ma tha duilleag-cogaidh an t-slat fuarachaidh dona no ma tha duilleag-cogaidh a 'phlàta cùil dona, bidh an inneal targaid a' sgàineadh no a 'lùbadh, agus bidh buaidh mhòr air an giùlan teirmeach bhon targaid cùil chun targaid, agus mar thoradh air sin bidh an teas a' fàilligeadh. sa phròiseas sputtering, agus thèid an targaid a sgàineadh no a chall
Gus dèanamh cinnteach à giùlan teirmeach, faodar còmhdach de phàipear grafait a phasgadh eadar am balla fuarachaidh catod agus an targaid. Feuch an toir thu an aire gus sgrùdadh a dhèanamh gu faiceallach agus dèanamh soilleir dè cho rèidh sa tha balla fuarachaidh a’ ghunna sputtering a thathas a ’cleachdadh gus dèanamh cinnteach gu bheil an O-ring an-còmhnaidh na àite.
Leis gu bheil glainead an uisge fuarachaidh a thathar a ’cleachdadh agus an duslach a dh’ fhaodadh tachairt ri linn obrachadh an uidheamachd air a thasgadh anns an tanca uisge fuarachaidh catod, feumar sgrùdadh agus glanadh an tanca uisge fuarachaidh catod nuair a bhios tu a ’stàladh an targaid gus dèanamh cinnteach gu bheil e rèidh. cuairteachadh uisge fuarachaidh agus nach tèid an t-slighe a-steach agus a-mach a bhacadh.
Thathas an dùil gum bi àite beag aig cuid de chatodes leis an anod, agus mar sin nuair a thathar a’ stàladh an targaid, feumar dèanamh cinnteach nach eil suathadh no stiùiriche eadar an catod agus an anod, air neo bidh cuairt ghoirid ann.
Thoir sùil air Leabhar-làimhe gnìomhaiche an uidheamachd airson fiosrachadh air mar a dh’ obraicheas tu an targaid gu ceart. Mura h-eil fiosrachadh mar sin ann an leabhar-làimhe an neach-cleachdaidh, feuch an stàlaich thu an inneal a rèir nam molaidhean iomchaidh a thug Gaozhan metal seachad. Nuair a bhios tu a 'teannachadh an inneal targaid, an-toiseach teannaich aon bholt le làimh, agus an uairsin teann bolt eile air a' chòmhnard le làimh. Dèan seo a-rithist gus am bi na boltaichean uile air an inneal air an teannachadh, agus an uairsin teannachadh le rudeigin.
4 、 Cuairt ghoirid agus sgrùdadh tightness
Às deidh an inneal targaid a chrìochnachadh, feumar sgrùdadh a dhèanamh air a’ chuairt ghoirid agus cho teann sa tha an catod gu lèir,
Thathas a’ moladh faighinn a-mach a bheil cuairt ghoirid anns a’ chatod le bhith a’ cleachdadh meatair dìon
Lethbhreith sreath. Às deidh dha dearbhadh nach eil cuairt ghoirid anns a’ chatod, faodar lorg aoidionachd a dhèanamh, agus faodar uisge a thoirt a-steach don chatod gus dearbhadh a bheil aodion uisge ann.
5 、 Targaid ro sputtering
Tha targaid ro sputtering a’ tagradh airson sputtering argon fìor, as urrainn uachdar an targaid a ghlanadh. Nuair a tha an targaid air a sputtered ro-làimh, thathas a’ moladh an cumhachd sputtering àrdachadh gu slaodach, agus is e ìre àrdachadh cumhachd targaid ceirmeag 1.5WH / cm2. Faodaidh astar ro-sputtering targaid meatailt a bhith nas àirde na astar bloc targaid ceirmeach, agus is e ìre àrdachadh cumhachd reusanta 1.5WH / cm2.
Ann am pròiseas sputtering ro-làimh, feumaidh sinn sgrùdadh a dhèanamh air suidheachadh an targaid. Mar as trice bidh an ùine ro-spùtadh timcheall air 10 mionaidean. Mura h-eil iongantas arcing ann, àrdaich an cumhachd sputtering gu leantainneach
Chun an cumhachd seata. A rèir eòlas, is e an cumhachd sputtering àrd Z de targaid meatailt iomchaidh
25watts / cm2, 10watts / cm2 airson targaid ceirmeag. Feuch an toir thu sùil air bunait suidheachaidh agus eòlas air cuideam seòmar falamh nuair a bhios tu a’ spùtadh ann an leabhar-làimhe obrachadh siostam an neach-cleachdaidh. San fharsaingeachd, bu chòir dèanamh cinnteach gum bu chòir teòthachd an uisge aig an ionad uisge fuarachaidh a bhith nas ìsle na 35 ℃, ach Z tha e cudromach dèanamh cinnteach gun obraich an siostam cuairteachaidh uisge fuarachaidh gu h-èifeachdach
Bidh cuairteachadh luath uisge supercooling a ’toirt air falbh teas, rud a tha na ghealladh cudromach gus dèanamh cinnteach à sputtering leantainneach le cumhachd àrd. Airson targaidean meatailt, thathar a 'moladh san fharsaingeachd gu bheil an sruth uisge fuarachaidh
Tha cuideam uisge 20lpm timcheall air 5gmp; Airson targaidean ceirmeag, sa chumantas thathar a’ moladh gur e 30lpm an sruth uisge agus gu bheil cuideam an uisge timcheall air 9gmp
6, cumail suas targaid
Gus casg a chuir air cuairteachadh goirid agus arcing air adhbhrachadh le cuas neòghlan sa phròiseas sputtering, feumar an sputter a tha cruinnichte sa mheadhan agus gach taobh den t-slighe sputtering a thoirt air falbh ann an ìrean,
Bidh seo cuideachd a’ cuideachadh luchd-cleachdaidh a bhith a’ spùtadh gu leantainneach aig z dùmhlachd cumhachd àrd
7 、 Stòradh targaid
Tha na targaidean a thug Gaozhan metal seachad air am pacadh ann am pocannan plastaig falamh dà-fhillte. Tha sinn a’ moladh gum bi luchd-cleachdaidh a’ cumail nan targaidean, ge bith an e meatailt no ceirmeag, ann am pasgan falamh. Gu sònraichte, feumar na targaidean ceangail a stòradh fo chumhachan falamh gus casg a chuir air oxidation an còmhdach ceangail bho bhith a’ toirt buaidh air càileachd ceangail. A thaobh pacadh targaidean meatailt, tha sinn a’ moladh gum bu chòir Z a bhith air a phacaigeadh ann am pocannan plastaig glan
Ùine puist: Cèitean-13-2022