Mar a tha fios againn uile, bidh falmhachadh falamh agus sputtering ian air an cleachdadh gu cumanta ann an còmhdach falamh. Dè an diofar eadar còmhdach falmhachaidh agus còmhdach sputtering? An ath rud, bidh na h-eòlaichean teignigeach bho RSM a’ roinn leinn.
Is e còmhdach falmhachaidh falamh an stuth a theasachadh gu bhith air a ghluasad gu teòthachd sònraichte le bhith a’ teasachadh an aghaidh no giùlan dealanach agus spreadhadh laser ann an àrainneachd le ìre falamh nach eil nas ìsle na 10-2Pa, gus am bi lùth crathaidh teirmeach moileciuilean no tha na dadaman anns an stuth nas àirde na lùth ceangail an uachdar, gus am bi àireamh mhòr de mholacilean no dadaman a’ falmhachadh no a’ sublimate, agus a’ sileadh gu dìreach air an t-substrate gus film a chruthachadh. Bidh còmhdach sputtering ian a ’cleachdadh gluasad àrd-astar de ions dearbhach a thig bho sgaoileadh gas fo ghnìomhachd raon dealain gus an targaid a spreadhadh mar an catod, gus am bi dadaman no moileciuilean anns an targaid a’ teicheadh agus a ’sileadh gu uachdar a’ phìos obrach plated gus a chruthachadh am film a tha a dhìth.
Is e an dòigh as cumanta airson còmhdach falmhachaidh falamh teasachadh an aghaidh, aig a bheil na buannachdan bho structar sìmplidh, cosgais ìosal agus obrachadh goireasach; Is e an ana-cothrom nach eil e freagarrach airson meatailtean teasairginn agus stuthan dielectric a tha an aghaidh teòthachd àrd. Faodaidh teasachadh beam dealanach agus teasachadh laser faighinn thairis air easbhaidhean teasachadh dìon. Ann an teasachadh beam dealanach, thathas a’ cleachdadh an giùlan dealanach cuimsichte gus an stuth bombarded a theasachadh gu dìreach, agus bidh lùth cinneachail an beam dealanach gu bhith na lùth teas, a bheir air an stuth falmhachadh. Bidh teasachadh laser a ’cleachdadh leusair àrd-chumhachd mar an stòr teasachaidh, ach air sgàth cosgais àrd leusair àrd-chumhachd, chan urrainnear a chleachdadh ach ann am beagan deuchainn-lannan rannsachaidh an-dràsta.
Tha teicneòlas sputtering eadar-dhealaichte bho theicneòlas falmhachaidh falamh. Tha “Sputtering” a’ toirt iomradh air an iongantas a bhios a’ togail ghràineanan a’ spreadhadh an uachdar cruaidh (targaid) agus a’ toirt air dadaman cruaidh no moileciuilean losgadh a-mach às an uachdar. Tha a’ mhòr-chuid de na mìrean a chaidh a leigeil ma sgaoil ann an staid atamach, ris an canar gu tric dadaman sputtered. Faodaidh na mìrean sputtered a thathas a’ cleachdadh airson an targaid a spreadhadh a bhith nan dealanan, ions no mìrean neodrach. Leis gu bheil ianan furasta an luathachadh fon raon dealain gus an lùth cineatach a tha a dhìth fhaighinn, bidh a’ mhòr-chuid dhiubh a’ cleachdadh ions mar ghràineanan air am bomadh. Tha pròiseas sputtering stèidhichte air sgaoileadh glow, is e sin, bidh ianan sputtering a’ tighinn bho sgaoileadh gas. Bidh diofar theicneòlasan sputtering a’ gabhail ri diofar mhodhan sgaoilidh glaodh. Bidh sputtering diode DC a’ cleachdadh sgaoileadh glow DC; Is e sgaoileadh glaodh a th’ ann an sputtering triode le taic bho chatod teth; Bidh sputtering RF a 'cleachdadh sgaoileadh glow RF; Is e sgaoileadh glaodh a th’ ann an sputtering Magnetron a tha fo smachd raon magnetach annular.
An coimeas ri còmhdach falmhachaidh falamh, tha mòran bhuannachdan aig còmhdach sputtering. Mar eisimpleir, faodar stuth sam bith a spùtadh, gu h-àraidh eileamaidean agus coimeasgaidhean le ìre leaghaidh àrd agus cuideam ìosal vapor; Tha an ceangal eadar film sputtered agus substrate math; Dùmhlachd film àrd; Faodar smachd a chumail air tiugh an fhilm agus tha an ath-aithris math. Is e an ana-cothrom gu bheil an uidheamachd iom-fhillte agus feumach air innealan bholtachd àrd.
A bharrachd air an sin, tha an cothlamadh de dhòigh falmhachaidh agus dòigh sputtering mar ian plating. Is e buannachdan an dòigh seo gu bheil ceangal làidir aig an fhilm a gheibhear leis an t-substrate, ìre tasgaidh àrd agus dùmhlachd film àrd.
Ùine puist: Iuchar-20-2022