O chionn ghoirid, dh 'fhaighnich mòran charaidean mu fheartan targaidean sputtering molybdenum. Anns a 'ghnìomhachas dealanach, gus èifeachdas sputtering a leasachadh agus dèanamh cinnteach à càileachd filmichean tasgaidh, dè na riatanasan a th' ann airson feartan targaidean sputtering molybdenum? A-nis mìnichidh na h-eòlaichean teignigeach bho RSM dhuinn e.
1. Purity
Tha fìor-ghlanachd na riatanas bunaiteach airson targaid sputtering molybdenum. Mar as àirde purrachd targaid molybdenum, is ann as fheàrr a bhios coileanadh film sputtered. San fharsaingeachd, bu chòir purrachd targaid sputtering molybdenum a bhith co-dhiù 99.95% (mòr bloigh, an aon rud gu h-ìosal). Ach, le leasachadh leantainneach air meud an t-substrate glainne ann an gnìomhachas LCD, feumar fad an uèirleadh a leudachadh agus feumaidh an loidhne lìn a bhith nas taine. Gus dèanamh cinnteach à èideadh an fhilm agus càileachd an uèirleadh, feumar purrachd an targaid sputtering molybdenum àrdachadh a rèir sin. Mar sin, a rèir meud an t-substrate glainne sputtered agus an àrainneachd cleachdaidh, feumaidh purrachd targaid sputtering molybdenum a bhith 99.99% - 99.999% no eadhon nas àirde.
Thathas a’ cleachdadh targaid sputtering molybdenum mar stòr catode ann an sputtering. Is e neo-chunbhalachd ann an cruaidh agus ocsaidean agus bhalbhaichean uisge ann am pores na prìomh stòran truailleadh de fhilmichean tasgaidh. A bharrachd air an sin, anns a ’ghnìomhachas dealanach, leis gu bheil ianan meatailt alkali (Na, K) furasta a bhith nan ions gluasadach anns an ìre insulation, tha coileanadh an inneal tùsail air a lughdachadh; Bidh eileamaidean leithid uranium (U) agus titanium (TI) air an leigeil ma sgaoil α X-ray, agus mar thoradh air sin bidh innealan a 'briseadh sìos bog; Bidh ions iarainn is nicil ag adhbhrachadh aodion eadar-aghaidh agus àrdachadh ann an eileamaidean ocsaidean. Mar sin, anns a 'phròiseas ullachaidh de thargaid sputtering molybdenum, feumar smachd teann a chumail air na h-eileamaidean neo-chunbhalachd sin gus an susbaint san targaid a lùghdachadh.
2. Meud gràin agus cuairteachadh meud
San fharsaingeachd, is e structar polycrystalline an targaid sputtering molybdenum, agus faodaidh meud gràin a bhith eadar micron gu millimeter. Tha na toraidhean deuchainneach a’ sealltainn gu bheil an ìre sputtering de thargaid gràin mìn nas luaithe na ìre targaid gràin garbh; Airson an targaid le eadar-dhealachadh meud gràin beag, tha cuairteachadh tiugh an fhilm tasgaidh cuideachd nas èideadh.
3. Treòrachadh criostal
Leis gu bheil e furasta na dadaman targaid a spùtadh gu fàbharach ri taobh an rèiteachaidh as fhaisge de dadaman anns an t-slighe sia-thaobhach aig àm sputtering, gus an ìre sputtering as àirde a choileanadh, bidh an ìre sputtering gu tric air àrdachadh le bhith ag atharrachadh structar criostail an targaid. Tha buaidh mhòr aig stiùir criostail an targaid cuideachd air èideadh tiugh an fhilm sputtered. Mar sin, tha e glè chudromach structar targaid sònraichte a tha stèidhichte air criostal fhaighinn airson pròiseas sputtering an fhilm.
4. Dùmhlachd
Ann am pròiseas còmhdach sputtering, nuair a thèid an targaid sputtering le dùmhlachd ìosal a bhomadh, thèid an gas a tha ann am pores a-staigh an targaid a leigeil ma sgaoil gu h-obann, agus mar thoradh air an sin bidh mìrean targaid no mìrean mòra a ’frasadh, no thèid an stuth film a spreadhadh. le dealanan àrd-sgoile às deidh cruthachadh film, a’ leantainn gu frasadh mìrean. Lùghdaichidh coltas nam mìrean sin càileachd an fhilm. Gus na pores anns an targaid chruaidh a lughdachadh agus coileanadh film a leasachadh, mar as trice feumar dùmhlachd àrd a bhith aig an targaid sputtering. Airson an targaid sputtering molybdenum, bu chòir an dùmhlachd coimeasach a bhith nas àirde na 98%.
5. Ceangal targaid agus chassis
San fharsaingeachd, feumaidh an targaid sputtering molybdenum a bhith ceangailte ris a ’chassis copar gun ogsaidean (no alùmanum agus stuthan eile) mus tèid a sputtering, gus am bi seoltachd teirmeach an targaid agus an chassis math tron phròiseas sputtering. Às deidh ceangaltach, feumar sgrùdadh ultrasonic a dhèanamh gus dèanamh cinnteach gu bheil an raon neo-cheangail den dà chuid nas lugha na 2%, gus coinneachadh ri riatanasan sputtering àrd-chumhachd gun tuiteam dheth.
Ùine puist: Iuchar-19-2022