cad iad na fachtóirí a théann i bhfeidhm ar an spriocchaighdeán

　 Le forbairt na teicneolaíochta tionsclaíochta, tá cáilíocht na spriocanna atá ag teastáil le haghaidh táirgeadh tionsclaíoch ag fáil níos airde agus níos airde freisin, toisc go mbíonn tionchar díreach ag cáilíocht na spriocanna ar fheidhmíocht scannáin sputtering magnetron.Sa lá atá inniu ann, is fearr le fiontair go ginearálta úsáid a bhaint as spriocanna ard-dlúis le struchtúr comhdhéanamh aonfhoirmeach le haghaidh sciath sputtering nuair a bhíonn spriocanna á gceannach acu, ionas go laghdófar an il fuála spriocanna agus feabhas a chur ar chaighdeán na bratuithe sputtering. Dá bhrí sin, éilíonn sé seo go ndéanfaidh monaróir an sprioc go docht. rialú a dhéanamh ar cháilíocht an target.Now lig eagarthóir BeijingRichmatgo dtuigeann tú cad iad na fachtóirí a théann i bhfeidhm ar cháilíocht an sprioc.

1、Tionchar na bparaiméadar próisis ar cháilíocht an sprioc

Áirítear ar pharaiméadair phróisis go príomha brú fuar-bhrú, luas brúchóirithe agus luas taispeána agus paraiméadair eile.Nuair a bhíonn an sprioc brúite fuar, beidh tionchar díreach ag an mbrú ar chaighdeán an sprioc bán;Tá tionchar mór ag an luas brú ar shrathú an sprioc bán, agus is é an stát tosaigh nuair a bhíonn an púdar líonta go haonfhoirmeach isteach sa mhúnla diúltach ná staid lax, a bhfuil go leor pores agus gáis ann, agus go dtógann urscaoileadh gás tréimhse de am.

2、Tá anTionchar múnla ar an spriocchaighdeán

Tá tionchar áirithe ag an múnla freisin ar fhoirmiú an sprioc bán. I measc na bpríomhfhachtóirí tionchair tá bailchríoch dromchla taobh istigh an mhúnla, an bhearna idir an punch agus an cavity múnla, etc., má tá an bhearna ró-mhór, beidh rith púdar agus sceitheadh ​​púdar ann, rud a fhágann go mbeidh an dlús imeallach de an bán íseal, agus fadhbanna cáilíochta mar imeall ag titim le linn demoulding.　

3、Éifeacht cion taise ábhartha ar cháilíocht an sprioc

　　Tá an taise atá i bpúdar an sprioc-ábhar comhionann le héifeacht an bhealaithe, agus féadann a láithreacht an frithchuimilt idir na cáithníní a laghdú, rud a chabhródh le tarchur éifeachtach brú fuarbhrúite, agus a chabhródh freisin le sciorradh réidh agus athshocrú idir na cáithníní púdar.Mar sin féin, nuair a bhíonn an t-ábhar uisce ró-bheag nó ró-iomarca, beidh tionchar aige ar chaighdeán an sprioc.

Nuair a bhíonn an t-ábhar uisce i bpúdar ITO níos lú ná 2%, méadófar go mór an dóchúlacht go mbeidh fadhbanna cáilíochta cosúil le caillteanas imeall agus dílamadh an sprioc-ábhar nuair a bhíonn coinníollacha eile cosúil le brú fuar-bhrú agus ábhar ceanglóra mar an gcéanna.Nuair a bheidh an t-uisce tá an t-ábhar i bpúdar ITO níos mó ná 10%, faoi na brú fuar céanna, ábhar ceanglóra agus coinníollacha eile, cé go sleamhnaíonn na cáithníní púdar agus go n-athshocraíonn siad níos éasca, scaoiltear uisce ón taobh istigh den mhúnla, rud a fhágann go mbeidh an fhadhb ag titim imill timpeall bhán an sprioc-ábhar.Léiríonn na torthaí, nuair a bhíonn cion uisce an phúdair idir 3% agus 6%, déantar cáilíocht an bhán a rialú go héifeachtach.

4、Éifeacht ábhar ceanglóra ar an spriocchaighdeán

　　Tá tionchar mór ag an méid ceanglóra atá ionchorpraithe ar cháilíocht an ábhair sprice. Nuair a bhíonn an méid ionchorprú níos lú ná 1%, beidh fadhb cháilíochta an-tromchúiseach ag an sprioc bán, ag an am seo, níl éifeacht an ceanglóra léirithe, agus níl mórán éifeacht aige maidir le feabhas a chur ar neart an sprioc blank.With méadú ar ionchorprú ceanglóra go 2% agus 3%, feabhsaítear neart an sprioc-ábhar, agus laghdaítear fadhb cáilíochta an sprioc-ábhar go mór. Mar sin féin, nuair a bhíonn an ceanglóra ionchorpraithe go 4%, cé go n-imíonn fadhb cáilíochta an fholamh fuarbhrúite den sprioc-ábhar, dílamaíonn an spriocábhar ó am go chéile le linn an phróisis scartála ina dhiaidh sin.