Anns na bliadhnachan mu dheireadh, le adhartas teicneòlas cuairteachaidh aonaichte (IC), chaidh na cleachdaidhean co-cheangailte de chuairtean amalaichte a leasachadh gu luath. Tha targaid sputtering alloy alùmanum fìor-ghlan fìor àrd, mar stuth taiceil ann an saothrachadh eadar-cheangail meatailt cuairteachaidh amalaichte, air a thighinn gu bhith na chuspair teth ann an rannsachadh dachaigheil o chionn ghoirid. seallaidh neach-deasachaidh RSM dhuinn feartan targaid sputtering alloy alùmanum fìor-ghlan.
Gus tuilleadh leasachaidh a dhèanamh air èifeachdas sputtering targaid magnetron sputtering agus dèanamh cinnteach à càileachd filmichean tasgaidh, tha àireamh mhòr de dheuchainnean a ’sealltainn gu bheil riatanasan sònraichte ann airson co-dhèanamh, microstructure agus stiùireadh gràin targaid sputtering alloy alùmanum fìor-ghlan ultra-àrd.
Tha buaidh mhòr aig meud gràin agus stiùireadh gràin an targaid air ullachadh agus feartan fhilmichean IC. Tha na toraidhean a 'sealltainn gu bheil an ìre tasgaidh a' lùghdachadh le àrdachadh meud gràin; Airson an targaid sputtering leis an aon cho-dhèanamh, tha ìre sputtering an targaid le meud gràin beag nas luaithe na an targaid le meud gràin mòr; Mar as èideadh meud gràin an targaid, is ann as èideadh a bhios cuairteachadh tiugh nam filmichean tasgaidh.
Fo na h-aon ionnstramaid sputtering agus paramadairean pròiseas, tha an ìre sputtering de targaid Al Cu alloy ag àrdachadh leis an àrdachadh ann an dùmhlachd atamach, ach sa chumantas tha e seasmhach ann an raon. Tha buaidh meud gràin air ìre sputtering mar thoradh air atharrachadh dùmhlachd atamach le atharrachadh meud gràin; Tha an ìre tasgaidh gu ìre mhòr a’ toirt buaidh air stiùireadh gràin targaid Al Cu alloy. Air bunait dèanamh cinnteach gu bheil a 'chuibhreann de phlèanaichean criostail (200), àrdaichidh àrdachadh a' chuibhreann de phlèanaichean criostail (111), (220) agus (311) an ìre tasgaidh.
Tha meud gràin agus stiùireadh gràin de thargaidean alùmanum fìor-ghlan ultra-àrd air an atharrachadh agus air an smachdachadh le homogenization ingot, obrachadh teth agus ath-chriostalachadh annealing. Le leasachadh meud wafer gu 20.32cm (8in) agus 30.48cm (12in), tha meud an targaid a’ dol am meud cuideachd, a tha a’ cur air adhart riatanasan nas àirde airson targaidean sputtering alloy alùmanum fìor-ghlan. Gus dèanamh cinnteach à càileachd film agus toradh, feumar smachd teann a chumail air na paramadairean giollachd targaid gus am bi am meanbh-structar targaid èideadh agus feumaidh inneach plèana làidir (200) agus (220) a bhith aig an stiùireadh gràin.
Ùine puist: Jun-30-2022