1, ullmhú sputtering
Tá sé an-tábhachtach an seomra folúis a choinneáil, go háirithe an córas sputtering glan. Baileoidh aon iarmhar a fhoirmítear trí ola bhealaithe, deannach agus sciath roimhe seo gal uisce agus truailleáin eile, rud a chuirfidh isteach go díreach ar chéim an fholús agus a mhéadóidh an fhéidearthacht go dtarlódh teip foirmithe scannáin. Is minic go mbíonn ciorcad gearr nó stua targaide, dromchla scannáin gharbh agus ábhar eisíontais cheimiceach iomarcach mar gheall ar seomra sputtering neamhghlan, gunna sputtering agus sprioc. D'fhonn cloí le saintréithe comhdhéanamh an sciath, is gá an gás sputtering (argón nó ocsaigine) a ghlanadh agus a thriomú. Tar éis an tsubstráit a shuiteáil sa seomra sputtering, is gá an t-aer a bhaint astu chun an fholús a theastaíonn ón bpróiseas a bhaint amach. Ní mór an clúdach sciath sa limistéar dorcha, balla cuas agus dromchla in aice a choinneáil glan freisin. Agus an seomra folúis á ghlanadh, molaimid úsáid a bhaint as pléascadh lámhaigh liathróid ghloine chun na codanna deannaigh a chóireáil, mar aon le haer comhbhrúite chun na hiarmhair sputtering luath timpeall an tseomra a bhaint, agus ansin snas go ciúin ar an dromchla seachtrach le páirín líonta alúmana. Tar éis an páipéar uige a snasú, déantar é a ghlanadh le halcól, aicéatón agus uisce dí-ianaithe. Le chéile, molann sé úsáid a bhaint as folúsghlantóir tionsclaíoch le haghaidh glanadh cúnta. Tá na spriocanna a tháirgtear ag miotail Gaozhan pacáilte i málaí plaisteacha séalaithe i bhfolús,
Tógtha i gníomhaire taise-cruthúnas. Agus an sprioc á úsáid agat, le do thoil ná déan teagmháil dhíreach leis an sprioc le do lámh. Tabhair faoi deara: agus an sprioc á úsáid agat, caith lámhainní cothabhála glan agus saor ó lint. Ná déan teagmháil dhíreach leis an sprioc riamh le do lámha
2, Glanadh spriocanna
Is é cuspóir an ghlanadh sprice ná an deannach nó an salachar a d'fhéadfadh a bheith ann ar dhromchla an sprice a bhaint.
Is féidir an sprioc miotail a ghlanadh i gceithre chéim,
Is é an chéad chéim a ghlanadh le lint éadach bog saor in aisce sáithithe in aicéatón;
Tá an dara céim cosúil leis an gcéad chéim, glanadh le halcól;
Céim 3: glan le huisce dí-ianaithe. Tar éis níocháin le huisce dí-ianaithe, cuir an sprioc san oigheann agus é a thriomú ag 100 ℃ ar feadh 30 nóiméad.
Déanfar na spriocanna ocsaíde agus ceirmeacha a ghlanadh le “éadach saor ó lint”.
Is é an ceathrú céim ná an sprioc a nigh le argón le brú ard agus gás uisce íseal tar éis an limistéar deannaigh a bhaint, ionas go mbainfidh na cáithníní eisíontais go léir a d'fhéadfadh stua a fhoirmiú sa chóras sputtering.
3, gléas sprioc
Sa phróiseas suiteála sprice, tá réamhchúraimí tábhachtacha Z chun nasc seoltacht teirmeach maith a chinntiú idir an sprioc agus balla fuaraithe an gunna sputtering. Má tá warpage an chlais fuaraithe dian nó má tá warpage an pláta ar ais go mór, beidh an gléas sprioc crack nó Bend, agus beidh an seoltacht teirmeach ón sprioc ar ais go dtí an sprioc isteach go mór, a eascraíonn i teip diomailt teasa. sa phróiseas sputtering, agus beidh an sprioc crack nó chailleann
D'fhonn an seoltacht theirmeach a áirithiú, is féidir sraith de pháipéar graifíte a phadáil idir an balla fuaraithe catóide agus an sprioc. Tabhair aird le do thoil a sheiceáil go cúramach agus soiléir a dhéanamh ar chomhréidh bhalla fuaraithe an gunna sputtering a úsáidtear chun a chinntiú go bhfuil an O-ring i gcónaí i bhfeidhm.
Ós rud é go ndéanfar glaineacht an uisce fuaraithe a úsáidtear agus an deannach a d'fhéadfadh a bheith ann le linn oibriú an trealaimh a thaisceadh san umar uisce fuaraithe catóide, is gá an umar uisce fuaraithe catóide a sheiceáil agus a ghlanadh nuair a shuiteáiltear an sprioc chun an réidh a chinntiú. scaipeadh uisce fuaraithe agus nach gcuirfear bac ar an inlet agus asraon.
