Tha riatanasan àrda aig stuthan targaid sputtered aig àm cleachdaidh, chan ann a-mhàin airson purrachd agus meud mìrean, ach cuideachd airson meud gràin èideadh. Tha na riatanasan àrda sin a’ toirt oirnn barrachd aire a thoirt dhuinn nuair a bhios sinn a’ cleachdadh stuthan targaid sputtering.
1. Ullachadh sputtering
Tha e glè chudromach cumail suas glainead an t-seòmair falamh, gu sònraichte an siostam sputtering. Faodaidh bealaidh, duslach, agus fuigheall sam bith bho chòmhdach a bh ’ann roimhe truailleadh leithid uisge a chruinneachadh, a’ toirt buaidh dhìreach air falamh agus a ’meudachadh an coltas gum bi film a’ fàiligeadh. Mar as trice bidh cuairtean goirid, targaidean, uachdar garbh a tha a’ cruthachadh film, agus cus neo-chunbhalachd ceimigeach air adhbhrachadh le seòmraichean sputtering neòghlan, gunnaichean agus targaidean.
Gus feartan co-dhèanamh a 'chòmhdaich a chumail suas, feumaidh an gas sputtering (argon no ocsaidean) a bhith glan agus tioram. Às deidh an t-substrate a chuir a-steach anns an t-seòmar sputtering, feumar èadhar a thoirt a-mach gus an ìre falamh riatanach airson a ’phròiseas a choileanadh.
2. Glanadh targaid
Is e adhbhar glanadh targaid duslach no salachar sam bith a dh’ fhaodadh a bhith air uachdar an targaid a thoirt air falbh.
3. Stàladh targaid
Is e an rud as cudromaiche aire a thoirt dha rè pròiseas stàlaidh an stuth targaid dèanamh cinnteach gu bheil deagh cheangal teirmeach eadar an stuth targaid agus balla fuarachaidh a ’ghunna sputtering. Ma tha am balla fuarachaidh no an truinnsear cùil air a chogadh gu mòr, dh’ fhaodadh e sgàineadh no lùbadh adhbhrachadh nuair a thathar a’ stàladh an stuth targaid. Bidh buaidh mhòr air a’ ghluasad teas bhon targaid chùil chun stuth targaid, a’ ciallachadh nach bi e comasach teas a sgaoileadh nuair a bhios e a’ spùtadh, agus aig a’ cheann thall a’ leantainn gu sgàineadh no gluasad an stuth targaid.
4. Cuairt ghoirid agus sgrùdadh ròin
Às deidh an stuth targaid a chuir a-steach, feumar sgrùdadh a dhèanamh air a ’chuairt ghoirid agus an seulachadh den chatod gu lèir. Thathas a’ moladh ohmmeter agus megohmmeter a chleachdadh gus faighinn a-mach a bheil an catod air a chuairteachadh goirid. Às deidh dha dearbhadh nach eil an catod air a chuairteachadh goirid, faodar lorg aodion a dhèanamh le bhith a ’stealladh uisge a-steach don chatod gus faighinn a-mach a bheil aodion sam bith ann.
5. Stuth targaid ro sputtering
Thathas a’ moladh gas argon fìor-ghlan a chleachdadh airson an stuth targaid a spùtadh ro-làimh, as urrainn uachdar an stuth targaid a ghlanadh. Thathas a’ moladh an cumhachd sputtering àrdachadh gu slaodach tron phròiseas ro-sputtering airson an stuth targaid. Cumhachd an stuth targaid ceirmeach
Ùine puist: Dàmhair 19-2023