Feumaidh sinn a bhith gu math eòlach air an targaid a-nis, a-nis tha am margadh targaid a 'dol am meud cuideachd, is e na leanas dè am prìomh choileanadh targaid sputtering air a cho-roinn le neach-deasachaidh bho RSM
An purrachd
Is e purrachd stuthan targaid aon de na prìomh chlàran coileanaidh, oir tha purrachd stuthan targaid a ’toirt buaidh mhòr air coileanadh film tana. Ach, ann an cleachdadh practaigeach, chan eil riatanasan purrachd stuthan targaid mar an ceudna. Mar eisimpleir, le leasachadh luath air a 'ghnìomhachas microelectronics, chaidh meud chip silicon a leasachadh bho 6 ", 8" gu 12 ″, agus chaidh leud an uèiridh a lùghdachadh bho 0.5um gu 0.25um, 0.18um no eadhon 0.13um. Roimhe sin, faodaidh purrachd stuth targaid 99.995% coinneachadh ri riatanasan pròiseas 0.35umIC. Is e purrachd an stuth targaid 99.999% no eadhon 99.9999% airson loidhnichean 0.18um ullachadh.
Neo-dhìomhaireachd susbaint
Is e na neo-chunbhalachd anns an t-slat targaid agus an ogsaidean agus an uisge anns na pores na prìomh stòran truailleadh airson tasgadh film. Tha riatanasan eadar-dhealaichte aig stuthan targaid airson diofar adhbharan airson diofar shusbaint neo-chunbhalachd. Mar eisimpleir, tha riatanasan sònraichte aig targaidean fìor-ghlan alùmanum agus alùmanum a thathar a’ cleachdadh ann an gnìomhachas semiconductor airson susbaint mheatailtean alkali agus eileamaidean rèidio-beò.
An dùmhlachd
Gus an porosity anns an targaid chruaidh a lughdachadh agus coileanadh an fhilm sputtering a leasachadh, mar as trice bidh feum air dùmhlachd àrd den targaid. Tha dùmhlachd an targaid a’ toirt buaidh chan ann a-mhàin air an ìre sputtering ach cuideachd air feartan dealain is optigeach an fhilm. Mar as àirde an dùmhlachd targaid, is ann as fheàrr a bhios coileanadh film. A bharrachd air an sin, le bhith ag àrdachadh dùmhlachd agus neart an targaid bidh an targaid a ’seasamh nas fheàrr ri cuideam teirmeach sa phròiseas sputtering. Tha dùmhlachd cuideachd mar aon de na prìomh chlàran coileanaidh targaid.
Meud gràin agus cuairteachadh meud gràin
Mar as trice tha an targaid polycrystalline le meud gràin a ’dol bho mhicrimeter gu millimeter. Airson an aon targaid, tha ìre sputtering an targaid le gràinean beaga nas luaithe na an targaid le gràinean mòra. Tha cuairteachadh tighead nam filmichean a chaidh a thasgadh le sputtering targaid le eadar-dhealachadh meud gràin nas lugha (sgaoileadh èideadh) nas èideadh.
Ùine puist: Lùnastal-04-2022