Tá sé beartaithe go mbeadh spás beag ag roinnt cathóidí leis an anóid, agus mar sin nuair a shuiteáil an sprioc, is gá a chinntiú nach bhfuil aon teagmháil nó seoltóir idir an catóide agus an anóid, ar shlí eile beidh ciorcad gearr ann.
Féach Lámhleabhar an oibreora trealaimh chun faisnéis a fháil faoi conas an sprioc a oibriú i gceart. Mura bhfuil aon fhaisnéis den sórt sin sa lámhleabhar úsáideora, déan iarracht an gléas a shuiteáil de réir na moltaí ábhartha a sholáthraíonn Gaozhan metal. Nuair a bheidh an sprioc-daingneán á dhéanamh níos doichte, déan bolta amháin níos doichte ar dtús de láimh, agus ansin déan bolt eile ar an trasnán de láimh. Déan é seo arís go dtí go bhfuil na boltaí go léir ar an bhfeiste níos doichte, agus ansin níos doichte le rud éigin.
4 、 Ciorcad gearr agus cigireacht tightness
Tar éis an gléas sprice a bheith críochnaithe, is gá ciorcad gearr agus tightness an chatóid iomláin a sheiceáil,
Tá sé beartaithe a chinneadh an bhfuil ciorcad gearr sa chatóid trí úsáid a bhaint as méadar friotaíochta
Idirdhealú as a chéile. Tar éis a dhearbhú nach bhfuil aon chiorcad gearr sa chatóid, is féidir sceitheadh a bhrath, agus is féidir uisce a thabhairt isteach sa chatóid chun a dhearbhú an bhfuil sceitheadh uisce ann.
5, Sprioc roimh sputtering
Molann réamhsputtering sputtering argón íon, ar féidir leis dromchla an sprice a ghlanadh. Nuair a bhíonn an sprioc réamh-sputtered, moltar an chumhacht sputtering a mhéadú go mall, agus is é 1.5WH / cm2 an ráta méadaithe cumhachta de sprioc ceirmeach. Is féidir le luas sputtering réamh-sprioc miotail a bheith níos airde ná an sprioc bloc ceirmeach, agus is é 1.5WH / cm2 ráta méadaithe cumhachta réasúnta.
Sa phróiseas réamh-sputtering, ní mór dúinn arcing an sprice a sheiceáil. Go ginearálta is é an t-am réamh-sputtering ná 10 nóiméad. Mura bhfuil aon feiniméan arcing ann, déan an chumhacht sputtering a mhéadú go leanúnach
Go dtí an chumhacht a leagtar. De réir na taithí, is é an chumhacht sputtering ard inghlactha Z de sprioc miotail
25watts / cm2, 10watts / cm2 le haghaidh sprioc ceirmeach. Déan tagairt le do thoil do bhunús an tsocraithe agus an taithí a bhaineann le brú seomra folúis le linn sputtering i lámhleabhar oibríochta córais an úsáideora. Go ginearálta, ba cheart a áirithiú go mbeadh an teocht an uisce ag an asraon uisce fuaraithe níos ísle ná 35 ℃, ach Z tá sé tábhachtach a chinntiú go bhféadfaidh an córas imshruthaithe uisce fuaraithe oibriú go héifeachtach.
Tógann scaipeadh tapa uisce supercooling teas, rud atá ina ráthaíocht thábhachtach chun sputtering leanúnach le cumhacht ard a chinntiú. Maidir le spriocanna miotail, moltar go ginearálta go bhfuil an sreabhadh uisce fuaraithe
Tá brú uisce 20lpm thart ar 5gmp; Maidir le spriocanna ceirmeacha, moltar go ginearálta go bhfuil an sreabhadh uisce 30lpm agus go bhfuil an brú uisce thart ar 9gmp
6 、 Cothabháil Sprioc
Chun ciorcad gearr agus stua a chosc de bharr cuas neamhghlan sa phróiseas sputtering, is gá an sputter a carntar sa lár agus an dá thaobh den rian sputtering a bhaint i gcéimeanna,
Cuidíonn sé seo freisin le húsáideoirí sputter leanúnach ag z dlús ardchumhachta
7, Stóráil sprioc
Déantar na spriocanna a sholáthraíonn miotail Gaozhan a phacáistiú i málaí plaisteacha bhfolús ciseal dúbailte. Molaimid go gcoimeádfaidh úsáideoirí na spriocanna, bíodh siad miotail nó ceirmeach, i bhfolúsphacáistiú. Go háirithe, ní mór na spriocanna nascáil a stóráil faoi choinníollacha folúis chun ocsaídiú na ciseal nascáil a chosc ó thionchar a dhéanamh ar cháilíocht an nascáil. Maidir le pacáistiú spriocanna miotail, molaimid gur chóir Z a phacáistiú i málaí plaisteacha glan
Am postála: Bealtaine-13-2022