Prionnsabal còmhdach falamh

Tha còmhdach falamh a ’toirt iomradh air teasachadh agus falmhachadh an stòr falmhachaidh ann am falamh no sputtering le spreadhadh ian luathaichte, agus a thasgadh air uachdar an t-substrate gus film aon-fhilleadh no ioma-fhilleadh a chruthachadh. Dè a th’ ann am prionnsapal còmhdach falamh? An ath rud, bheir neach-deasachaidh RSM a-steach dhuinn e.

　　1. Vacuum evaporation còmhdach

Tha còmhdach falmhachaidh ag iarraidh gum bu chòir an astar eadar na moileciuilean bhalbhaichean no na dadaman bhon stòr falmhachaidh agus an t-substrate a bhith air a chòmhdach a bhith nas lugha na slighe cuibheasach an-asgaidh nam moileciuilean gas a tha air fhàgail anns an t-seòmar còmhdaich, gus dèanamh cinnteach gu bheil na moileciuilean bhalbhaichean den faodaidh falmhachadh uachdar an t-substrate a ruighinn gun a bhith a’ bualadh. Dèan cinnteach gu bheil am film fìor-ghlan agus daingeann, agus nach bi an falmhachadh a 'oxidachadh.

　　2. Vacuum sputtering còmhdach

Ann am falamh, nuair a bhios na h-ianan luathaichte a 'bualadh air a' chruaidh, air an aon làimh, tha an criostal air a mhilleadh, air an làimh eile, bidh iad a 'bualadh air na h-ataman a tha a' dèanamh suas a 'chriostail, agus mu dheireadh tha na dadaman no na molecolalan air uachdar an t-solus. sputter a-muigh. Tha an stuth sputtered air a phlàstadh air an t-substrate gus film tana a chruthachadh, ris an canar plating sputter falamh. Tha mòran dhòighean sputtering ann, am measg sin is e sputtering diode am fear as tràithe. A rèir targaidean catod eadar-dhealaichte, faodar a roinn ann an sruth dhìreach (DC) agus tricead àrd (RF). Canar ìre sputtering ris an àireamh de dadaman a tha air an spùtadh le bhith a’ toirt buaidh air an uachdar targaid le ian. Le ìre sputtering àrd, tha astar cruthachadh film luath. Tha an ìre sputtering co-cheangailte ris an lùth agus an seòrsa ions agus an seòrsa stuth targaid. San fharsaingeachd, tha an ìre sputtering ag àrdachadh leis an àrdachadh ann an lùth ian daonna, agus tha ìre sputtering de mheatailtean prìseil nas àirde.