Mar a tha fios againn uile, is e na dòighean a thathas a’ cleachdadh gu cumanta ann an còmhdach falamh gluasad falamh agus sputtering ian. Dè an diofar eadar còmhdach gluasaid agus còmhdach sputtering Mòrandhaoine tha ceistean mar sin agad. Nach roinn sinn riut an eadar-dhealachadh eadar còmhdach gluasaid agus còmhdach sputtering
Is e film gluasaid falamh an dàta a theasachadh gus a bhith gluasad gu teòthachd stèidhichte le bhith a’ teasachadh an aghaidh no giùlan dealanach agus rùsgadh laser ann an àrainneachd le ìre falamh nach eil nas lugha na 10-2Pa, gus am bi lùth crathaidh teirmeach moileciuilean no tha dadaman anns an dàta nas àirde na lùth ceangail an uachdar, gus am bi mòran mholacilean no dadaman a’ gluasad no ag àrdachadh, agus gan tasgadh gu dìreach air an t-substrate gus film a chruthachadh. Bidh còmhdach sputtering ian a’ cleachdadh gluasad àrd ath-aithris de ions dearbhach a thig bho sgaoileadh gas fo bhuaidh raon dealain gus an targaid a spreadhadh mar an catod, gus am bi na dadaman no na moileciuilean anns an targaid a’ teicheadh agus a ’tasgadh air uachdar a’ phìos obrach plated gus a chruthachadh am film a tha a dhìth.
Is e an dòigh as cumanta airson còmhdach gluasaid falamh an dòigh teasachaidh aghaidh. Is e na buannachdan aige structar sìmplidh stòr teasachaidh, cosgais ìosal agus obrachadh goireasach. Is e na h-eas-bhuannachdan a th 'ann nach eil e freagarrach airson meatailtean teas-teasairginn agus meadhanan àrd-teodhachd. Faodaidh teasachadh beam dealanach agus teasachadh laser faighinn thairis air na h-eas-bhuannachdan a tha an lùib teasachadh dìon. Ann an teasachadh beam dealanach, thathas a’ cleachdadh an beam dealanach cuimsichte gus an dàta sgeilpichte a theasachadh gu dìreach, agus bidh lùth cinneachail an beam dealanach gu bhith na lùth teas gus an dàta a ghluasad. Bidh teasachadh laser a ’cleachdadh leusair àrd-chumhachd mar an stòr teasachaidh, ach air sgàth cosgais àrd leusair àrd-chumhachd, chan urrainnear a chleachdadh ach ann an àireamh bheag de obair-lann rannsachaidh.
Tha sgil sputtering eadar-dhealaichte bho sgil gluasaid falamh. Tha sputtering a’ toirt iomradh air an iongantas a chuir gràinean air ais gu uachdar (targaid) a’ chuirp, gus am bi dadaman cruaidh no moileciuilean air an leigeil a-mach bhon uachdar. Tha a’ mhòr-chuid de na mìrean a tha air an leigeil ma sgaoil atamach, ris an canar gu tric dadaman sputtered. Faodaidh mìrean sputtered a thathas a’ cleachdadh airson targaidean rùsgaidh a bhith nan dealanan, ions no mìrean neodrach. Leis gu bheil ianan furasta an lùth cineatach a tha a dhìth fhaighinn fo raon dealain, tha ions mar as trice air an taghadh mar mhìrean rùsgaidh.
Tha am pròiseas sputtering stèidhichte air sgaoileadh glow, is e sin, tha na h-ianan sputtering a’ tighinn bho sgaoileadh gas. Tha diofar dhòighean sgaoilidh glaodh aig diofar sgilean sputtering. Bidh sputtering diode DC a’ cleachdadh sgaoileadh glow DC; Is e sgaoileadh glaodh a th’ ann an sputtering triode le taic bho chatod teth; Bidh sputtering RF a 'cleachdadh sgaoileadh glow RF; Is e sgaoileadh glaodh a th’ ann an sputtering Magnetron a tha fo smachd raon magnetach annular.
An coimeas ri còmhdach gluasaid falamh, tha mòran bhuannachdan aig còmhdach sputtering. Ma ghabhas stuth sam bith a spùtadh, gu h-àraidh eileamaidean agus coimeasgaidhean le ìre leaghaidh àrd agus cuideam ìosal vapor; Tha an ceangal eadar film sputtered agus substrate math; Dùmhlachd film àrd; Faodar smachd a chumail air tiugh an fhilm agus tha an ath-aithris math. Is e an ana-cothrom gu bheil an uidheamachd iom-fhillte agus feumach air innealan bholtachd àrd.
A bharrachd air an sin, tha an cothlamadh de dhòigh gluasaid agus dòigh sputtering mar ian plating. Is e buannachdan an dòigh seo adhesion làidir eadar am film agus an t-substrate, ìre tasgaidh àrd agus dùmhlachd àrd an fhilm.
Ùine puist: Cèitean-09-2022