Is cruth ábhar speisialta é an scannán tanaí ar an sprioc brataithe. Sa treo sonrach tiús, tá an scála an-bheag, ar chainníocht intomhaiste micreascópach é. Ina theannta sin, mar gheall ar chuma agus comhéadan tiús scannáin, críochnaíonn leanúnachas ábhar, rud a fhágann go bhfuil airíonna coitianta éagsúla ag na sonraí scannáin agus na sonraí sprice.Agus is é an sprioc go príomha le húsáid sciath sputtering magnetron, déanfaidh eagarthóir Beijing Richmat dúinn a thuiscint. prionsabal agus scileanna na sciath sputtering.
、 Prionsabal na sciath sputtering
Is é scil sciath sputtering úsáid a bhaint as cuma sprioc bhlaoscáin ian, tá na sprioc-adamh buailte amach as an bhfeiniméan ar a dtugtar sputtering. Tugtar sciath sputtering ar na hadaimh a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit. Go ginearálta, déantar ianú gáis a tháirgeadh trí urscaoileadh gáis, agus déanann na hiain dhearfacha an sprioc catóide a bhuamáil ag luas ard faoi ghníomhaíocht réimse leictrigh, ag baint amach na hadaimh nó na móilíní den sprioc catóide, agus ag eitilt go dtí an dromchla an tsubstráit a thaisceadh isteach i scannán.Simply labhairt, úsáideann sciath sputtering brú íseal urscaoileadh Glow gáis támh támh chun hiain a ghiniúint.
Go ginearálta, tá an trealamh plating scannán sputtering feistithe le dhá leictreoid i ndlísheomra urscaoilte bhfolús, agus tá an sprioc catóide comhdhéanta de shonraí sciath. Tá an seomra folúis líonta le gás argón le brú 0.1~10Pa. Tarlaíonn urscaoileadh glow ag an gcatóid faoi ghníomhaíocht ardvoltais diúltach de 1 ~ 3kV dc nó voltas rf de 13.56mhz. Déanann iain Argón bombard ar an spriocdhromchla agus cuireann siad faoi deara na sprioc-adamh sputtered a charnadh ar an tsubstráit.
二, Saintréithe scileanna sciath sputtering
1, luas cruachta tapa
Is é an difríocht idir an leictreoid sputtering magnetron ardluais agus an leictreoid sputtering traidisiúnta dhá chéim ná go bhfuil an maighnéad socraithe faoi bhun an sprioc, agus mar sin tarlaíonn an réimse maighnéadach míchothrom dúnta ar dhromchla an sprioc. Tá fórsa lorentz ar na leictreoin i dtreo an ionaid. den réimse maighnéadach ilchineálach. Mar gheall ar an éifeacht fócasach, éalaíonn na leictreoin níos lú. Téann an réimse maighnéadach ilchineálach timpeall an spriocdhromchla, agus imbhuaileann na leictreoin tánaisteacha a gabhadh sa réimse maighnéadach ilchineálach leis na móilíní gáis arís agus arís eile, rud a fheabhsaíonn ráta comhshó ard na móilíní gáis. Mar sin, ídíonn an sputtering maighnéadrón ardluais ísealchumhachta, ach is féidir a fháil ar éifeachtacht sciath mór, le tréithe urscaoileadh idéalach.
2 、 Tá teocht an tsubstráit íseal
Sputtering magnetron ardluais, ar a dtugtar freisin sputtering teocht íseal. Is é an chúis atá leis ná go n-úsáideann an gléas scaoilte i spás réimsí leictreamaighnéadacha atá díreach dá chéile. Na leictreoin tánaisteacha a tharlaíonn ar an taobh amuigh den sprioc, i gceann a chéile. Faoi ghníomhaíocht réimse leictreamaighnéadach díreach, tá sé faoi cheangal in aice le dromchla an sprioc agus bogann sé ar feadh an rúidbhealaigh i líne rollta ciorclach, ag cnagadh arís agus arís eile i gcoinne na móilíní gáis chun na móilíní gáis a ianú. Le chéile, caillfidh na leictreoin féin a gcuid fuinnimh de réir a chéile, trí bumps arís agus arís eile, go dtí go bhfuil a gcuid fuinnimh beagnach go hiomlán caillte sular féidir leo éalú ó dhromchla an sprioc in aice leis an tsubstráit. Toisc go bhfuil fuinneamh na leictreon chomh híseal, ní ardaíonn teocht an sprioc ró-ard. Is leor sin chun dul i ngleic leis an ardú teochta tsubstráit de bharr bombardú leictreon ardfhuinnimh de ghnáth-lámhaigh dé-óid, rud a chríochnaíonn an crióiginiú.
3, raon leathan de struchtúir membrane
Tá struchtúr na scannán tanaí a fhaightear trí ghalú folúis agus sil-leagan insteallta an-difriúil ón struchtúr a fhaightear trí thanú solad mórchóir. I gcodarsnacht leis na solaid atá ann go ginearálta, atá aicmithe mar an struchtúr céanna go bunúsach i dtrí thoise, déantar na scannáin a thaisceadh sa chéim gháis a rangú mar struchtúir ilchineálacha.Tá na scannáin tanaí columnar agus is féidir iad a imscrúdú trí mhicreascópacht leictreon a scanadh. Tá fás columnar an scannáin de bharr dromchla dronnach bunaidh an tsubstráit agus cúpla scáthanna i gcodanna feiceálach an tsubstráit. Mar sin féin, tá cruth agus méid an cholúin difriúil go leor mar gheall ar theocht an tsubstráit, scaipeadh dromchla na n-adamh cruachta, adhlacadh na n-adamh eisíontais agus Uillinn na n-adamh teagmhais i gcoibhneas le dromchla an tsubstráit. Sa raon teochta iomarcach, tá struchtúr snáithíneach ag an scannán tanaí, ard-dlús, comhdhéanta de chriostail fhíneáil columnar, arb é struchtúr uathúil an scannáin sputtering.
Bíonn tionchar freisin ag brú sputtering agus luas cruachta scannáin ar struchtúr an scannáin. Toisc go bhfuil éifeacht ag móilíní gáis scaipeadh na n-adamh ar dhromchla an tsubstráit a shochtadh, tá éifeacht brú ard sputtering oiriúnach le haghaidh titim teocht an tsubstráit sa mhúnla. Dá bhrí sin, is féidir scannáin scagach ina bhfuil grán mín a fháil ag brú ard sputtering. Tá an scannán méid gráin beag seo oiriúnach le haghaidh lubrication, friotaíocht caitheamh, hardening dromchla agus feidhmeanna meicniúla eile.
4, Socraigh comhdhéanamh go cothrom
Comhdhúile, meascáin, cóimhiotail, etc, atá deacair go cuí a bheith brataithe ag galú bhfolús toisc go bhfuil an brú gaile de na comhpháirteanna éagsúla nó toisc go bhfuil siad idirdhealú nuair a heated.Sputtering modh sciath a dhéanamh ar an ciseal dromchla sprioc na n-adamh ciseal ag ciseal. leis an tsubstráit, sa chiall seo tá scileanna scannán níos foirfe a dhéanamh. Is féidir gach cineál ábhar a úsáid i dtáirgeadh sciath tionsclaíoch trí sputtering.
Am postála: Aibreán-29-2022